18.01.02 a001066 АНКЕТА

18.01.02
a001066
АНКЕТА
проекта для участия в конкурсе журнала «Эксперт»
1. Тема проекта: Создание модуляционного интерференционного микроскопа
на основе нового метода исследования микрообъектов
2. Шифр проекта: МИМ
3. Название организации, представляющей проект: ООО «Лаборатории АМФОРА»
Руководитель организации: П.А.Осипов, ген.директор
Руководитель проекта: К.В.Индукаев, зам.ген.директора по науке
4. Адрес: юридический:141074, г.Королев Моск. области, ул.Пионерская, д.8А
почтовый------123557, Москва, ул.Пресненский вал, 17. офис 701
5. Телефон: (095)737-0225
6. Факс: (095) 737-0224
7. Электронная почта: info@in-amphora/com
8. Страница в Интернете: http://www.in-amphora/com
9. АННОТАЦИЯ ПРОЕКТА
Модуляционный Интерференционный Микроскоп (МИМ) является принципиально
новым лазерным оптическим прибором для комплексного изучения различных
микрообъектов, полностью удовлетворяющим нужды современных технологий в
нанометрическом диапазоне. Микроскопом этот прибор назван скорее «по инерции»,
т.к. его возможности гораздо шире чем у всех существующих оптических приборов.
МИМ позволяет получить реальный геометрический рельеф объекта с выдающимся
«сверхрэлеевским» нанометрическим разрешением ( теор.предел: до 5-10 нм на
плоскости и 1-0,1 нм по вертикали) наряду с распределениями всех оптических
материальных параметров (ОМП) в приповерхностом слое. ОМП включают в себя
коэффициеты отражения и адсорбции, а также все константы анизотропии. Таким
образом, МИМ чувствителен также к таким свойствам исследуемых объектов как
химсостав, механические и электрические напряжения, магнетизация, агрегатные и
коллоидные состояния и т.д.
Новый теоретический подход к получению полезной информации об объекте из
интерферограмм и точный расчет фаз в интерферометре, а также новый
модуляционный метод и оригинальный компьютерный сигнал-процессинг позволили
нашим специалистам создать прибор, далеко превосходящий предел Рэлея,
являющийся порогом для всех существующих оптических приборов. Возможность
одновременно со «сверхразрешением» получать распределения ОМП является
полностью уникальной. В этом смысле можно сказать, что нами создан новый раздел
микроскопии.
Применение
Современные технологии остро нуждаются в приборе, позволяющем анализировать
нанообъекты бесконтактными и неразрушающими методами. Однако лучшие
оптические микроскопы (бесконтактность и неразрушение) обладают разрешающей
способностью только до 250-300нм, ультрафиолетовые микроскопы – до 160-170 нм,
но убивают живые биообъекты. Электронные микроскопы дают прекрасное
18.01.02
a001066
разрешение, но их ионизирующее излучение губит и биообъекты и микросхемы.
Бурно развивающиеся атомно-силовые микроскопы работают только контактным
способом и очень медленны для динамических процессов в биологии. Таким образом,
в диапазоне от 200нм до5нм, где ожидаются самые многообещающие работы в
микроэлектронике и биотехнологиях, – у современных исследователей нет надежного
инструмента анализа.
Мы полагаем, что МИМ успешно заполнит эту брешь. Основные прогнозируемые
области применения МИМ:
микроэлектроника – контроль масок и кремниевых пластин, качество микросхем,
элементов магнитной и оптической памяти, исследование морфологии
микропроцессоров, дефектов в кристаллах, диффузии;
материаловедение – фотоника, микроэлектромеханические системы, нанокерамика,
композитные материалы;
биология и биотехнологии – изучение живых микрообъектов в динамике без
разрушающих внешних воздействий, клеточная биология, биомембраны,
микробиология;
медицина – исследования клеток и тканей в реальном времени, гистология,
вирусология, генные исследования;
образование.
Рыночные перспективы Все перечисленное делает МИМ уникальным инструментом
для исследования нанообъектов, не имеющим конкурентов. Рынок современных
микроскопов оценивается в 5 млрд.долларов в год. МИМ может успешно
позиционироваться на этом рынке как самостоятельный прибор, так и как
встраиваемый модуль для большинства существующих микроскопных комплексов.
МИМ представляется нам многообещащим кандидатом на массовое прозводство
нашими силами, в кооперации с другими производителями, а также инофирмами по
купленной у нас лицензии.
10. К какой сфере экономической деятельности относится предлагаемый Вами проект:
3321154 – Микроскопы специализированнные
11. Тип товара (технологии, продукта, услуги), выпускаемого в рамках предлагаемого
проекта
а) потребительские товары
б) материалы, вещества
в) штаммы микроорганизмов; культур клеток растений и животных
г) программное обеспечение
д) промышленные товары, кроме оборудования
ж) оборудование
з) сложные комплексы для производства и выполнения спец. услуг
и) оказание услуг организациям (предприятиям)
й) оказание услуг населению
к) технологические линии или целые опытные производства.
л) жилищное строительство
м) промышленное строительство
+
12. Какую проблему потребителя решает предлагаемый Вами товар (технология,
продукт, услуга):
18.01.02
a001066
Бесконтактный и неразрушающий контроль и исследования нанообъектов:
контроль качества микросхем в микроэлектронике; исследования живых
микрообъектов в клеточной и микробиологии; исследование и контроль свойств
новых материалов.
Как эта проблема решается в настоящее время:
В микроэлектронике для наноконтроля применяется очень сложные и
дорогие ультрафиолетовые микроскопы с разрешением только до 150нм, далее
используют электронный микроскоп, который искажает картину из-за ионизирующей
природы излучения, и атомно-силовые микроскопы, работающие контактным образом
и очень медленно. В биологии проблема изучения живых нанообъектов практически
не решена.
13. Имеются ли на рынке аналоги предлагаемого товара (технологии, продукта,
услуги) - ДА
14. Новизна товара (технологии, продукта, услуги) (по отношению к существующим
или замещаемым аналогам)
В России За рубежом
а) принципиально новая продукция
+
+
б) продукция, более качественная по сравнению с
существующей
в) продукция, имеющая преимущество перед
существующей по техническим характеристикам
15. Укажите 3 – 4 наиболее известные фирмы, которые производят товар (технологию,
продукт, услугу), аналогичный предлагаемому:
- _Carl Zeiss (Германия)
- _Leica Microsystems (Германия)
- _Nikon (Япония)
- _Olympus (Япония)
16. Укажите 2 – 3 основные области применения предлагаемого товара (технологии,
продукта, услуги):
- микроэлектроника и микромеханооптика;
- биология и биотехнологии;
- материаловедение и нанотехнологии.
17. Выделите 5 – 7 параметров вашего товара (технологии, продукта, услуги), наиболее
важных для каждой из указанных областей применения:
Микроэлектроника
Биология
Материаловедение
____________________
____________________
____________________
пространственное сверх неразрушающее
микрораспределение
разрешение
воздействие на живые ОМП
объекты
микрораспределение
возможность
пространственное
ОМП
наблюдения динамики сверхразрешение
микрообъектов
бесконтактное действие
бесконтактное действие
бесконтактное действие
неразрушающее
микрораспределение
современная
воздействие
ОМП
эргономика – работа с
18.01.02
a001066
ПК
интегрируемость
в пространственное
современные
сверхразрешение
технологические
комплексы
современная эргономика современная эргономика
– работа с ПК
– работа с ПК
18. Используя данные пункта 17, составьте сравнительную таблицу параметров вашего
товара (технологии, продукта, услуги) с лучшим, выпускаемым другими компаниями
(6-10 параметров). Наименование товара-конкурента и компании-производителя:
Axiospect 300 Inspection and Review Station, Carl Zeiss
№
Наименование параметра
Значение параметра
п. п.
продукции
Ваша
продукция
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
Цена
Разрешающая способность по X, Y
Разрешение по Z
Построение 3D изображения
Возможность анализа ОМП
Неразрушающее воздействие
Бесконтактность воздействия
Длина волны излучения
19. Охарактеризуйте патентоспособность
предлагаемых в проекте:
$ 60 000
20 нм
0,3нм
да
да
да
да
532 нм
Продукция конкурента
(лучшая на сегодня)
$ 250 000
130 нм
200-300 нм
нет
нет
частично
да
258нм
основных
технических
+
а) проданы лицензии на запатентованные решения
б) имеются запатентованные решения
+
решений,
месяц/год
05/1995,
06/2001
в) созданы условия для охраны “ноу-хау”
+
г) подана заявка на патент
+
01/2002
д) патентование требует неоправданно высоких затрат
20. Укажите важнейшие сведения о патенте на изобретение, которым защищены
(будут защищены) ключевые результаты предлагаемого проекта и о патенте на
ближайший аналог (прототип).
Предлагаемое решение
Аналог (прототип)
Номер патента
Решение
о
Номер патента
Патент РФ
выдаче патента
№ 2029976
по
заявке
2001100698/28
Страна
публикации RU
Страна
публикации RU
(двухбуквенный код)
(двухбуквенный код)
Год подачи заявки
2001
Год подачи заявки
1994
Год публикации
2002
Год публикации
1995
Международный
G 02 B 21/00
Международный
G 02 B 21/00
патентный класс
патентный класс
18.01.02
a001066
Патентообладатели
ООО»Лаборато
рии АМФОРА»
Код по МПК
7
Текстовое содержание см.
ниже
формулы изобретения Прил.№1
к Анкете
Патентообладатели
Центр «Нанотех» –
«Лаб.АМФОРА»
Код по МПК
7
Текстовое содержание см. ниже Прил.№ 2 к
формулы изобретения Анкете
21. Завершенные стадии проекта (поставьте «+» в соответствующих полях) и величина
средств, которые были ранее затрачены на реализацию проекта, в т.ч.
№
1.
2.
3.
4.
5.
6.
Наименование этапа
НИР
Завершенные
стадии
+
Величина затрат
Сумма в тыс. Эквивалент в
руб.
USD
данные
не
разглашаются*
«----«
«----«
«----«
ОКР
+
КТД
+
Опытный образец
+
Опытно-экспериментальная
технологическая
линия
(установка)
Подготовка
серийного
производства
22. Средства, необходимые для завершения реализации проекта, по состоянию на
ноябрь 2001г. (тыс. руб.): данные не разглашаются*
23. Источники финансирования выполнения проекта
соответствующих полях)
Стадия проекта Средства
Средства
Собственные
госбюджета заказчика
средства
Завершенная
стадия проекта
Выполняемая
стадия проекта
Расшифровка графы «Прочие»: средства стороннего инвестора
24. Сроки выполнения оставшейся части работ по
демонстрационной модели МИМ-2
начало – декабрь 2000 года
окончание – май 2002 года
25. Срок окупаемости проекта (лет) – 2 года
(поставьте
«+»
в
Прочие
(указать)
+
+
проекту:
создание
26. Кто будет покупать Ваш товар (технологию, продукт, услугу) (Не более трех
предложений): компании-производители микроскопов для встраивания наших МИМ
модулей в свои комплексы;
18.01.02
a001066
27. Укажите (приблизительно) величину (емкость) сегмента рынка продаж товаров
(технологий, продуктов, услуг), аналогичных предлагаемому:
- в России и странах СНГ – 50 000 тыс. руб;
- в мире- 5 млрд.USD.
28. Укажите (приблизительно) насколько ежегодно росли продажи товаров
(технологий, продуктов, услуг), аналогичных предлагаемому, за последние 3 года (в
процентах в год):
- в России и странах СНГ - 10 %
- в мире- 3 %
29. Укажите, какой, с Вашей точки зрения, процент затрат в себестоимости
расходуется Вашими потенциальными конкурентами на маркетинг и продвижение их
товара (технологии, продукта, услуги) на рынок
- от 10 до 15%;
30. Какова, с Вашей точки зрения, должна быть на данном сегменте рынка разница в
ценах, чтобы покупатели отказались от товара (технологии, продукта, услуги)
известных фирм-производителей в пользу товара малоизвестных фирм.
Разница в ценах около 30% может быть убедительной, но главное
значение имеют достигаемые технические параметры.
31. Укажите, какова, с Вашей точки зрения, реальная рентабельность действующего
производства у потенциальных конкурентов по товару (технологии, продукту, услуге),
аналогичному предлагаемому: 50 %
32. Величина годового оборота организации, представляющей проект, за 2000г. 1данные не разглашаются*
33. Величина собственного капитала организации, представляющей проект, за 2000г.
(раздел III пассива): данные не разглашаются*
34. Годовой объем валовой прибыли организации, представляющей проект 2: прибыль
отсутствует, т.к. компания полностью занята исследованиями и разработкой проекта,
не перешедшего еще в стадию коммерческой реализации.
35. Укажите, какую долю в общем объеме выручки организации, представляющей
проект, за 2000г. занимает выручка от деятельности в экономической сфере, к которой
относится предлагаемый проект:
выручка отсутствует по причине (см.п.34)
36. Коэффициент текущей ликвидности организации, представляющей проект, за
2000г.: (отношение значения краткосрочных активов к значению краткосрочных
пассивов) ___ данные не разглашаются *
37. Годовой объем амортизационных отчислений организации, представляющей
проект, __ данные не разглашаются *
38. Годовой объем фонда оплаты труда организации, представляющей проект, ______
данные не разглашаются *
1
2
Удвоенное значение строки 010 отчета о прибылях и убытках за 2000г.
Значение строки 029 отчета о прибылях и убытках за 2000г.
18.01.02
a001066
39. Укажите количество проектов (сравнимых по масштабу с предлагаемым),
реализованных Вашей организацией в сфере экономической деятельности
предлагаемого проекта за последние 7 лет.
___АМФОРА Лаб. успешно развивает параллельный «Микроскопу» проект создания
нанометрического привода и позиционера (MANLO) – прецизионная механика и
лазерная техника.
40. Укажите общее количество инновационных проектов (сравнимых по масштабу с
предлагаемым), реализованных Вашей организацией за последние 7 лет :
Группой АМФОРА реализованы 4 инновационных hi-tech проекта.
41. Имеется ли у организации собственная экспериментальная база, применимая для
реализации предлагаемого проекта: НЕТ
42. Среднегодовая численность сотрудников организации за 2000г. __25 чел
43. Количество сотрудников, которые будут участвовать в выполнении проекта ___15
чел
44. Оцените уровень знаний и практического опыта в реализации инновационных
проектов и продвижении нового продукта на новые рынки у сотрудников, которые
будут участвовать в выполнении проекта:
- исключительно высокий - 4 чел
- хороший – 4 чел
- пока не имеют - 7 чел
(*) – данные не разглашаются – Финансовые показатели бизнес-плана и текущего
баланса компании являются, по нашему мнению, конфиденциальной информацией,
разглашение которой может отрицательно повлиять на ход переговоров с будущими
инвесторами и\или партнерами по бизнесу. С другой стороны, поскольку компания
еще не ведет коммерческих продаж, анализ баланса в этой ситуации мало что дает и
сводится к вопросу только об объеме осуществленных инвестиций, который ввиду
частного характера инвестиций, является зыкрытой информацией.
--------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------Приложение № 1
Способ определения микрорельефа объекта и оптических свойств
приповерхностного слоя, модуляционный интерференционный микроскоп для
осуществления способа.
Формула изобретения
1.Способ
определения
микрорельефа
объекта
и
оптических
свойств
приповерхностного слоя, включающий поляризационную модуляцию, разделение
входного когерентного монохроматического поляризованного светового потока на
объектный, засвечивающий поле объекта через микрообъектив, и опорный пучки
18.01.02
света,
a001066
проведение
интерференционное
ортогональных
фазовой
модуляции
смешивание
компонент
пучков
поляризации
позиционирование ее минимального
средней освещенности
сигналы) и
света,
и
пучка,
выделение
получение
последующие
двух
взаимно
интерферограммы,
фрагмента (пиксела), преобразование его
в соответствующие электрические сигналы (модуляционные
измерение амплитуды и фазы
составляющих
опорного
модуляционного
сигнала,
переменной и величины постоянной
вычисление
фаз,
амплитуд
и
поляризационных параметров света, падающего на пиксел со стороны объектного
пучка, вычисление микрорельефа объекта и оптических материальных констант
приповерхностного слоя объекта, отличающийся тем, что одновременно
с
разделением светового потока на объектный и опорный пучки света, осуществляют
управляемое перераспределение его
интенсивности между ними, затем проводят
поляризационную модуляцию отдельно друг от друга объектного пучка и опорного
пучка, причем засветку поля объекта осуществляют путем пропускания объектного
пучка через лицевую поверхность фронтальной линзы микрообъектива изнутри, и
проводят
интерференционное смешивание пучков света, перед измерением
устанавливают предварительное соотношения освещенности между опорным и
объектным пучками и вычисляют
предварительное значение фазы и амплитуды
света, падающего на пиксел со стороны объектного пучка,
после повторения
операции для всей совокупности пикселов производят выравнивание освещенности
одного пиксела отдельно со стороны объектного и отдельно со стороны опорного
пучков путем
перераспределения интенсивности в них, затем измеряют амплитуды
и фазы переменной и величины постоянной составляющих модуляционного сигнала и
вычисляют уточненное значение фазы и амплитуды
света, падающего на пиксел со
стороны объектного пучка.
2.
Способ
определения
микрорельефа
объекта
и
оптических
свойств
приповерхностного слоя по п.1, отличающийся тем, что засветку поля объекта
осуществляют
последовательно в двух линейно независимых
поляризационных
состояниях..
3.
Способ
определения
микрорельефа
объекта
и
оптических
свойств
приповерхностного слоя по п.1, отличающийся тем, что проводят дополнительное
уточнение значения амплитуды света, падающего на пиксел со стороны объектного
пучка путем установки фазы опорного пучка света в противофазе со светом,
18.01.02
a001066
падающим на пиксел со стороны объектного пучка, осуществляют амплитудную
модуляцию путем изменения отношения интенсивностей объектного и опорного
пучков
света
и
определения
двух
разных
отношений
интенсивностей,
соответствующих одинаковым освещенностям пиксела и вычисляют долю света,
падающего на пиксел со стороны объектного пучка.
4.
Способ
определения
приповерхностного слоя
микрорельефа
объекта
и
оптических
свойств
по любому из п.п 1,2 отличающийся тем , что
дополнительно устанавливают фазу опорного пучка в фазе со светом , падающим на
пиксел со стороны объектного пучка, поляризационную модуляцию объектного пучка
осуществляют непрерывно, измеряют поляризационный модуляционный сигнал и
вычисляют фазы и амплитуды его гармонических составляющих, по которым
определяют параметры оптической анизотропии приповерхностного слоя объекта.
5
Способ
определения
микрорельефа
объекта
и
оптических
свойств
приповерхностного слоя по п.1 , отличающийся тем, что проводят поляризационную
модуляцию
объектного пучка
и
опорного пучка одновременной с его фазовой
модуляцией, причем частота фазовой модуляции опорного пучка или выше или ниже
частоты
поляризационной модуляции пучков, измеряют фазы и амплитуды
гармонических составляющих огибающих сигнала и вычисляют параметры рельефа и
оптические материальные константы, включая все параметры оптической анизотропии
приповерхностного слоя объекта.
6.
Модуляционный
интерференционный
микроскоп,
содержащий
лазер,
модуляционный интерферометр с фазовым модулятором и коллиматором оптически
соединенным с поляризационным модулятором, и светоделителем, микрообъектив,
телескоп, блок поляризационного анализатора, фотоприемник, установленные на
одной оптической оси, блок управления и обработки сигнала, предназначенный для
соединения через шину обмена с ЭВМ отличающийся тем, что в него введены
пространственный микроаппертурный фильтр, элемент, предназначенный для
отклонения и смешивания пучков света и расположенный на оптической оси, причем в
модуляционный интерферометр
дополнительно введены второй коллиматор
оптически соединенный со
вторым поляризационным модулятором, системой
отклоняющих оптических элементов и фазовый компенсатор, причем светоделитель
выполнен регулируемым и через отклоняющие оптические элементы системы одним
своим выходом последовательно связан с фазовым модулятором, поляризационным
модулятором, коллиматором и одной стороной элемента, предназначенного для
отклонения и смешивания пучков света, а другим - с фазовым компенсатором, со
вторым поляризационным модулятором, вторым коллиматором и с противоположной
стороной указанного элемента.
7 Модуляционный интерференционный микроскоп по п.6, отличающийся тем,
что
элемент, предназначенный для отклонения и смешивания пучков света,
18.01.02
a001066
выполнен в виде двустороннего, плоского, расположенного под углом к оптической
оси зеркала.
8. Модуляционный интерференционный микроскоп по п. 7, отличающийся тем,
что зеркало выполнено полупрозрачным.
9. Модуляционный интерференционный микроскоп по п. 7, отличающийся тем,
что зеркало выполнено непрозрачным.
10 Модуляционный интерференционный микроскоп по п.6,
отличающийся
тем, что элемент, предназначенный для отклонения и смешивания пучков света
размещен внутри фронтальной линзы микрообъектива.
11 Модуляционный интерференционный микроскоп по п.6, отличающийся тем,
что поляризационный модулятор, выполнен в виде оптически соединенных
последовательно
расположенных
линейного
поляризационного
фильтра,
управляемого компенсатора и блока вращения плоскости поляризации.
12. Модуляционный интерференционный микроскоп по п.6, отличающийся
тем, что фазовый модулятор
расположен под углом, отличным от прямого,
к
оптической оси и интерферометр дополнительно снабжен, по крайней мере, одним
поворотным зеркалом, расположенным между фазовым модулятором и одним из
элементов системы отклоняющих оптических элементов.
Приложение № 2
Способ
визуализации
микроконтрастных
объектов
поляризационный наноскоп для его осуществления.
и
оптический
Формула изобретения
1.
Способ
визуализации
микроконтрастных
объектов,
при
котором
монохроматическим, поляризованным и когерентным излучением осуществляют
засветку поля микрообъекта, а отраженное излучение электрически преобразует в
соответствующие точки изображения, отличающийся тем, что засветку поля
микрообъекта осуществляют в интерференционном и поляризационном режимах
работы наноскопа, отраженное излучение преобразуют путем сканирования по Х, У
координатам и положению фокусировки по Z координате в набор изменений от
18.01.02
a001066
пространственных координат (x,y.z) фаз «Ф» электрических сигналов, которые
электрически обрабатывают методом временных интервалов и амплитуды переменной
«y»
электрического
сигнала,
которую
обрабатывают
методом
синхронного
детектирования, при этом в поляризационном режиме работы наноскопа по
измеренным значениям определяют азимут поляризации
(x,y,z) и анизотропию
(x,y,z) из системы уравнений:
где Фэл(x,y,z) – измеренный цифровой массив функции фазы поля микрообъекта,
Yэл(x,y,z) – измеренный цифровой массив функции амплитуды поля микрообъекта,
В интерференционном режиме измеряют величины амплитуды Yинт и фазы Финт при
фиксированных поляризациях засветки δi
, а каждый элемент засвеченного поля
микрообъекта интерпретируют показателем преломления “n”, физической высотой
“h”, плоскими углами элемента – «α», «β» и определяют по формулам:
Где f1,… , f4 – функции соответствующих величин
Финт – измеренный цифровой массив функции фазы поля микрообъекта
Yинт – измеренный цифровой массив функции амплитуды поля микрообъекта
I – фиксированные поляризации входного излучения засветки в соответствии с
фиксированными значениями модулирующего напряжения U20, U21,… U21.
18.01.02
a001066
2. Оптический поляризационный : наноскоп, содержащий установленные на одной
оптической оси лазер, модулятор, светоделитель, первый микрообъектив, а на второй
оптической оси, перпендикулярной первой, по одну из сторон светоделителя – фотоприемник,
соединенный с фазометрическим каналом, а также генератор модулирующих напряжений,
соединенный с модулятором, отличающийся тем, что в него введены установленные на первой
оптической оси между лазером и электрооптическим модулятором конденсор, между
светоделителем и первым микрообъективом – шторка, а за упомянутым микрообъективом –
зеркало с пьезоэлектрическим модулятором, а на второй оптической оси, по одну из сторон от
светоделителя – второй микрообъектив, установленный с возможностью перемещения вдоль
упомянутой оси, а по другую – соответственно анализатор, окуляр и сканирующий
фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) с расположенным вне его рабочей зоны, но в поле его
засветки,
упомянутым
фотоприемником,
а
также
второй
идентичный
первому
фазометрический канал, амплитудный канал, блок системы автофокусировки второго
микрообъектива, блок программного управления, соединенный через шину обмена с микроЭВМ, причем выход фотоэлектронного умножителя соединен соответственно через
амплитудный и второй фазометрический каналы с первым и вторым информационными
входами блока программного управления, третий вход которого – с выходом первого
фазометрического канала, первый, второй, третий и четвертый управляющие выходы блока
программного управления соединены соответственно со входом управления генератора
модулирующих напряжений, со входом управления блока системы автофокусировки, со
входом блока управления шторкой и входом управления сканированием фотоэлектронного
умножителя, второй выход генератора модулирующих напряжений соединен со вторыми
входами управления первого, второго фазометрических каналов и вторым входом управления
амплитудного канала, третий его выход – со входом управления
пьезоэлектрическим
модулятором, при этом первый и второй фазометрические каналы включают в себя первую
18.01.02
a001066
дифференциальную схему, управляющий вход которой соединен с информационным входом
первого синхронного фильтра, а выход – через первую схему выделения фронта импульса с
первым входом формирования импульса, а выход первого синхронного фильтра через
последовательно соединенные усилитель-ограничитель, делитель частоты на два, вторую
схему выделения фронта импульса – со вторым входом схемы формирования импульса, выход
которой через схему совпадения соединен со входом выходного счетчика, а схема совпадения
через второй вход – с генератором импульсов, а амплитудный канал включает в себя вторую
дифференциальную схему, выход которой через последовательно соединенные третью схему
выделения фронта импульса, второй синхронный фильтр с информационным входом и фильтр
нижних частот соединен со входом выходного аналого-цифрового преобразователя.