Программа «Создание эталонов единицы длины нового

Приложение № 51 к протоколу
МГС № 37-2010
Программа
«Создание эталонов единицы длины нового поколения
в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м на 2010 – 2012 годы»
МЕРОПРИЯТИЯ ПРОГРАММЫ
Наименование задания
1
Создание эталонной базы в области измерений параметров рельефа
и шероховатости поверхностей в
нанометровом диапазоне
Создание метрологического комплекса на основе растровой и просвечивающей электронной микроскопии, сканирующей зондовой
микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и лазерной интерферометрии,
обеспечивающего
воспроизведение, хранение и передачу размера единицы длины в
диапазоне 0,1 нм – 10 мм, в поддиапазоне 0,1 нм – 103 нм неопределенность (0,01 – 0,1) нм, в поддиапазоне (103 - 105 ) нм неопределенность (0,1 – 1) нм, в поддиапазоне (0,1 – 10) мм неопределенность (1 – 3) нм
Создание эталонных мер топологии
наноструктур – средств передачи
размера единицы длины в нанометровый диапазон
Государство –
исполнитель,
организации
2
Сроки выполнения
Ожидаемые результаты
и их значение
3
4
Российская Фе- 2010-2012 годы
дерация,
Федеральное
агентство по
техническому
регулированию и
метрологии,
ФГУП «ВНИМС»
г. Москва
Российская Фе- 2010-2011 г.г.
дерация,
Федеральное
агентство по
техническому
регулированию и
метрологии,
ОАО «НИЦПВ»
г. Москва
Обеспечение единства
измерений параметров
рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом и прилегающих к нему диапазонах в
нанотехнологиях и наноиндустрии.
Российская Фе- 2010-2012 г.г.
дерация,
Федеральное
агентство по
техническому
регулированию и
метрологии,
ОАО «НИЦПВ»
г. Москва
Передача единицы длины от эталона метра рабочим средствам линейных измерений в нанотехнологиях и наноиндустрии - растровым электронным микроскопам
(РЭМ) и сканирующим
зондовым микроскопам
(СЗМ).
Обеспечение единства
линейных измерений в
нанометровом и прилегающих к нему диапазонах в нанотехнологиях и
наноиндустрии.