УТВЕРЖДАЮ ЗАКАЗЧИК Ректор ________________ Ю.А. Чаплыгин 03 декабря 2014 г.

УТВЕРЖДАЮ
ЗАКАЗЧИК
Ректор ________________ Ю.А. Чаплыгин
03 декабря 2014 г.
ПРОТОКОЛ № 192/31401734112-01
рассмотрения заявок и подведения итогов закупки
г.Москва
03 декабря 2014г.
1. Открытый запрос предложений (далее - запрос предложений) проводится Заказчиком в
соответствии с требованиями Положения о закупке МИЭТ.
Заказчик: федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего
профессионального образования «Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Место нахождения: 124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
Почтовый адрес: 124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
Адрес электронной почты: sa_pol@mail.ru
Контактное лицо – Полякова Светлана Александровна
Контактный телефон (499)720-89-24, (499)710-99-79
2. Наименование предмета запроса предложений: Проведение процессов анизотропного
травления кремния для формирования щелевой изоляции и нанесения фоточувствительного слоя
для изготовления чувствительного элемента фоточувствительной ячейки. Изготовление тестовой
фоточувствительной ячейки инфракрасной фотоприемной матрицы.
Извещение о проведении запроса предложений было размещено в сети «Интернет» на
официальном сайте http://zakupki.gov.ru/223 и сайте Заказчика http://miet.ru 25 ноября 2014 года.
3. Форма заседания и состав закупочной комиссии:
Форма заседания закупочной комиссии (далее – Комиссии) – очная.
Состав Комиссии определен приказом ректора № 617 от 25 ноября 2014 г. На заседании
присутствуют 3 из 5 членов Комиссии. Кворум имеется, комиссия правомочна.
4. Место, дата, время начала рассмотрения заявок и подведения итогов закупки:
Процедура рассмотрения заявок и подведения итогов закупки осуществлялась 03 декабря 2014
г. по адресу: Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5. Время начала рассмотрения заявок и
подведения итогов закупки: 10 часов 00 минут по московскому времени.
5. Существенными условиями договора, который будет заключен с победителем в
проведении запроса предложений, являются:
5.1. Наименование, объем выполняемых работ, оказываемых услуг; требования к качеству,
техническим характеристикам работ, услуг; к их безопасности; к результатам работ, услуг и иные
требования связанные с определением соответствия выполняемых работ, оказываемых услуг
потребностям Заказчика.
Наименование работ.
Проведение процессов анизотропного травления кремния для формирования щелевой изоляции и
нанесения фоточувствительного слоя для изготовления чувствительного элемента
фоточувствительной ячейки. Изготовление тестовой фоточувствительной ячейки ИК ФПМ.
Объем закупаемых работ с указанием единицы объема
Технология изготовления тестовой фоточувствительной ячейки ИК ФПМ должна
обеспечивать:
- максимальное использование технологических операций, применяемых в стандартных
базовых технологических процессах;
- применение требований стандартизации и унификации к используемым технологическим
процессам;
- применение современного контрольно-измерительного оборудования для измерения
параметров тестовых структур на пластинах, включая тестовые структуры для контроля щелевой
изоляции, тестовые структуры, обеспечивающие контроль проводимости слоев с разными типами
1
легирования, тестовые структуры для контроля фоточувствительного слоя и контакта металла с
силицидом металла.
Для выполнения технологических процессов изготовления тестовых фоточувствительных
ячеек и тестовых структур для формирования щелевой изоляции элементов ИК ФПМ кристальное
производство должно иметь технологические участки для проведения операций изготовления
КМОП ИС, в том числе АСО пленки металла из триметилметилциклопентадиенилметалла (IV).
Работы должны выполняться в 1 этап:
Номер
этапа
1
Наименование этапа, содержание
работ этапа
Результат, предоставляемый
Исполнителем при сдаче этапа
Проведение процессов
анизотропного травления кремния
для формирования щелевой
изоляции и нанесения
фоточувствительного слоя для
изготовления чувствительного
элемента фоточувствительной
ячейки. Изготовление тестовой
фоточувствительной ячейки ИК
ФПМ.
1. Научно-технический отчет о
выполненных работах,
описывающий процессы
формирования тонких
фоточувствительных слоев и
анизотропного травления для
формирования щелевой
изоляции.
2. Образцы тестовых
фоточувствительных ячеек ИК
ФПМ и тестовых структур на
пластинах (по 6 пластин).
Сроки
выполнения
с учетом
необходимого
времени на
сдачу работы,
начало и
окончание
До 15 дней
3. Собранные образцы
тестовых фоточувствительных
ячеек ИК ФПМ (50 шт.).
4. Акты изготовления тестовой
фоточувствительной ячейки
ИК ФПМ.
5. Протоколы контроля
тестовых структур.
Непосредственное описание работ
Цель выполнения – проведение процессов анизотропного травления кремния для
формирования щелевой изоляции и нанесения фоточувствительного слоя для изготовления
чувствительного
элемента
фоточувствительной
ячейки
и
изготовление
тестовой
фоточувствительной ячейки ИК ФПМ.
2
Технические требования.
а) Процесс анизотропного травления кремния для формирования щелевой изоляции должен
удовлетворять следующим требованиям:
 глубины травления кремния - от 2 до 5 мкм;
 ширина канавки в кремнии - не бое 0,8 мкм;
 аспектное соотношение - от 2,5 до 6.
б) Процесс АСО пленки металла из триметилметилциклопентадиенилметалла (IV) для
формирования диодов Шоттки «силицид металла-кремний» и изготовления тестовых
фоточувствительных ячеек ИК ФПМ должен удовлетворять следующим требованиям:
 толщина металла, полученного методом АСО на поверхности кремния, должна составлять
не более 20 Å (10 атомных слоев);
 температура подложки при осаждении металла должна быть не ниже 250ºС
 пленка силицида металла, получаемого методом АСО, должна быть сплошной.
в) Изготовление образцов тестовых фоточувствительных ячеек ИК ФПМ с тестовыми
элементами щелевой изоляции на 6 рабочих пластинах.
Образцы тестовых фоточувствительных ячеек ИК ФПМ должны быть изготовлены на
кремниевых пластинах Ø 150 мм.
Для изготовления тестовой фоточувствительной ячейки должно быть проведено 9
фотолитографических циклов по фотошаблонам, переданным Заказчиком.
Размер модуля тестовой фоточувствительной ячейки ИК ФПМ – 5,4х4,0 мм. Ширина дорожек
скрайбирования - 160 мкм. Точность совмещения слоев при изготовлении тестовой
фоточувствительной ячейки должна быть не хуже ± 0,5 мкм.
г) Сборка образцов тестовых фоточувствительных ячеек ИК ФПМ (50 шт.)
д) Тестовые структуры должны позволять контролировать параметры слоев, в том числе в
процессе изготовления. В составе тестовых структур должны быть:
- тестовые структуры щелевой изоляции с различной плотностью щелевых элементов и
обеспечивающие контроль щелевой изоляции по напряжению пробоя тонкого изолирующего
слоя;
- тестовые структуры, обеспечивающие контроль проводимости слоев с разными типами
легирования (n и n+ );
- тестовые структуры для контроля фоточувствительного слоя и контакта металл-силицид
металла.
Порядок выполнения работ
1. Работы проводятся на пластинах кремния, предоставляемых Исполнителем.
2. Фотошаблоны в количестве до 9 штук для изготовления тестовых фоточувствительных
ячеек ИК ФПМ предоставляются Заказчиком.
3. Сопроводительный лист с описанием пооперационных технологических режимов
предоставляет Заказчик.
4. Состав и параметры тестовых структур передаются Исполнителю при передаче
сопроводительного листа.
5. Исполнитель проводит работу в режиме Foundry, который предусматривает
изготовление продукции на базе отработанных технологических операций Исполнителя. Оценка
качества при приемке работ проводится по протоколам контроля параметров тестовых элементов.
6. Пластины с образцами тестовых фоточувствительных ячеек ИК ФПМ и тестовых
структур считаются годными по результатам контроля тестовых структур.
7. Годные пластины и собранные образцы тестовых фоточувствительных ячеек ИК ФПМ
передаются Заказчику по Актам изготовления.
Порядок приемки результатов работ.
Отчетная документация представляется Заказчику на бумажном носителе и в электронном
виде на оптическом носителе в одном экземпляре. По результатам сдачи и приемки оформляется
акт сдачи-приемки выполненных работ.
Исполнитель обязан в письменной форме за 3 дня до предполагаемой сдачи работ в
установленном порядке уведомить Заказчика о готовности работ к сдаче и предоставить Заказчику
для осуществления приемки результаты работ и необходимую документацию.
3
Исполнитель вправе сдать выполненные работы досрочно, при этом Исполнитель должен в
письменной форме оповестить Заказчика за 3 дня до предполагаемой сдачи результатов работ.
Наличие замечаний к выполненным работам оформляется актом в соответствии с
требованиями, установленными Заказчиком.
Исполнитель обязан своими силами и за свой счет устранить в установленные сроки
недостатки, допущенные по его вине в выполненных работах, а также ошибки в расчетах и
аналитических выводах, которые могут повлечь отступления от технико-экономических
параметров.
Акт сдачи-приемки работ подписывается Заказчиком после устранения Исполнителем всех
выявленных при приемке недостатков.
Требования по качеству, приемлемости, безопасности проведения работ
Требования по качеству проведения работ должны соответствовать проектным нормам 0,35 мкм.
Требования по количеству, периодичности, сроку и месту проведения работ, оказания услуг.
Работы выполняются в 1 этап согласно таблице:
Номер
Сроки выполнения
Перечень работ
этапа
работ
Проведение процессов анизотропного травления кремния
для формирования щелевой изоляции и нанесения
Максимальный срок
фоточувствительного
слоя
для
изготовления
1
: 15 (Пятнадцать)
чувствительного элемента фоточувствительной ячейки.
дней
Изготовление тестовой фоточувствительной ячейки ИК
ФПМ.
Место выполнения работ: на территории Исполнителя.
Допускается досрочное выполнение работ.
Передаваемая вместе с работой либо до начала исполнения документация:
По результатам выполненных работ Исполнитель должен:
Передать Заказчику научно-технический отчет о выполненных работах, описывающий
процессы формирования тонких фоточувствительных слоев и анизотропного травления для
формирования щелевой изоляции, образцы тестовых фоточувствительных ячеек ИК ФПМ и
тестовых структур на пластинах, собранные образцы тестовых фоточувствительных ячеек ИК
ФПМ, Акты изготовления тестовой фоточувствительной ячейки ИК ФПМ, протоколы контроля
тестовых структур и Акты сдачи-приемки.
Подготовка документов по договору осуществляется в соответствии с требованиями
согласованного ТЗ.
Порядок приемки результатов работ.
Исполнитель обязан в письменной форме в установленном порядке уведомить Заказчика и
уполномоченных Заказчиком третьих лиц о готовности работы к сдаче и предоставить Заказчику
для осуществления приемки результаты работ и документацию.
Акт сдачи-приемки выполненных работ подписывается Заказчиком после устранения
Исполнителем всех выявленных при приемке недостатков.
Исполнитель вправе выполнить и сдать работы досрочно, о чем должен проинформировать
Заказчика за 2 дня до предполагаемой даты сдачи работ.
Действия сторон в случае сомнений в качестве работ:
Наличие замечаний к выполненным работам оформляется в соответствии с требованиями,
установленными Заказчиком.
Исполнитель обязан своими силами и за свой счет устранить в установленные сроки
недостатки, допущенные по его вине в выполненных работах, а также ошибки в расчетах и
аналитических выводах, которые могут повлечь отступления от технико-экономических
параметров, предусмотренных настоящим ТЗ.
Контроль за качеством.
Контроль за качеством проводится по протоколам контроля параметров тестовых
элементов.
Указание всех существенных условий договора, неисполнение либо несвоевременное исполнение
которых должно приводить к расторжению договора по соглашению сторон либо по решению
4
суда. Непредставление отчетной документации Заказчику в соответствии с требованиями к
выполняемым работам.
5.4. Начальная (максимальная) цена договора:
3 800 000,00 рублей (Три миллиона восемьсот тысяч рублей 00 копеек)
Цена указана с учетом затрат на выполнение работ в полном объеме, затрат на страхование,
уплату таможенных пошлин, налогов (в том числе НДС), сборов и других обязательных платежей.
6. По окончании указанного в Документации о проведении запроса предложений срока подачи
заявок, 02 декабря 2014 года в 17 часов 00 минут (время московское) поступила 1 (одна) заявка
от следующего претендента на участие в закупке:
№
п/п
Регистрационный
номер заявки
Дата
поступления
Время
поступления
1
1/192
02.12.2014
14-28
Сведения о претенденте на участие
в закупке
Закрытое акционерное общество
«Зеленоградский
нанотехнологический центр» (ЗАО
«ЗНТЦ»)
Адрес места нахождения: 124498, г.
Москва,
Зеленоград,
проезд
4806,д.5, стр.23
ИНН 7735570680, КПП 773501001,
ОГРН 1107746582052
7. Комиссия рассмотрела заявку на участие в запросе предложений на соответствие требованиям,
установленным в Документации о проведении запроса предложений, и приняла следующее
решение:
Решение о допуске претендентов на участие в закупке к участию в закупке и о признании
участниками закупки:
Номер
заявки
1/192
Претендент на
участие в закупке
ЗАО «ЗНТЦ»
Предложение
претендента
на участие в
закупке, руб.
Решение
Комиссии
о допуске
Обоснование принятого
решения
3 800 000,00
Допущен,
признан
участником
закупки
Заявка соответствует
установленным требованиям
Решение об отказе в допуске претендентов к участию в закупке с обоснованием такого решения:
отсутствует.
8. На основании п. 6.1.24 Комиссия признает закупку состоявшейся и рекомендует руководителю
Заказчика заключить договор с единственным участником процедуры закупки – ЗАО «ЗНТЦ» на
условиях, предусмотренных в Документации о закупке и по цене его заявки 3 800 000,00 (Три
миллиона восемьсот тысяч рублей 00 копеек).
9. Протокол рассмотрения заявок и подведения итогов закупки составлен в одном экземпляре и
подлежит размещению в сети «Интернет» на сайтах http://zakupki.gov.ru/223 и http://miet.ru.
10. Протокол подписан всеми присутствующими на заседании членами Комиссии
Председатель Комиссии
Член Комиссии
Член Комиссии, отв. секретарь
5