Сканирующий электронный микроскоп

МБОУ «Белоярская средняя общеобразовательная школа №1»
Пучково-плазменные
технологии
Выполнила:
Выполнила
обучающаяся 10 «А» класса
Пехова Анна Валерьевна
Это ионизованный газ,
в котором атомы (все
или Значительная их часть) потеряли по
одному или по несколько принадлежавших
им электронов и превратились в
положительные ионы. Это название было
предложено в 1923 г. американским физиком
Ленгмюром. В общем случае плазма
представляет собой смесь трех компонентов
(свободные электроны, положительные ионы
и нейтральные атомы ).
Виды плазмы
Высокотемперату
рная плазма
Газоразрядная
плазма
Равновесная или
изотермическая
Неравновесная или
неизотермической
(Тe>Tи)
распадающаяся
Примеры типичных видов плазмы
Межзвездный газ
Солнце
Ионосферные слои
Плазмооптические
системы
Ускорители
заряженных
частиц
Плазменные
ускорители
каскадный
генератор
плазменный
ускоритель
с анодным
слоем
плоский
магнитоизоли
рованный
диод
Резонансный
или
циклический
генератор
Ван-де-Граафа
Циклотрон
Синхротрон и
синхрофазотрон
Бетатрон
Электронно-лучевая плавка (ЭЛП)
Промышленное применение ЭЛП
стимулировалось потребностью новых отраслей
техники в особо чистых материалах и в материалах,
сохраняющих свою прочность при высоких
температурах или обладающих повышенной
химической стойкостью. Обычно для изготовления
и очистки таких материалов применяют плавку в
вакууме или в атмосфере защитных газов
Электронные
микроскопы
Просвечивающий
электронный
микроскоп (ПЭМ)
Сканирующий
туннельный
микроскоп (СТМ)
Сканирующий
электронный
микроскоп
(СЭМ)
Масс-анализаторы
Статические
Динамические
Процессы травления
Ионное травление
Плазмохимическое
травление
Генераторы ГОЛ-3
ГОЛ-3
Реактивное ионное
или ионнохимическое
травление
пробкотрон
Эксперимент с плазмой в
космосе
Список литературы
• Гасанов И.С. «Плазменная и пучковая
технология»
• http://www.ftian.ru/works/work2/ Физикотехнологический институт Российской
академии наук
• http://plasma.mephi.ru/files/Plasma-XXI.pdf
В.А.Курнаев Плазма – XXI век
• Л.А.Арцимович, Р.З.Сагдеев "Физика плазмы
для физиков"
• «Основы физики плазмы» Голант В.Е.,
Жилинский А.П., Сахаров И.Е.