МИНОБРНАУКИ РОССИИ Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
«Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
УТВЕРЖДАЮ:
И.о ректора МИЭТ_______________ В.А.Беспалов
12 ноября 2013 г.
ДОКУМЕНТАЦИЯ О ЗАКУПКЕ
ПУТЕМ ПРОВЕДЕНИЯ ОТКРЫТОГО ЗАПРОСА ПРЕДЛОЖЕНИЙ № 162
Проведение работ по регламентному обслуживанию
инженерного и технологического оборудования научнотехнологического центра «Нано- и микросистемной
техники» МИЭТ
Москва
2013г.
1
Информационная карта
Открытый запрос предложений (далее – запрос предложений) проводится заказчиком в
соответствии с требованиями раздела 6 Положения о закупке МИЭТ.
№
п/п
1
2
Наименование пункта
Заказчик закупки
Требования к участникам
процедуры закупки и
перечень документов,
представляемых участником
закупки для подтверждения
их соответствия
установленным требованиям
Текст пояснений
федеральное государственное автономное образовательное
учреждение высшего профессионального образования
«Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Место нахождения: 124498, Москва, Зеленоград, проезд
4806, д.5
Почтовый адрес: 124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806,
д.5
Адрес электронной почты: spd@miee.ru
Контактное лицо – Терновая Елена Германовна
Контактный телефон (499)-710-99-79, (499)- 729-73-20
Требования к участникам процедуры закупки,
устанавливаемые в соответствии с пунктом 3.3 Положения о
закупке
Обязательные
требования
к
правоспособности
участника процедуры закупки:
1) соответствовать требованиям, устанавливаемым в
соответствии с законодательством Российской Федерации к
лицам, осуществляющим поставки товаров, выполнение
работ, оказание услуг, являющихся предметом закупки;
2) обладать необходимыми правами и полномочиями,
необходимыми для участия в процедуре закупки, заключения
договора;
3) не находиться в процессе ликвидации (для
юридического лица) или быть признанным по решению
арбитражного суда несостоятельным (банкротом), в
отношении него не должно быть открыто конкурсное
производство;
4) не являться организацией, на имущество которой
наложен арест по решению суда, административного органа и
(или) экономическая деятельность которого приостановлена;
5) не иметь задолженности по начисленным налогам,
сборам и иным обязательным платежам в бюджеты любого
уровня или государственные внебюджетные фонды за
прошедший календарный год, размер которой превышает
двадцать пять процентов балансовой стоимости активов
участника процедуры закупки по данным бухгалтерской
отчетности за последний завершенный отчетный период.
Участник процедуры закупки считается соответствующим
установленному требованию в случае, если он обжалует
наличие указанной задолженности в соответствии с
законодательством Российской Федерации и решение по
такой жалобе на день рассмотрения заявки на участие в
процедуре закупки не принято.
Дополнительные требования к правоспособности
участника процедуры закупки:
- сведения об участнике процедуры закупки должны
отсутствовать в предусмотренных Федеральным законом от
21 июля 2005 года № 94-ФЗ «О размещении заказов на
2
поставки товаров, выполнение работ, оказание услуг для
государственных и муниципальных нужд» и Федеральным
законом от 18 июля 2011 года № 223-ФЗ «О закупках товаров,
работ, услуг отдельными видами юридических лиц» реестрах
недобросовестных поставщиков.
3
4
5
Перечень документов для
подтверждения соответствия
участника процедуры закупки
установленным требованиям
Преференции
Предоставление документов не требуется.
Не предусмотрены
Требования к содержанию,
Заявка на участие в запросе предложений, в том числе в
форме, оформлению и составу форме электронного документа, должна соответствовать
заявки на участие в закупке
требованиям п.6.6 Положения о закупке.
В случае подачи заявки на участие в запросе предложений в
письменной форме заявка подается в запечатанном конверте.
При этом на таком конверте указывается наименование
запроса предложений, фирменное наименование участника
процедуры закупки, почтовый адрес (для юридического лица)
или фамилия, имя, отчество, сведения о месте жительства (для
физического лица).
Все листы заявки на участие в запросе предложений, все
листы тома заявки на участие в запросе предложений должны
быть прошиты и пронумерованы. Заявка на участие в запросе
предложений и том заявки на участие в запросе предложений
должны содержать опись входящих в их состав документов,
быть скреплены печатью участника процедуры закупки (для
юридических лиц) и подписаны участником процедуры
закупки или лицом, уполномоченным таким участником
процедуры закупки. Соблюдение участником процедуры
закупки указанных требований означает, что все документы и
сведения, входящие в состав заявки на участие в запросе
предложений и тома заявки на участие в запросе
предложений, поданы от имени участника процедуры
закупки, а также подтверждает подлинность и достоверность
представленных в составе заявки на участие в запросе
предложений и тома заявки на участие в запросе
предложений документов и сведений.
В случае подачи заявки в форме электронного документа
она должна быть оформлена в соответствии с требованиями
Федерального закона от 06.04.2011 № 63-ФЗ «Об
электронной подписи».
При подаче заявки в форме электронного документа
участник процедуры закупки обязан предоставить корневой
сертификат
удостоверяющего
центра,
выдавшего
электронную подпись и открытый ключ, дающий
возможность прочитать электронную подпись.
В случае, если электронный документ преобразовывается
документ на бумажном носителе, заверенный печатью и
подписью уполномоченного лица, такой электронный
документ должен быть подписан электронной подписью того
же уполномоченного лица.
В случае подачи заявки в форме электронного документа,
участник процедуры закупки обязан удостовериться о
получении и возможности прочтения Заказчиком поданной
3
заявки.
Документы, входящие в состав заявки на участие в запросе
предложений:
1) заявка на участие в запросе предложений;
2) анкета участника процедуры закупки;
3) полученная не ранее чем за шесть месяцев до дня
размещения на официальном сайте извещения о проведении
запроса предложений выписка из единого государственного
реестра юридических лиц или нотариально заверенная копия
такой выписки (для юридических лиц), полученная не ранее
чем за шесть месяцев до дня размещения на официальном
сайте извещения о проведении запроса предложений выписка
из единого государственного реестра индивидуальных
предпринимателей или нотариально заверенная копия такой
выписки (для индивидуальных предпринимателей), копии
документов, удостоверяющих личность (для иных
физических лиц), надлежащим образом заверенный перевод
на русский язык документов о государственной регистрации
юридического лица или физического лица в качестве
индивидуального предпринимателя в соответствии с
законодательством соответствующего государства (для
иностранных лиц), полученные не ранее чем за шесть месяцев
до дня размещения на официальном сайте извещения о
проведении запроса предложений;
4) документ, подтверждающий полномочия лица на
осуществление действий от имени участника процедуры
закупки - юридического лица (копия решения о назначении
или об избрании либо приказа о назначении физического лица
на должность, в соответствии с которым такое физическое
лицо обладает правом действовать от имени участника
процедуры закупки без доверенности (далее для целей
настоящего раздела - руководитель). В случае если от имени
участника процедуры закупки действует иное лицо, заявка на
участие в запросе предложений должна содержать также
доверенность на осуществление действий от имени участника
процедуры закупки, заверенную печатью участника процедуры
закупки и подписанную руководителем участника процедуры
закупки (для юридических лиц) или уполномоченным этим
руководителем лицом, либо нотариально заверенную копию
такой доверенности. В случае если указанная доверенность
подписана лицом, уполномоченным руководителем участника
процедуры закупки, заявка на участие в запросе предложений
должна содержать также документ, подтверждающий
полномочия такого лица;
5) копии учредительных документов участника
процедуры закупки (для юридических лиц);
6) решение об одобрении или о совершении крупной
сделки либо копия такого решения в случае, если требование
о необходимости наличия такого решения для совершения
крупной сделки установлено законодательством Российской
Федерации, учредительными документами юридического
лица и если для участника процедуры закупки поставка
товаров, выполнение работ, оказание услуг, являющихся
предметом договора, или внесение денежных средств в
4
качестве обеспечения исполнения договора являются крупной
сделкой;
7) копию уведомления о возможности применения
участником процедуры закупки упрощенной системы
налогообложения (для участников, применяющих ее);
8) предложение о поставляемых товарах, оказываемых
услугах, выполняемых работах, которые являются предметом
договора, их количественных и качественных характеристиках;
9) в случае представления заявки, содержащей
предложение о цене договора на 25 или более процентов
ниже начальной (максимальной) цены договора, указанной
Заказчиком в извещении о проведении запроса предложений,
участник, представивший такую заявку, обязан в составе
такой заявки представить расчет предлагаемой цены договора
и ее обоснование;
10) документы, подтверждающие внесение денежных
средств в качестве обеспечения заявки на участие в запросе
предложений, в случае, если в документации о запросе
предложений (п.7 Информационной карты) содержится
указание на требование обеспечения такой заявки (платежное
поручение, подтверждающее перечисление денежных средств
в качестве обеспечения заявки на участие в запросе
предложений, или копия такого поручения);
11) документы, подтверждающие соответствие участника
процедуры закупки требованиям, установленным в
соответствии с пунктом 3.3 Положения о закупке, в случае,
если данные требования предусмотрены документацией о
запросе предложений (п.3 Информационной карты);
12) документы, подтверждающие соответствие участника
закупки требованиям к качеству и характеристикам
поставляемого товара, оказываемых услуг, выполняемых
работ и квалификации в соответствии с критериями оценки
заявок на участие в запросе предложений.
Форма заявки, форма анкеты участника закупки, форма
предложения о поставляемых товарах, оказываемых услугах,
выполняемых работах, их количественных и качественных
характеристиках, соответствующих критериям оценки
заявок на участие в запросе предложений, приведены в
документации.
Предложение о поставляемых товарах, оказываемых
услугах, выполняемых работах, являющихся предметом
закупки, оформляется участником с учетом требований к
описанию товаров, услуг, работ, их количественных и
качественных характеристик, приведенных в документации
(п.6 Информационной карты).
Сведения, подтверждающие опыт, квалификацию и
другие характеристики участника, предоставляются
участником закупки в свободной форме.
6
Требования к описанию
участниками закупки
поставляемого товара,
который является предметом
закупки, его функциональных
характеристик
В соответствии с техническим заданием
5
7
(потребительских свойств), его
количественных и
качественных характеристик,
требования к описанию
участниками закупки
выполняемой работы,
оказываемой услуги, которые
являются предметом закупки,
их количественных и
качественных характеристик;
Обеспечение заявки на
участие в закупке, срок и
порядок внесения денежных
средств в качестве
обеспечения заявки
10% от начальной (максимальной) цены договора –
205 711 (Двести пять тысяч семьсот одиннадцать) рублей 70
копеек.
Реквизиты для перечисления денежных средств в качестве
обеспечения заявки:
федеральное государственное автономное
образовательное учреждение высшего профессионального
образования «Национальный исследовательский
университет «МИЭТ» (МИЭТ)
ИНН 7735041133 КПП 773501001
Получатель: УФК по г. Москве (МИЭТ
л/с 30736Щ02250)
Банк получателя: Отделение 1 Московского ГТУ Банка России г.
Москва 705
БИК 044583001,
р/с 40501810600002000079
ОКАТО 45272576000
ОКПО: 02066552
8
9
10
Прием заявок осуществляется по адресу: 124498, Москва,
Порядок, место, дата начала и
дата окончания срока подачи Зеленоград, проезд 4806, дом 5, комн. 4355, внутр. тел. 26-55 в
рабочие дни с понедельника по четверг с 10.00 до 17.00 часов
заявок на участие в закупке
(время московское), в пятницу с 10.00 до 16.00 часов, перерыв
на обед с 12.00 до 13.00.
Дата начала подачи заявок: 14 ноября 2013г.
Дата окончания подачи заявок: 22 ноября 2013г.
Время окончания подачи заявок: 11.00 (время московское).
Участник процедуры закупки, подавший заявку на участие
Порядок и срок отзыва
в запросе предложений, вправе изменить или отозвать заявку
заявок на участие в закупке
на участие в закупке в любое время до момента вскрытия
комиссией конвертов с заявками на участие в запросе
предложений.
Любой участник закупки вправе направить запрос о
Формы, порядок, дата начала
разъяснении положений документации о закупке. В течение
и дата окончания срока
двух рабочих дней со дня поступления указанного запроса
предоставления участникам
Заказчик обязан направить разъяснения положений
закупки разъяснений
документации о закупке, если указанный запрос поступил к
положений документации о
Заказчику не позднее чем за 3 (три) дня до дня окончания
закупке
подачи заявок на участие в закупке.
В течение одного рабочего дня после направления
разъяснений положений документации о закупке участнику
закупки, такое разъяснение размещается Заказчиком на сайте
http://zakupki.gov.ru/223 с указанием предмета запроса, но без
указания участника закупки, от которого поступил запрос
Дата начала срока предоставления разъяснений: дата
размещения на сайте http://zakupki.gov.ru/223 извещения и
6
11
Информация об отказе от
проведения закупки
12
Место, дата и время вскрытия
конвертов с заявками на
участие в закупке
Место и дата рассмотрения
предложений участников
закупки и подведения итогов
закупки
Критерии оценки и
сопоставления заявок на
участие в закупке
13
14
документации о закупке.
Дата окончания срока предоставления разъяснений: не
менее чем за 3 (три) рабочих дня до окончания срока подачи
заявок.
В соответствии с пунктом 6.2.6 Положения о закупке
заказчик вправе отказаться от его проведения в любое время
без объяснения причин. Запрос предложений считается
отмененным с момента размещения решения об отмене на
официальном сайте. При отмене запроса предложений
заказчик не несет ответственности перед участниками
процедуры закупки, подавшими заявки на участие в запросе
предложений и третьими лицами, которым такое действие
может принести убытки.
Вскрытие конвертов с заявками будет осуществляться 22
ноября 2013г. в 11 часов 00 минут (время московское) по
адресу: Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5.
Рассмотрение заявок будет осуществляться 22ноября 2013 г.
по адресу: Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5.
Подведение итогов закупки будет осуществляться 22 ноября
2013 г. по адресу: Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5.
Критерии оценки заявок на участие в запросе
предложений и коэффициенты значимости:
1. Цена Договора – 20%;
2. Квалификация участника– 50%;
Показатели:
1) Опыт работы. Участник должен предоставить перечень
контрактов (договоров) с указанием сумм по выполненным
аналогичным работам по регламентному обслуживанию
инженерного и технологического оборудования в области
микроэлектроники:
- Сумма выполненных работ от 0 до 5 млн. руб. – 0 баллов;
- Сумма выполненных работ от 5 до 10 млн. руб. – 30 баллов;
- Сумма выполненных работ более 10 млн. руб. – 60 баллов.
2) Качественные характеристики работ. Работы по
проверке герметичности магистралей и частей оборудования
(где это необходимо) желательно проводить путем создания в
них высокого вакуума, достигающего значения не менее 1,3х108
мм.рт.ст.
- Проведение работ по проверке герметичности при условиях
хуже заданных или другим способом – 0 баллов;
- Проведение работ на проверку герметичности при заданных
условиях – 40 баллов.
3) Срок выполнения работ – 20%;
Минимальный срок выполнения работ – 10 календарных дней с
момента подписания договора;
Максимальный срок выполнения работ – 20 календарных дней с
момента подписания договора;
Единица срока выполнения работ – 1 календарный день.
4) Срок предоставления гарантии качества выполнения
работ – 10%.
15
Порядок оценки и
сопоставления заявок на
Минимальный срок предоставления гарантии качества выполнения
работ – 12 месяцев;
Единица срока предоставления гарантии качества выполнения работ
– 1 месяц.
Для оценки предложенных условий исполнения договора для
каждой заявки определяется итоговый рейтинг. Заявке,
7
участие в закупке
содержащей лучшие условия исполнения договора, соответствует
наибольший итоговый рейтинг.
Итоговый рейтинг заявки рассчитывается путем сложения
рейтингов по каждому критерию оценки заявки, установленному в
Документации о закупке, умноженных на их значимость.
Рейтинг представляет собой оценку в баллах, получаемую по
результатам оценки по критериям. Дробное значение рейтинга
округляется до двух десятичных знаков после запятой по
математическим правилам округления.
Заявке,
набравшей
наибольший
итоговый
рейтинг,
присваивается первый номер.
1. Оценка заявок по критерию «цена договора».
Рейтинг, присуждаемый заявке по критерию "цена договора",
определяется по формуле:
Ra i 
A
maх
 Ai
A maх
 100
где: Ra - рейтинг, присуждаемый i-й заявке по указанному критерию;
i
Amax - начальная (максимальная) цена договора, установленная в
документации о закупке;
Ai - предложение i-го участника закупки по цене договора.
2. Оценка заявок по критерию "квалификация участника"
Рейтинг, присуждаемый i-й заявке по вышеуказанному
критерию определяется по формуле:
Rс  С1i  С2i  ...  Сki
i
где: Rс - рейтинг, присуждаемый i-й заявке по указанному критерию;
i
С i - значение в баллах (среднее арифметическое оценок в баллах всех
k
членов комиссии), присуждаемое i-й заявке по k-му показателю, где k –
количество установленных показателей.
3. Оценка заявок по критерию "срок выполнения работ"
Рейтинг, присуждаемый заявке по критерию «Срок выполнения
работ», определяется по формуле:
где: Rвi - рейтинг, присуждаемый i-й заявке по указанному критерию;
Вmax - максимальный срок выполнения работ в единицах измерения
срока выполнения работ с даты заключения договора;
Вmin - минимальный срок выполнения работ в единицах измерения
срока выполнения работ с даты заключения договора;
Вi - предложение, содержащееся в i-й заявке по сроку выполнения работ
в единицах измерения срока выполнения работ с даты заключения
договора.
В целях оценки и сопоставления предложений в заявках со
сроком поставки, равным менее половины максимального срока
выполнения работ, установленного в Документации о закупке,
таким заявкам присваивается рейтинг по данному критерию,
равный 50.
4. Оценка заявок по критерию «срок предоставления гарантий
качества выполнения работ»
Рейтинг, присуждаемый i-й заявке по данному критерию,
определяется по формуле:
Gi  Gmin
Rg 
 100 ,
i
Gmin
где: Rg i - рейтинг, присуждаемый i-й заявке по указанному критерию;
Gmin - минимальный срок предоставления гарантий качества
выполнения работ, установленный в документации о закупке;
Gi - предложение i-го участника по сроку предоставления гарантий
8
качества выполнения работ.
В целях оценки и сопоставления заявок со сроком предоставления
гарантий качества выполнения работ, превышающим более чем
наполовину минимальный срок предоставления гарантий качества
выполнения работ, установленный в документации о закупке, таким
заявкам присваивается рейтинг по указанному критерию, равный 50.
В случае, если в нескольких заявках на участие в запросе
предложений содержатся одинаковые условия исполнения договора
(набрано одинаковое количество баллов), меньший порядковый
номер присваивается заявке на участие в закупке, которая поступила
ранее других заявок, содержащих такие условия.
Срок оценки и сопоставления заявок не превышает 10 (десять)
дней со дня подписания протокола рассмотрения заявок на участие
в запросе предложений.
16
Предмет договора
Работы по регламентному обслуживанию инженерного и
технологического оборудования
17
Требования к качеству,
техническим характеристикам
товара, работы, услуги, к их
безопасности, к
функциональным
характеристикам
(потребительским свойствам)
товара, к размерам, упаковке,
отгрузке товара, к результатам
работы и иные требования,
связанные с определением
соответствия поставляемого
товара, выполняемой работы,
оказываемой услуги
потребностям заказчика;
Место поставки товара,
выполнения работ, оказания
услуг
Срок поставки товара,
выполнения работ, оказания
услуг
Условия поставки товара,
выполнения работ, оказания
услуг
Требования к гарантийному
сроку и (или) объему
предоставления гарантий
качества
Сведения о начальной
(максимальной) цене договора
В соответствии с техническим заданием
18
19
20
21
22
23
24
124498, г. Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5, стр.23
В соответствии с техническим заданием
В соответствии с техническим заданием
В соответствии с техническим заданием
2 057 117 (Два миллиона пятьдесят семь тысяч сто семнадцать)
рублей 00 копеек, включая НДС 18%
Порядок формирования цены Цена договора включает в себя необходимые расходы на
приобретение, доставку и разгрузку на месте проведения
договора (цены лота)
работ необходимых расходных материалов и запасных
частей, организацию их хранения, проведение регламентных
работ, включая затраты на страхование, уплату таможенных
пошлин, налогов, сборов и других обязательных платежей.
Цена договора устанавливается в рублях.
Сведения о валюте,
используемой для
Все расчеты по договору производятся в рублях.
формирования цены договора
и расчетов с поставщиком
9
25
(исполнителем)
Форма, сроки и порядок
оплаты товара, работ, услуг
26
Срок подписания договора
победителем в проведении
запроса предложений
27
Информация об отказе от
заключения договора
28
Обеспечение исполнения
обязательств по договору,
срок и порядок его
предоставления
Оплата по договору осуществляется по безналичному
расчету путем перечисления заказчиком денежных средств на
расчетный счет исполнителя.
Авансовый платеж не предусмотрен.
Расчет за выполненные работы производится заказчиком
на основании предоставленных исполнителем счета, акта
сдачи-приемки выполненных работ, счета-фактуры (при
необходимости) в течение 20 (двадцати) банковских дней с
момента представления указанных документов.
Договор должен быть заключен со дня размещения на
официальном сайте протокола подведения итогов процедуры
закупки и не позднее, чем через двадцать дней со дня
подписания указанного протокола.
В соответствии с пунктом 6.11.8 Положения о закупке
заказчик вправе без объяснения причин отказаться от
заключения договора, не возмещая участнику процедуры
закупки понесенные им расходы в связи с участием в
процедуре запроса предложений.
Надлежащее исполнение обязательств по договору со
стороны исполнителя обеспечивается в размере 30%
(тридцати процентов) от цены договора.
Способ обеспечения исполнения обязательств по договору
определяется исполнителем самостоятельно путем передачи
заказчику в залог денежных средств в форме вклада
(депозита), в размере обеспечения исполнения договора, либо
путем предоставления безотзывной банковской гарантии,
выданной банком или иной кредитной организацией.
В случае выбора участником закупки в качестве способа
обеспечения исполнения договора передачи заказчику в залог
денежных средств в форме вклада (депозита), указанные
денежные средства должны быть перечислены на счет
заказчика по следующим реквизитам:
федеральное государственное автономное
образовательное учреждение высшего профессионального
образования «Национальный исследовательский
университет «МИЭТ» (МИЭТ)
ИНН 7735041133 КПП 773501001
Получатель: УФК по г. Москве (МИЭТ
л/с 30736Щ02250)
Банк получателя: Отделение 1 Московского ГТУ Банка
России г. Москва 705
БИК 044583001,
р/с 40501810600002000079
ОКАТО 45272576000
ОКПО: 02066552
В случае выбора участником закупки в качестве способа
обеспечения исполнения договора банковской гарантии, такая
банковская гарантия должна соответствовать требованиям
статей 368–379 Гражданского кодекса Российской Федерации.
Срок обеспечения исполнения договора должен
составлять срок исполнения обязательств по договору с
поставщиком плюс до 60 (шестидесяти) дней.
10
29
30
Сведения о возможности
заказчика изменить
предусмотренный договором
объем работ в соответствии с
подпунктом 4) пункта 3.9.2.2
Положения о закупке
Сведения о возможности
заказчика увеличить объем
работ при заключении
договора в соответствии с
подпунктом 2) пункта 3.9.2.2
Положения о закупке
Не предусмотрено
Не предусмотрено
11
ФОРМА ЗАЯВКИ НА УЧАСТИЕ В ЗАПРОСЕ ПРЕДЛОЖЕНИЙ
ЗАЯВКА НА УЧАСТИЕ В ЗАПРОСЕ ПРЕДЛОЖЕНИЙ
на выполнение работ ________________________________________
(наименование работ)
№____
«____» ___________2013г.
Кому: _____________________________________________________________________________
(наименование заказчика)
От кого: ___________________________________________________________________________
наименование (для юридического лица), Ф.И.О. (для физического лица);
___________________________________________________________________________________________________
место нахождения (для юридического лица), место жительства (для физического лица)
Изучив извещение о проведении запроса предложений и документацию о закупке, мы,
нижеподписавшиеся, готовы осуществить выполнение работ ______________________________ на
условиях и в соответствии с нашим предложением о выполняемых работах, их количественных и
качественных характеристиках, являющимся неотъемлемым приложением к настоящей заявке, по цене
___________(________________________) рублей __ копеек и исполнить условия договора, указанные в
извещении № _____ о проведении запроса предложений и документации о закупке, размещенных на
официальном сайте http://zakupki.gov.ru/223 и на сайте Заказчика http://miet.ru.
Цена указана с учетом ________________________________________________________
(указываются включенные (не включенные) в цену товаров, работ, услуг расходы участника процедуры закупки)
№
п/п
Наименование показателя
1
Цена договора
2
Квалификация участника
3
Срок выполнения работ
4
Срок предоставления гарантии качества
выполнения работ
Единица
измерения
Руб.
Значение
Примечание
Календарный
день
Месяц
Настоящей заявкой подтверждаем, что (наименование участника закупки):
а) не находится в процессе ликвидации (для юридического лица), не признано по решению арбитражного суда
несостоятельным (банкротом), в отношении него не открыто конкурсное производство;
б) не являемся организацией, на имущество которой наложен арест по решению суда, административного
органа и (или) экономическая деятельность которого приостановлена;
в) размер задолженности по начисленным налогам, сборам и иным обязательным платежам в бюджеты
любого уровня или государственные внебюджетные фонды за прошедший календарный год не
превышает _________ % (значение указать цифрами и прописью) балансовой стоимости активов по данным
бухгалтерской отчетности за последний завершенный отчетный период.
Настоящая заявка на участие в запросе предложений дополняется следующими документами, включая
неотъемлемые приложения:
1
Приложение № 1
2
Приложение № 2
3
Приложение № 3
4
Приложение №4
Анкета участника закупки
Предложение о выполняемых работах, их
количественных и качественных характеристиках
Сведения о наличии опыта выполнения аналогичных
работ
Сведения для подтверждения наличия необходимого
оборудования
на __ листах;
на __ листах;
на __ листах;
на __ листах;
Для оперативного уведомления нас по вопросам организационного характера и взаимодействия с
Заказчиком нами уполномочен:
12
Ф.И.О____________; номер контактного телефона _______;
адрес электронной почты _________________.
Участник процедуры закупки (уполномоченный представитель):
_______________
_________________
/ ________________ /
(должность)
(подпись)
(расшифровка подписи)
М.П.
13
ФОРМА АНКЕТЫ УЧАСТНИКА ЗАКУПКИ
Приложение №1
АНКЕТА УЧАСТНИКА ЗАКУПКИ
1. Полное и сокращенное наименование организации, ее
организационно-правовая форма – для юридических лиц:
(на основании Учредительных документов установленной формы
(устав, положение, учредительный договор), свидетельства о
государственной регистрации, свидетельства о внесении записи в
единый государственный реестр юридических лиц)
Фамилия, имя, отчество – для участников процедуры закупки физических лиц и индивидуальных предпринимателей
2. Регистрационные данные:
ОГРН, ИНН, КПП для участника процедуры закупки –
юридического лица
Паспортные данные для участника процедуры закупки –
физического лица
Примечание:
Вышеуказанные данные могут быть по усмотрению участника процедуры закупки подтверждены
путем предоставления следующих документов:
– Устав, положение;
– Свидетельство о государственной регистрации;
– Информационное письмо об учете в Статрегистре Росстата;
– Свидетельство о постановке на учет в налоговом органе.
– Выписка из Единого государственного реестра юридических лиц (индивидуальных
предпринимателей)
Страна
3. Адрес места нахождения участника процедуры закупки –
юридического лица
Адрес
Адрес места жительства участника процедуры закупки –
физического лица)
4. Почтовый адрес участника процедуры закупки
Страна
Адрес
Телефон
Факс
5. Банковские реквизиты (может быть несколько):
5.1. Наименование обслуживающего банка
5.2. Местонахождение банка
Город
5.3. Расчетный счет
5.4. Корреспондентский счет
5.5. Код БИК
Примечание: Вышеуказанные данные могут быть подтверждены путем предоставления
письма (справки) из банка об открытии расчетного счета.
6. Сведения о выданных участнику процедуры закупки
лицензиях, необходимых для выполнения обязательств по
Договору (указывается лицензируемый вид деятельности,
реквизиты действующей лицензии, наименование территории, на
которой действует лицензия)
7. Сведения о том, является ли сделка, право на заключение
которой является предметом настоящей закупки, крупной
сделкой/сделкой с заинтересованностью для участника
процедуры закупки.
Мы, нижеподписавшиеся, заверяем правильность всех данных, указанных в анкете.
В подтверждение вышеприведенных данных к анкете прикладываются следующие документы:
1.___________ (название документа) ____ (количество страниц в документе);
14
2.___________ (название документа) ____ (количество страниц в документе);
3.___________ (название документа) ____ (количество страниц в документе).
Участник процедуры закупки (уполномоченный представитель):
_____________________
(должность)
______________
(подпись)
___________________
(расшифровка подписи)
М.П.
15
ФОРМА ПРЕДЛОЖЕНИЯ О ВЫПОЛНЯЕМЫХ РАБОТАХ,
ИХ КОЛИЧЕСТВЕННЫХ И КАЧЕСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИКАХ
Приложение №2
ПРЕДЛОЖЕНИЕ О ВЫПОЛНЯЕМЫХ РАБОТАХ,
ИХ КОЛИЧЕСТВЕННЫХ И КАЧЕСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИКАХ
Изучив извещение о проведении запроса предложений и Документацию о закупке, мы,
_____________________________________________________________, готовы осуществить выполнение
работ ______________________________________ на условиях и в соответствии с предлагаемым нами
техническим решением, разработанным на основании документации (проекта) заказчика:
№
Наименование
оборудования
Наименование
работ
Заменяемые детали,
материалы и
компоненты,
используемые при
проведении работ (с
указанием марок и
моделей, которые
позволяют однозначно
идентифицировать
товар).
Ед.
изм.
Колво
Стоимость
материалов
за единицу
Стоимость
работ за
единицу
Стоимость
материалов
и работ,
всего
Итого по
оборудова
нию
1.
2.
3.
4.
5.
6.
Мы ознакомлены с материалами Технического задания, влияющими на стоимость
выполнения работ.
Участник процедуры закупки (уполномоченный представитель):
_______________
_________________
/ ________________ /
(должность)
(подпись)
(расшифровка подписи)
М.П.
16
ФОРМА СВЕДЕНИЙ О НАЛИЧИИ ОПЫТА ВЫПОЛНЕНИЯ АНАЛОГИЧНЫХ РАБОТ
Приложение №3
СВЕДЕНИЯ О НАЛИЧИИ ОПЫТА ВЫПОЛНЕНИЯ АНАЛОГИЧНЫХ РАБОТ
№
п/п
Сроки выполнения (год
и месяц начала
выполнения — год и
месяц фактического или
планируемого
окончания выполнения,
для незавершенных
договоров — процент
выполнения)
Заказчик
(наименование,
адрес)
Описание договора
(объем и состав
поставок, описание
основных условий
договора)*
Сумма договора,
рублей
Сведения о
рекламациях по
перечисленным
договорам
1.
2.
3.
…
Участник процедуры закупки (уполномоченный представитель):
_______________
_________________
/ ________________ /
(должность)
(подпись)
(расшифровка подписи)
М.П.
17
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
Работы по регламентному обслуживанию инженерного и технологического
оборудования научно-технологического центра «Нано- и микросистемной техники»
МИЭТ
В состав инфраструктуры НИУ МИЭТ входит научно-технологический центр «Нано- и
микросистемной техники» (далее – Центр). Центр оснащен современнейшим оборудованием для
производства МЭМС-структур, в т.ч. не имеющим аналогов в Российской Федерации. Все единицы
оборудования являются сложнейшими техническими устройствами, ремонт которых является весьма
дорогостоящим, а простой оборудования из-за поломок может привести к огромным убыткам.
Во избежание возникновения случаев выхода из строя оборудования Лабораторий и всего
Центра, а также по требованию производителей оборудования, в т.ч. с целью сохранения гарантии на
оборудование, необходимо своевременное проведение работ по регламентному обслуживанию.
Периодичность и условия проведения регламентных работ обусловлены требованиями инструкций по
техническому обслуживанию данного оборудования, изданных и предоставленных его
производителями. Перечень оборудования и состав регламентных работ, а также технические
характеристики заменяемых деталей перечислены в Приложении 1 к данному техническому заданию.
Наименование закупки. Проведение работ по регламентному обслуживанию инженерного и
технологического оборудования научно-технологического центра «Нано- и микросистемной
техники» МИЭТ (далее - Работы).
Требования к оформлению заявки на участие в запросе предложений. В заявке участнику процедкры
закупки необходимо указать сведения о материалах, используемых при выполнении Работ, в т.ч.:
наименование материалов, их торговый знак (его словесное обозначение), позволяющий однозначно
идентифицировать данный материал. Торговый знак не требуется, если предлагаемый материал
выпускается и реализуется без него. В этом случае необходимо указать на отсутствие товарного знака;
Участник процедуры закупки обязан представить указанные сведения в виде таблицы:
Форма составления заявки на участие в запросе предложений:
№
Наименование
оборудования
Наименование
работ
Заменяемые детали,
материалы и компоненты,
используемые при
проведении работ (с
указанием марок и
моделей, которые
позволяют однозначно
идентифицировать товар).
Ед.
изм.
Колво
Стоимость
материалов за
единицу
Стоимость
работ за
единицу
Стоимость
материалов и
работ, всего
Итого по
оборудован
ию
1.
2.
3.
4.
5.
6.
Описание в заявке участником используемых материалов путем указания неконкретных
характеристик таких материалов, в том числе путем одновременного указания нескольких товарных
знаков в отношении одного материала или добавление в заявке слов «или эквивалент», указание
диапазона значений вместо конкретного значения и т.п. может расцениваться как непредоставление
сведений, и влечет отказ в допуске к участию в закупке.
При описании характеристик используемых в работах материалов участник должен исчерпывающим
образом указать все характеристики материалов, по которым заказчиком установлены те или иные
значения в Приложении 1 к данному техническому заданию.
Установление требований к Работам:
Наименование и объем закупаемых Работ.
 Выполнение регламентного обслуживания оборудования НТЦ НМСТ Центра МИЭТ;
 Перечень и объем закупаемых Работ приведен в Приложении 1.
18
Код по ОКДП по утверждённой номенклатуре. - 9460000 Услуги по техническому обслуживанию
машин и оборудования (в том числе гарантийные).
Непосредственное описание Работ. Перечень Работ, перечисленных в Приложении 1, составлен на
основании инструкций по эксплуатации оборудования, изданных и предоставленных производителем
данного оборудования (предоставляется Заказчиком). Качество выполняемых Работ оценивается
согласно данным инструкциям.
Дополнительные требования к товару, используемому при проведении Работ. Все расходные материалы
и запасные части должны быть изготовленными не ранее 2012 года и не быть в употреблении.
Поставляемые расходные материалы и запасные части не должны быть переделанными, поврежденными
и должны быть выпущенными в свободное обращение на территории Российской Федерации без какихлибо ограничений (залог, запрет, арест и т.п.).
Требование по качеству, приемлемости, безопасности проведения Работ. Производство Работ должно
осуществляться в соответствии с требованиями правил, стандартов, технических условий и других
нормативных документов, а также с выполнением мероприятий по технике безопасности и охране
окружающей среды.
Электромонтажные работы должны соответствовать требованиям ПУЭ и ПТЭЭП.
Требования к безопасности выполняемых Работ:
a.
b.
c.
d.
e.
f.
g.
Ответственность за соблюдение правил пожарной безопасности, охраны труда и санитарногигиенического режима возлагается на Исполнителя.
Все производимые Работы должны выполняться в строгом соответствии с требованиями по
технике безопасности (СНИП 12-03-2001, 12-04-2002), пожарной безопасности.
При осуществлении Работ Исполнитель обязан соблюдать требования законодательства и иных
правовых актов об охране окружающей среды. Исполнитель должен будет нести полную
ответственность за нарушение указанных требований.
Все Работы следует производить с учетом порядка (графика) работы предприятия Заказчика,
включая исполнение требований пропускного режима на предприятии Заказчика, проведение
Работ в дневное время (устанавливаемое назначенным сотрудником предприятия Заказчика),
произведение перерывов на отдых и обед во время, устанавливаемое назначенным сотрудником
предприятия Заказчика.
В случае привлечения к работам иностранных граждан, Исполнитель должен предоставить копии
разрешений на работу на территории Российской Федерации данных работников.
Исполнитель самостоятельно и за свой счет обеспечивает транспортировку своих рабочих на место
проведения Работ и к месту их проживания.
Исполнитель самостоятельно и за свой счет обеспечивает своих рабочих питанием.
Предмет договора. Проведение
технологического оборудования
работ
по
регламентному обслуживанию
инженерного
и
Сроки и условия оплаты договора.
Выплата аванса – не предусмотрена.
Заказчик производит оплату Работ на основании предоставленных счета, Акта о приемке
выполненных работ, счета-фактуры (в случае если Исполнителем не применяется упрощенная система
налогообложения), в течение 20 (двадцати) банковских дней с момента представления указанных
документов.
Требования по количеству, периодичности, сроку и месту выполнения Работ. Место производства Работ
– Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5, строение 23.
Минимальный срок выполнения работ – 10 календарных дней.
Максимальный срок выполнения работ – 20 календарных дней.
Передаваемая вместе с результатом Работ документация: Вместе с запасными частями,
используемыми в Работах, должны быть представлены документы, удостоверяющие качество данных
запасных частей (паспорт, техническая и эксплуатационная документация на русском языке,
гарантийный талон, сертификат качества изготовителя (сертификат соответствия), заключения о
соответствии Государственной санитарно-эпидемиологической службы РФ, сертификаты соответствия
Госстандарта РФ), предусмотренные законодательством РФ.
19
Заказчик вправе потребовать разъяснения причин отсутствия каких-либо из указанных документов у
Исполнителя, а последний обязан эти разъяснения предоставить.
Условия приемки результатов Работ заказчиком: Приемка Работ производится согласно требованиям
инструкции по эксплуатации оборудования, предоставленным производителями оборудования.
Действия сторон в случае сомнений в качестве выполненных Работ: Заказчик в течение трех
календарных дней с момента обнаружения недостатков в качестве выполненных Работ письменно
уведомляет Исполнителя обо всех претензиях. После получения такого уведомления Исполнитель в
течение десяти календарных дней устраняет выявленные недостатки. Все расходы по устранению
недостатков несет Исполнитель.
В случае если выявлены несоответствия качества Работ нормативным документам, указанным в
техническом задании, Исполнитель обязан за свой счёт произвести устранение выявленных
несоответствий.
В случае возникновения разногласий между Заказчиком и Исполнителем по качеству
выполненных Работ, проводится независимая экспертиза выполненных Работ за счет Исполнителя.
Гарантийные обязательства: срок и объем. На все используемые запасные части и на результат
Работ устанавливается минимальная гарантия Исполнителя сроком 12 (двенадцать) месяцев. В случае
если гарантия производителя запасной части превышает по сроку гарантию Исполнителя, гарантия на
такую запасную часть принимается равной гарантии производителя. В период гарантийного срока за счёт
Исполнителя должна быть обеспечена замена неисправных запасных частей в соответствии с
требованиями действующего законодательства РФ. Гарантийное обслуживание осуществляется
Исполнителем с выездом на место производства Работ в течение 5 рабочих дней с момента поступления
заявки Заказчика.
Указание всех существенных условий договора. Перед началом проведения Работ, Исполнитель
обязан согласовать с Заказчиком все используемые в Работе запасные части, путем предъявления их
и/или надлежащим образом оформленных документов на них Заказчику и подписания соответствующего
Акта. Не допускается просрочка даты производства Работ более 3 (Трех) календарных дней. Если
Исполнитель не выполняет существенные условия договора, договор расторгается без требования
возмещения убытков, понесенных Исполнителем.
Размер обеспечения договора. Размер обеспечения договора 30 % от суммы договора.
20
Приложение 1
к Техническому заданию на
работы по регламентному обслуживанию инженерного и
технологического оборудования научно-технологического
центра «Нано- и микросистемной техники» МИЭТ»
Объем закупаемых работ.
№
п/п
Наименование
оборудования
1
2
Наименование
проводимых работ
Колво
ед.
обор.
3
4
5
Проверка управляющей
системы
Проверка контролирующей
автоматики
Проверка электрических
соединений
Проверка газовой автоматики
Проверка вакуумной системы
Проверка на течь газовой и
вакуумной систем
Проверка загрузки /выгрузки
Проверка нагревателей
Проверка теплорегулирующей
автоматики
1
2
3
4
5
6
7
8
9
Протирка этиловым спиртом
внешних частей установки в
ЧПП (модуля загрузки, панелей)
10
4-х канальная
установка
химического
11
осаждения из
газовой фазы при
пониженном
давлении и
12
плазменной
активацией SVFURPEH4
13
Чистка реакторов каналов
(демонтаж и отмывка на спец
участке)
1
Чистка откачных трактов
Чистка кварцевой оснастки
14
Замена масла вакуумных
насосов
15
Замена финишных фильтров
16
Замена фильтров тонкой
очистки
17
Обязательные характеристики
используемых в работах материалов
4-х канальная
установка
Проверка управляющей
системы
1
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Масло для вакуумных
насосов,
Кинематическая
вязкость при 20°С
сСт,мм²/с: 250
Число нейтрализации
(КОН) %О(м): 0,02
Потери на испарение
22ч/149°С %(м): 0,19
Фильтр, класс очистки
H14
Фильтр тонкой
очистки, размер
частиц 0,01 мкм
Ед.
изм.
Колво
Всего
6
7
8
(гр.4*гр.7)
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
шт
5
5
л
1
1
шт
10
10
л
50
50
шт
10
10
л
5
5
шт
10
10
л
2
2
л
1
1
л
20
20
шт
12
12
шт
4
4
работа
1
1
21
1
2
химического
осаждения из
газовой фазы при
19
пониженном
20 давлении SVFURLH4
21
18
22
23
24
25
26
27
28
29
3
Чистка реакторов каналов
(демонтаж и отмывка на спец
участке)
Чистка откачных трактов
Чистка кварцевой оснастки
31
Замена финишных фильтров
32
Замена фильтров тонкой
очистки
35
4-х канальная печь
36
SVFUR-AH4-1 .
37 компания SVCS
38
39
40
41
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Масло для вакуумных
насосов,
Кинематическая
вязкость при 20°С
сСт,мм²/с: 250
Число нейтрализации
(КОН) %О(м): 0,02
Потери на испарение
22ч/149°С %(м): 0,19
Фильтр, класс очистки
H14
Фильтр тонкой
очистки, размер
частиц 0,01 мкм
Протирка этиловым спиртом
внешних частей установки в
ЧПП(модуля загрузки, панелей)
Замена масла вакуумных
насосов
34
5
Проверка контролирующей
автоматики
Проверка электрических
соединений
Проверка газовой автоматики
Проверка вакуумной системы
Проверка на течь газовой и
вакуумной систем
Проверка загрузки /выгрузки
Проверка нагревателей
Проверка теплорегулирующей
автоматики
30
33
4
Проверка управляющей
системы
Проверка контролирующей
автоматики
Проверка электрических
соединений
Проверка газовой автоматики
Проверка на течь газовой и
вакуумной систем
Проверка загрузки /выгрузки
Проверка нагревателей
Проверка теплорегулирующей
автоматики
Протирка этиловым спиртом
1
Салфетка нетканая из
6
7
8
(гр.4*гр.7)
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
шт
5
5
л
1
1
шт
10
10
л
50
50
шт
10
10
л
5
5
шт
10
10
л
2
2
л
1
1
л
20
20
шт
12
12
шт
4
4
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
шт
5
5
22
1
2
3
4
внешних частей установки в
ЧПП (модуля загрузки, панелей)
43
Замена финишных фильтров
44
Замена фильтров тонкой
очистки
45
46
47
48
49
50
51
52
4-х канальная печь
SVFUR-AH4-2 .
компания SVCS
53
54
Проверка управляющей
системы
Проверка контролирующей
автоматики
Проверка электрических
соединений
Проверка газовой автоматики
Проверка на течь газовой и
вакуумной систем
Проверка загрузки /выгрузки
Проверка нагревателей
Проверка теплорегулирующей
автоматики
1
Протирка этиловым спиртом
внешних частей установки в
ЧПП(модуля загрузки, панелей)
Чистка реакторов каналов
(демонтаж и отмывка на спец
участке)
55
Замена финишных фильтров
56
Замена фильтров тонкой
очистки
57
58
59
60
Кластерная
61
установка
плазмохимическог
62
о травления
63 диэлектрических
слоев
64
65
66
67
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Фильтр, класс очистки
H14
Фильтр тонкой
очистки, размер
частиц 0,01 мкм
Чистка реакторов каналов
(демонтаж и отмывка на спец
участке)
42
5
Проверка уровней жидкостей
Визуальная проверка на утечку
воды
Проверка электрических
соединений
Проверка давления во всех
газовых магистралях
Проверка на течи
Проверка циркуляции
охлаждающей жидкости
Проверка работы заслонки
Проверка напускания в
форлинию
Калибровка манометра
Проверка смотрового окна
магнитного держателя
Замена уплотнительного
кольца источника плазмы
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Фильтр, класс очистки
H14
Фильтр тонкой
очистки, размер
частиц 0,01 мкм
1
Уплотнительное
кольцо O-ring, 30 × 3,5
6
7
8
(гр.4*гр.7)
л
1
1
шт
10
10
л
50
50
шт
12
12
шт
4
4
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
шт
5
5
л
1
1
шт
10
10
л
50
50
шт
12
12
шт
4
4
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
1
1
23
1
2
68
69
70
71
72
73
74
75
76
77
78
79
80
81
82
83
84
85
86
87
88
89
Кластерная
установка
90
плазмохимическог
3
4
Проверка срабатывания
автомата источника питания
Проверка внутреннего
нагревателя
Проверка равномерности
нагрева
Проверка основного источника
питания
Проверка электроизоляции
аппаратных стоек
Проверка блокировок
Замена уплотнительных колец
на газовводах
Проверка ЭМ-экрана источника
плазмы
Замена уплотнительного
кольца смотрового окна
нижней камеры
Замена уплотнительных колец
датчика высокого вакуума
Замена уплотнительных колец
датчика давления в камере
Замена уплотнительных колец
регулятора давления
Замена уплотнительных колец
датчика давления атмосферы
Замена уплотнительных колец
датчика вакуума
Замена уплотнительных колец
электродной сборки
Замена уплотнительных колец
газовых душей
Замена уплотнительных колец
байпаса
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-Ring, 19 × 3
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 30 × 3,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 ×
1,5;
Уплотнительное
кольцо O-ring,30 × 3,5
Замена уплотнительных колец
турбомолекулярного насоса
Замена уплотнительных колец
форлинии турбомолекулярного
насоса
Замена уплотнительных колец
заслонки
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 30 × 3,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 ×
1,5;
Уплотнительное
кольцо O-Ring, 19 × 3
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Переборка
турбомолекулярного насоса с
заменой внутренних
уплотнительных колец
Проверка уровней жидкостей
Визуальная проверка на утечку
воды
5
1
6
7
8
(гр.4*гр.7)
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
1
1
работа
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
5
5
л
л
0,
5
0,
5
0,5
0,5
работа
1
1
работа
1
1
24
1
91
92
93
94
95
96
97
98
99
100
101
102
103
104
105
106
107
108
109
110
111
112
113
114
115
116
117
118
119
120
2
3
о травления
металлов
Проверка электрических
соединений
Проверка давления во всех
газовых магистралях
Проверка на течи
Проверка циркуляции
охлаждающей жидкости
Проверка работы заслонки
Проверка напускания в
форлинию
Калибровка манометра
Замена уплотнительных колец
смотрового окна магнитного
держателя
Замена уплотнительного
кольца источника плазмы
Проверка срабатывания
автомата источника питания
Проверка внутреннего
нагревателя
Проверка равномерности
нагрева
Проверка основного источника
питания
Проверка электроизоляции
аппаратных стоек
Проверка блокировок
Замена уплотнительных колец
на газовводах
Проверка ЭМ-экрана источника
плазмы
Замена уплотнительного
кольца смотрового окна
нижней камеры
Замена уплотнительных колец
датчика высокого вакуума
Замена уплотнительных колец
датчика давления в камере
Замена уплотнительных колец
регулятора давления
Замена уплотнительных колец
датчика давления атмосферы
Замена уплотнительных колец
датчика вакуума
Замена уплотнительных колец
электродной сборки
Замена уплотнительных колец
газовых душей
Замена уплотнительных колец
байпаса
Замена уплотнительных колец
турбомолекулярного насоса
Замена уплотнительных колец
форлинии турбомолекулярного
насоса
Замена уплотнительных колец
заслонки
Переборка
4
6
7
8
(гр.4*гр.7)
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
Уплотнительное
кольцо O-Ring, 19 × 3
шт
1
1
Уплотнительное
кольцо O-ring, 30 × 3,5
шт
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
1
1
работа
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-Ring, 19 × 3
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 30 × 3,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 30 × 3,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-ring, 30 × 3,5
Уплотнительное
25
1
2
3
4
турбомолекулярного насоса с
заменой внутренних
уплотнительных колец
121
122
123
Оптический
микроскоп Vistec
lNM100
124
125
126
127
Оптический
микроскоп Vistec
lNM100/DFC290 с
цветной цифровой
камерой
129
128
130
131
132
133
Оптический
микроскоп Vistec
lNM200 UV
высокого
134
разрешения
1
Чистка оптики, столика,
влажная протирка
поверхностей
Замена галогеновой лампы
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Галогеновая лампа,
24W
Проверка управляющей
системы
Проверка электрических
соединений
Проверка герметичности
соединений и патрубков
2
Чистка оптики, столика,
влажная протирка
поверхностей
Замена галогеновой лампы
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Галогеновая лампа,
24W
Проверка управляющей
системы
Проверка электрических
соединений
Проверка герметичности
соединений и патрубков
Чистка оптики, столика,
влажная протирка
поверхностей
Замена УФ-лампы
136
Замена галогеновой лампы
Оптический
микроскоп
138
VL2000D высокого
разрешения
139
кольцо O-ring, 12 × 1,5
Уплотнительное
кольцо O-Ring, 19 × 3
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Проверка управляющей
системы
Проверка электрических
соединений
Проверка герметичности
соединений и патрубков
135
137
5
Проверка управляющей
системы
Проверка электрических
соединений
Проверка герметичности
соединений и патрубков
1
1
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
УФ-лампа 32W
Галогеновая лампа,
24W
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
1
1
шт
5
5
л
л
0,
5
0,
5
0,5
0,5
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
5
5
л
0,
5
0,5
шт
1
1
работа
1
2
работа
1
2
работа
1
2
шт
5
10
л
0,
5
1
шт
1
2
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
5
5
шт
0,
5
1
шт
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
л
0,5
1
26
1
2
140
3
Замена галогеновой лампы
142
Проверка расхода азота
охлаждения лампы
144
145
146
147
148
149
150
151
152
Установка
контактной
153 фотолитографии
MA-150E BSA
154
155
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Проверка и чистка
подложкодержателей
Проверка и чистка держателя
шаблона
Проверка ориентатора
Проверка транспортной руки
Проверка автоматической
балансировки опорной плиты
Проверка транспортировки и
ориентирования пластин
Проверка микроскопа
Проверка работы заслонки
модуля экспонирования
Калибровка датчиков
ультрафиолета
Проверка виброгашения
опорной плиты
Проверка головки компенсации
клина
Очистка и смазка
направляющих
шаблонодержателя
Очистка и смазка
направляющей оси Z
5
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Галогеновая лампа,
24W
Чистка оптики, столика,
влажная протирка
поверхностей
141
143
4
1
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
5
5
л
0,
5
0,5
шт
1
1
работа
1
1
шт
2
2
л
0,
5
0,5
шт
2
2
работа
работа
0,
2
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
кг
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
кг
0,
2
0,2
л
0,2
1
1
27
1
2
3
4
5
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
157
Проверка фокусирования
микроскопа
Замена лампы экспонирования
158
Очистка ламподержателя
156
159
160
161
162
163
164
УФ-лампа, W=1000 Вт
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Корректировка параметров
охлаждения лампы
экспонирования
Регулирование лампы
экспонирования
Измерение параллельности
держателя пластин
Очистка и смазка шпинделей
приводов системы
маскирования
Очистка и смазка шпинделей
приводов микроскопа
Очистка и смазка
направляющих и подшипников
ориентатора
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
2
2
л
0,
2
0,2
работа
1
1
шт
1
1
шт
2
2
л
0,
2
0,2
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
кг
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
кг
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
кг
0,
2
0,2
28
1
2
3
4
5
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
165
166
167
168
Проверка вакуумного
уплотнения ориентатора
Проверка точности ориентатора
Очистка и смазка
направляющих
транспортировщика пластин
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Проверка загрузки/выгрузки
пластин в кассеты
169
Смазка направляющих зеркала
170
Очистка и смазка
направляющих заслонки
модуля экспонирования
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
2
2
л
0,
2
0,2
работа
1
1
работа
1
1
кг
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
работа
1
1
кг
0,
2
0,2
кг
0,
2
0,2
шт
2
2
29
1
2
3
4
5
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
171
172
173
Проверка позиционирования
опорной плиты
Проверка дросселей
пневмоблока
Проверка датчика регулировки
глубины головки компенсации
клина
174
Смазка лампоманипулятора
175
Переборка ориентатора
176
177
178
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Переборка головки
компенсации клина
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Очистка оптики
Очистка поверхностей от
фоторезиста
Ацетон ОСЧ
Установка
контактной
179 фотолитографии и
совмещения
подложек МА6/ВА
6
180
181
182
183
Удаление осколков пластин
1
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Проверка охлаждения лампы
Проверка электрических
соединений лампы
Проверка потока и
температуры выхлопа
лампового модуля
Смазка направляющих модуля
зеркал
Смазка
Диапазон рабочих
температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения,
6
7
8
(гр.4*гр.7)
л
0,
2
0,2
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
кг
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
шт
2
2
л
0,
5
0,5
шт
2
2
работа
0,
2
1
работа
1
1
работа
1
1
кг
0,
2
0,2
л
0,2
1
30
1
2
3
4
6
7
8
(гр.4*гр.7)
работа
1
1
шт
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
1
1
шт
2
2
л
0,
2
0,2
л
5
5
работа
1
1
шт
2
2
л
1
1
работа
1
1
работа
1
1
Ацетон ОСЧ
л
5
5
Ацетон ОСЧ
л
5
5
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
2
2
5
DIN ISO 2176, >220 °С
Рабочая пенетрация
при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217);
0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757,
при 20 °С, г/см3 0,99
184
185
186
187
Проверка параллельности
головки компенсации клина
Замена лампы экспонирования
1000 Вт
Калибровка источника питания
Калибровка позиционирования
лампы экспонирования
188
Замена лампы микроскопа
189
Очистка оптики
190
191
192
193
194
195
196
197
Установка
нанесения
199 фоторезиста EVG
150
200
198
201
202
203
204
205
206
207
208
УФ-лампа, W=1000 Вт
Галогеновая
лампа,38W
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Промывка дренажа
фоторезиста
Проверка подложкодержателя
Ацетон ОСЧ
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Ацетон ОСЧ
Чистка подложкодержателя
Проверка емкостей с
фоторезистом
Проверка/очистка линий
подачи фоторезиста
Чистка головок нанесения
фоторезиста
Чистка слива фоторезиста при
парковке головок нанесения
Проверка линий подачи химии
и фоторезиста на течи
Проверка вакуумного
держатели
Проверка химического насоса
Проверка работы движения
головок нанесения фоторезиста
Проверка сенсоров крайнего
положения манипуляторов
Проверка срабатывания
клапанов
Проверка скорости
срабатывания клапанов
Проверка работы дверцы печки
Проверка нагревательной
плиты
Проверка охлаждающей плиты
Чистка с разборкой головок
нанесения
Замена уплотнительных колец
1
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Уплотнительное
л
шт
0,
5
1
0,5
1
31
1
2
3
4
датчиков позиционирования
209
210
211
212
213
214
215
216
217
218
219
220
221
222
223
224
225
226
227
Установка
228
проявления
фоторезиста EVG
229
120
230
231
232
233
234
235
236
237
238
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
2
2
л
0,
2
0,2
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
2
2
работа
1
1
л
10
10
работа
1
1
л
5
5
работа
1
1
шт
2
2
л
1
1
работа
1
1
Деионизованная вода
л
5
5
Ацетон ОСЧ
л
5
5
Ацетон ОСЧ
л
5
5
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
шт
1
2
1
2
кольцо O-Ring, 10x1
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Очистка линз камер роботаманипулятора
Проверка вакуумных линий
держателей
Проверка датчиков выхлопа
Проверка весов канистр в
химическом шкафу
Проверка датчиков утечек
Проверка рабочего давления
Проверка равномерности
нанесения фоторезиста
Проверка равномерности
нагрева нагревательной плиты
Замена батарей датчиков
задымленности в химическом
шкафу
Проверка скоростей вращения
центрифуг
Замена деионизованной воды в
чиллере
Проверка аварийного
выключения
Батарея; 3,7В, 2400мAч
Деионизованная вода
Промывка дренажа
фоторезиста
Проверка подложкодержателя
Ацетон ОСЧ
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Чистка подложкодержателя
Проверка емкостей с
проявителем
Проверка/очистка линий
подачи проявителя
Чистка головок проявления
Чистка слива при парковке
головок проявления
Проверка линий подачи химии
на течи
Проверка вакуумного
держатели
Проверка химического насоса
Проверка работы движения
головок проявления
Проверка сенсоров крайнего
положения манипуляторов
Проверка срабатывания
клапанов
Проверка скорости
срабатывания клапанов
Проверка работы дверцы печки
Проверка нагревательной
плиты
Проверка охлаждающей плиты
Чистка с разборкой головок
6
5
1
Салфетка нетканая из
32
1
2
3
4
проявления
239
Замена уплотнительных колец
датчиков позиционирования
240
Очистка линз камер роботаманипулятора
241
242
243
244
245
246
247
248
249
250
251
252
253
254
255
256
Установка
257 гидромеханическо
й отмывки пластин
EVG320
258
259
260
261
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Уплотнительное
кольцо O-Ring, 10x1
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Проверка вакуумных линий
держателей
Проверка датчиков выхлопа
Проверка весов канистр в
химическом шкафу
Проверка датчиков утечек
Проверка рабочего давления
Проверка равномерности
нанесения фоторезиста
Проверка равномерности
нагрева нагревательной плиты
Замена батарей датчиков
задымленности в химическом
шкафу
Проверка скоростей вращения
центрифуг
Замена деионизованной воды в
чиллере
Проверка аварийного
выключения
Батарея 3,7В, 2400мAч
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Чистка очистной камеры
Проверка системы подачи
химреактивов на утечки
Проверка системы на видимые
загрязнения
Проверка емкости для сбора
химреактивов
Проверка расхода во всех
магистралях подачи жидкостей
Проверка газовых соединений
Замена чистящих щеток
5
1
Щетки
Материал: нейлон
Цвет: белый
Длина ворса: 40 мм
Толщина ворса: 50
мкм
Проверка вакуума центрифуги и
робота манипулятора
Проверка аварийного
отключения
Очистка линз датчиков
ориентатора
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
6
7
8
(гр.4*гр.7)
л
1
1
шт
1
1
шт
2
2
л
0,
2
0,2
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
2
2
работа
1
1
л
10
10
работа
1
1
шт
2
2
л
0,
5
0,5
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
4
4
работа
1
1
работа
1
1
шт
2
2
л
0,
0,2
33
1
2
3
4
5
6
особой чистоты
Проверка управляющей
системы
Проверка контролирующей
автоматики
Проверка электрических
соединений
Проверка ВЧ-генератора
Проверка газовой автоматики
Проверка вакуумной системы
Проверка на течь газовой и
вакуумной систем
Проверка робота-манипулятора
Проверка нагревателей
Проверка теплорегулирующей
автоматики
262
263
264
265
266
267
268
269
270
271
272
Установка
напыления тонких
пленок металлов
SEGI-RFA3-4TR
273
274
275
276
277
278
279
280
281
282
Установка
соединения
пластин и
283 подложек Suss
Microtech
284
Substrate bonder
SB6
285
286
Протирка этиловым спиртом
внешних частей установки в
ЧПП(модуля загрузки, панелей)
1
Чистка манипуляторов
Чистка реакторов от
осажденных материалов
Чистка оснастки
Перезарядка криогенного
насоса
Проверка управляющей
системы
Проверка контролирующей
автоматики
Проверка надежности
электрических соединений
Проверка ВЧ-генератора
Поверка РРГ
Проверка вакуумной системы
Проверка на течь газовой и
вакуумной систем
Проверка робота-манипулятора
Чистка камер
Чистка манипуляторов
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Гелий
Чистота: 99,995%
1
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
7
8
(гр.4*гр.7)
2
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
работа
1
1
1
1
1
1
работа
1
1
работа
работа
1
1
1
1
работа
1
1
шт
5
5
л
2
2
шт
2
2
л
0,
2
0,2
шт
5
5
л
1
1
шт
5
5
л
1
1
м3
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
1
1
работа
работа
работа
1
1
1
1
1
1
работа
1
1
работа
1
1
шт
5
5
л
1
1
шт
2
2
34
1
2
287
3
Влажная протирка
поверхностей
289
Замена масла вакуумного
насоса
290
Замена приточных фильтров
291
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
Установка
жидкостного
травления SCR 1
1
Замена картриджей фильтров
для доочистки ортофосфорной
кислоты (H3PO4)
293
294
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
Установка
Замена приточных фильтров
5
Изопропиловый спирт
особой чистоты
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Спирт этиловый
ректификованный
Масло для вакуумных
насосов,
Кинематическая
вязкость при 20°С
сСт,мм²/с: 250
Число нейтрализации
(КОН) %О(м): 0,02
Потери на испарение
22ч/149°С %(м): 0,19
Чистка откачных трактов
288
292
4
1
Фильтр U15,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PTFE/PFA
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3 vorb.
уплотнение: FEP/Viton
Фильтр U15,
6
7
8
(гр.4*гр.7)
л
0,
2
0,2
шт
5
5
л
2
2
шт
2
2
л
0,
5
0,5
л
5
5
шт
2
2
шт
1
1
шт
1
1
шт
2
2
шт
2
2
35
1
2
3
4
жидкостного
травления SCR 2
295
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
296
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
297
Замена картриджей фильтров
для доочистки буферного
травителя (NH4F:HF)
298
Замена картриджей фильтров
для доочистки плавиковой
кислоты (HF)
299
Замена приточных фильтров
Установка
жидкостного
300 травления SCR №3
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
5
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 5 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 5 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
1
Фильтр U15,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
1
1
шт
1
1
шт
2
2
шт
2
2
шт
2
2
шт
1
1
36
1
2
3
301
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
302
Замена картриджа фильтра для
доочистки раствора азотной
кислоты (HNO3)
303
Замена картриджа фильтра для
доочистки раствора перекисносоляного (HCl:H2O2:H2O)
304
Замена приточных фильтров
305
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
Установка
жидкостного
травления SCR №4
306
4
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
форма строения: Code
3
пропускная
способность: 10 л/мин
уплотнение: FEP/Viton
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
1
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
5
Фильтр U15,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
2
2
шт
1
1
шт
1
1
37
1
2
3
307
Замена картриджа фильтра для
доочистки раствора гидроксида
калия (КОН)
308
Замена картриджа фильтра для
доочистки раствора
тетраметиламмонийгидроксида
(TMAH)
309
Замена приточных фильтров
310
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
Установка
жидкостного
травления SCR №5
4
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
1
311
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
312
Замена картриджа фильтра для
системы рецикла EKC 4000
5
Фильтр U15,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 10 л/мин
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
1
1
шт
1
1
шт
2
2
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
38
1
2
3
313
Замена картриджа фильтра для
доочистки EKC 4000
314
Замена приточных фильтров
315
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
Установка
жидкостного
травления SCR №6
316
317
Замена картриджа фильтра для
системы рецикла EKC 265
318
Замена приточных фильтров
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
5
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
1
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
Установка
жидкостного
319 травления SCR №7
4
1
Фильтр GEA ,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS/PP
длина: 10“
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
Фильтр U15,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
1
1
шт
2
2
шт
1
1
шт
1
1
шт
1
1
шт
2
2
шт
1
1
39
1
2
3
320
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
321
Замена картриджа фильтра для
системы рецикла EKC 830
322
Замена приточных фильтров
323
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
Установка
жидкостного
травления SCR №8
4
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 4“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж PALL
VFSE02010M3F300
Материал: PS/PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,02μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: FEP/Viton
1
324
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
325
Замена картриджа фильтра для
доочистки серной кислоты
кислоты (H2SO4)
5
Фильтр U15,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина:10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PTFE/PFA
длина: 10“
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
1
1
шт
1
1
шт
2
2
шт
1
1
шт
1
1
шт
2
2
40
1
2
3
326
Замена картриджа фильтра для
доочистки перекиси водорода
(H2O2)
327
Замена приточных фильтров
328
Замена картриджа фильтра для
доочистки горячей
деионизованной воды
Установка
жидкостного
травления SCR №9
Кислотный
процессор SCR
Mercury style
1
Установка сушки
331
пластин SCR RD MP
Чистка оснастки
Чистка оснастки
5
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3 vorb.
уплотнение: FEP/Viton
Картридж
Материал: PTFE/PFA
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 10 л/мин
форма строения: Code
3 vorb.
уплотнение: FEP/Viton
Замена картриджа фильтра для
доочистки холодной
деионизованной воды
329
330
4
2
3
Фильтра U15,
400х800мм
Картридж
Материал: PS / PP
длина: 10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Картридж
Материал: PS / PP
длина:10“
Присоединение
фильтра: 1/2"
уровень отсечения:
0,2μm
пропускная
способность: 30 л/мин
форма строения: Code
3
уплотнение: EPDM
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из
микроволокна, белая
40 х 36 см
Деионизованная вода
6
7
8
(гр.4*гр.7)
шт
2
2
шт
2
2
шт
1
1
шт
1
1
шт
10
20
л
5
10
шт
10
30
л
5
15
41
ПРОЕКТ
ДОГОВОР № ____/____
на выполнение работ для нужд заказчика
г. Москва
____________ 2013 года.
Федеральное
государственное
автономное
образовательное
учреждение
высшего
профессионального образования «Национальный исследовательский университет «МИЭТ», именуемое в
дальнейшем Заказчик, в лице ректора Чаплыгина Юрия Александровича, действующего на основании
Устава, с одной стороны, и __________________________, именуемое в дальнейшем Исполнитель, в лице
_____________________, действующего на основании Устава, с другой стороны, совместно именуемые в
дальнейшем Стороны, с соблюдением требований Федерального закона от 18 июля 2011 года № 223-ФЗ
«О закупках товаров, работ, услуг отдельными видами юридических лиц» и иного законодательства
Российской Федерации на основании результатов проведения закупки путем запроса предложений
(протокол № ___ от _______ 2013г.) заключили настоящий договор (далее - Договор) о нижеследующем:
1. Предмет договора
1.1. Исполнитель обязуется по заданию Заказчика выполнить работы по регламентному
обслуживанию инженерного и технологического оборудования (далее – работы), а Заказчик обязуется
оплатить работы в порядке, форме и размере, предусмотренном Договором.
1.2. Требования к работам, качеству и результатам работ, перечень действий и видов деятельности
Исполнителя, а также объем выполняемых работ определяются в Техническом задании (Приложении
№1) (далее – ТЗ).
2. Срок и место выполнения работ
2.1. Срок выполнения работ: в течение __________________ с момента заключения Договора
2.2. Допускается досрочное выполнение работ.
2.3. Место выполнения работ: на территории Заказчика по адресу - 124498, Москва, Зеленоград,
проезд 4806, д.5, стр.23.
3. Цена работ и порядок расчетов
3.1. Цена Договора включает общую стоимость работ (включая затраты на приобретение, доставку
и разгрузку на месте проведения работ необходимых расходных материалов и запасных частей,
организацию их хранения, страхование, уплату таможенных пошлин, налогов, сборов и других
обязательных платежей).
3.2. Цена работ составляет _____________ (_______________) рублей ___ копеек, в том числе НДС
18% - _____________ (_______________) рублей ___ копеек.
Цена работ является твердой в течение всего срока выполнения работ и изменению не подлежит, за
исключением случаев снижения цены Договора по соглашению Сторон без изменения
предусмотренного Договором объема работ и иных условий исполнения Договора.
3.3. Оплата по Договору осуществляется по безналичному расчету путем перечисления Заказчиком
денежных средств на расчетный счет Исполнителя, указанный в Договоре. В случае изменения
расчетного счета Исполнитель обязан в трехдневный срок в письменной форме сообщить об этом
Заказчику с указанием новых реквизитов расчетного счета. В противном случае все риски, связанные с
перечислением Заказчиком денежных средств на указанный в Договоре счет Исполнителя, несет
Исполнитель. Обязанность Заказчика по оплате считается исполненной с момента списания денежных
средств с корреспондентского счета банка Заказчика.
3.4. Авансовый платеж не предусмотрен. Расчет за выполненные работы производится Заказчиком
на основании предоставленных Исполнителем счета, Акта сдачи-приемки выполненных работ (далее –
Акт), счета-фактуры (при необходимости) в течение 20 (двадцати) банковских дней с момента
представления указанных документов.
4. Права и обязанности сторон
4.1. Исполнитель вправе:
42
4.1.1. Привлекать по согласованию с Заказчиком к исполнению обязанностей по Договору третьих
лиц.
4.1.2. Требовать оплаты надлежащим образом выполненных и принятых Заказчиком работ.
4.1.3. Запрашивать у Заказчика предоставления разъяснений и уточнений по вопросам выполнения
работ в рамках исполнения обязательств по Договору.
4.2. Заказчик вправе:
4.2.1. Проверять ход и качество выполнения Исполнителем работ по Договору.
4.2.2.Требовать от Исполнителя предоставления информации и документации Исполнителя для
осуществления проверки хода и качества выполнения работ.
4.2.3. Осуществлять приемку работ, в том числе выполненных досрочно.
4.2.4. Осуществлять иные права, предусмотренные Договором и законодательством Российской
Федерации.
4.3. Исполнитель обязан:
4.3.1. Перед началом выполнения работ согласовать с Заказчиком все используемые в работе
запасные части и расходные материалы путем предъявления их и/или надлежащим образом
оформленных документов на них Заказчику и подписания соответствующего акта.
Все запасные части и расходные материалы должны быть изготовленными не ранее 2012 года и не
быть в употреблении. Используемые при выполнении работ запасные части и расходные материалы не
должны быть переделанными, поврежденными и должны быть выпущенными в свободное обращение на
территории Российской Федерации без каких-либо ограничений (залог, запрет, арест и т.п.).
Вместе с запасными частями и расходными материалами, используемыми при выполнении работ,
при необходимости должны быть представлены документы, удостоверяющие качество данных запасных
частей и расходных материалов (паспорт, техническая и эксплуатационная документация на русском
языке, гарантийный талон, сертификат качества изготовителя (сертификат соответствия), заключения о
соответствии Государственной санитарно-эпидемиологической службы РФ, сертификаты соответствия
Госстандарта РФ), предусмотренные законодательством РФ.
4.3.2. Своевременно и надлежащим образом выполнить работы в соответствии с ТЗ (Приложение
№1).
4.3.3. Предоставлять Заказчику информацию и документацию Исполнителя для проверки хода и
качества выполнения работ.
4.3.4. Предупреждать Заказчика о вероятных конкретных событиях или обстоятельствах в
будущем, которые могут повлиять на качество работ.
4.3.5. Выполнить работы согласно требованиям инструкций по эксплуатации оборудования,
предоставленных Заказчиком.
4.3.6. В случае если выявлены несоответствия проведенных работ требованиям ТЗ (Приложение
№1), своими силами и за свой счет устранить недостатки в выполненных работах.
4.3.7. Работы следует проводить с учетом порядка (графика) работы предприятия Заказчика,
включая исполнение требований пропускного режима на предприятии Заказчика, проведение работ в
дневное время (устанавливаемое назначенным сотрудником предприятия Заказчика), проведение
перерывов на отдых и обед во время, устанавливаемое назначенным сотрудником предприятия
Заказчика.
4.3.8. Проводить работы в соответствии с требованиями правил, стандартов, технических условий и
других нормативных документов, а также с выполнением мероприятий по технике безопасности и
охране окружающей среды. Ответственность за нарушение требований законодательства и иных
правовых актов об охране окружающей среды возлагается на Исполнителя.
4.3.9. Обеспечить безопасность выполняемых работ согласно следующим требованиям: «Правила
техники безопасности при эксплуатации электроустановок», ПУЭ, ПТЭЭП, СНИП 12-03-2001, 12-042002, пожарной безопасности.
Ответственность за соблюдение правил пожарной безопасности, охраны труда и санитарногигиенического режима возлагается на Исполнителя.
4.3.10. Предоставить гарантию на все используемые для выполнения работ запасные части и на
результат работ на срок ___ месяцев. В случае если гарантия производителя запасной части превышает
по сроку гарантию Исполнителя, гарантия на такую запасную часть принимается равной гарантии
производителя. В период гарантийного срока за счёт Исполнителя должна быть обеспечена замена
неисправных запасных частей в соответствии с требованиями действующего законодательства РФ.
43
Гарантийное обслуживание осуществляется Исполнителем с выездом на место выполнения работ в
течение 5 (пяти) рабочих дней с момента поступления заявки Заказчика.
4.3.11. Соблюдать правила использования иностранной и иногородней рабочей силы,
устанавливаемые законодательством Российской Федерации и правовыми актами Правительства
Москвы, при этом Исполнитель обязуется не привлекать к работам по выполнению Договора персонал,
не имеющий необходимых виз, лицензий и разрешений на пребывание и работу на территории г.
Москвы, а также не прошедших аттестацию по работам, соответствующим предмету Договора.
В случае привлечения к работам иностранных граждан, Исполнитель должен предоставить
Заказчику копии разрешений на работу на территории Российской Федерации данных работников.
4.3.12. Выполнять иные обязательства, предусмотренные Договором, законодательством
Российской Федерации.
4.4. Заказчик обязан:
4.4.1. До начала выполнения работ передать Исполнителю инструкции по эксплуатации
оборудования, подлежащего регламентному обслуживанию.
4.4.2.Принять работы согласно требованиям инструкций по эксплуатации оборудования.
4.4.3. Принять выполненные работы в соответствии с условиями Договора, в случае отсутствия
претензий относительно их объема, качества и соблюдения сроков их выполнения, подписать Акт и
передать один экземпляр Акта Исполнителю.
4.4.4. Оплатить выполненные работы в соответствии с условиями Договора.
4.4.5. Выполнять иные обязательства, предусмотренные Договором, законодательством
Российской Федерации.
5. Порядок сдачи-приемки работ
5.1. Приемка работ производится согласно требованиям инструкции по эксплуатации
оборудования, предоставленным производителями оборудования.
5.2. Факт выполнения работ Исполнителем и их получения Заказчиком должен быть подтвержден
Актом. Данный Акт подлежит составлению и подписанию Сторонами в течение 5 (пяти) дней по
окончании срока выполнения работ, при условии, что работы выполнены Исполнителем надлежащим
образом и в полном объеме.
5.3. Подписание Акта осуществляется Сторонами либо уполномоченными представителями
Сторон Договора. Для подтверждения полномочий на подписание Акта представители Сторон
предъявляют заверенные надлежащим образом документы, подтверждающие их полномочия.
Акт, который подписан лицом, не предусмотренным Договором и не имеющим полномочий на
подписание таких документов, не принимается в качестве доказательства получения работ Заказчиком и
не предоставляет Исполнителю права требовать оплаты выполненных работ.
5.4. В случае если выявлены несоответствия результатов работ указанным в ТЗ (Приложение №1)
характеристикам, Исполнитель обязан за свой счёт устранить недостатки работ таким образом, чтобы их
результат в полной мере соответствовал характеристикам, указанным в ТЗ (Приложение №1). Срок
устранения несоответствий результатов работ требованиям ТЗ (Приложение №1) при этом должен
составлять не более 5 (пяти) дней с момента получения претензии Заказчика.
Претензии по результатам работ Заказчик вправе предъявить в течение 14 (четырнадцати) дней
после приемки работ.
В случае возникновения разногласий между Заказчиком и Исполнителем по качеству
выполненных работ, проводится независимая экспертиза выполненных работ за счет Исполнителя.
5.5. Датой выполнения работ по Договору считается дата подписания Сторонами Акта.
6. Ответственность сторон
6.1. За невыполнение или ненадлежащее исполнение обязательств по Договору Стороны несут
ответственность в соответствии с законодательством Российской Федерации и условиями Договора.
6.2. В случае просрочки исполнения Исполнителем своих обязательств, предусмотренных
Договором, включая установленные сроки выполнения работ, Заказчик вправе потребовать уплату
неустойки. Неустойка начисляется за каждый день просрочки исполнения обязательства, начиная со дня,
следующего после дня истечения установленного срока исполнения обязательства по Договору. Размер
такой неустойки устанавливается в размере 0,1% от стоимости работ за каждый день просрочки, но не
более общей стоимости работ.
44
6.3. В случае просрочки исполнения Заказчиком обязательств, предусмотренных Договором,
Исполнитель вправе потребовать уплату неустойки. Неустойка начисляется за каждый день просрочки
исполнения обязательства, начиная со дня, следующего за днем истечения установленного срока
исполнения обязательства по Договору, и определяется в процентах от объема невыполненных
обязательств, предусмотренных Договором. Процентная ставка для такой неустойки принимается равной
одной трехсотой ставки рефинансирования Центрального банка Российской Федерации, действующей на
дату установленного срока исполнения обязательства.
Заказчик несет ответственность за несвоевременную оплату выполненных работ с учетом
особенностей финансирования, предусмотренных п. 12.7 Договора.
6.4. Выплата неустойки не освобождает Исполнителя от выполнения обязательств по Договору.
Исполнитель освобождается от уплаты неустойки, если докажет, что просрочка исполнения указанных
обязательств произошла вследствие непреодолимой силы или по вине Заказчика.
6.5. Исполнитель несет ответственность за действия третьих лиц, привлекаемых им к выполнению
обязательств по Договору, как за свои собственные. Невыполнение третьими лицами обязательств перед
Исполнителем не освобождает Исполнителя от выполнения условий Договора.
7. Обстоятельства непреодолимой силы
7.1. Стороны освобождаются от ответственности за полное или частичное неисполнение своих
обязательств по Договору, в случае если оно явилось следствием обстоятельств непреодолимой силы, а
именно наводнения, пожара, землетрясения, диверсии, военных действий, блокад, изменения
законодательства, препятствующих надлежащему исполнению обязательств по Договору, а также других
чрезвычайных обстоятельств, которые возникли после заключения Договора и непосредственно
повлияли на исполнение Сторонами своих обязательств, а также которые Стороны были не в состоянии
предвидеть и предотвратить.
7.2. При наступлении таких обстоятельств срок исполнения обязательств по Договору отодвигается
соразмерно времени действия данных обстоятельств, поскольку эти обстоятельства значительно влияют
на исполнение Договора в срок.
7.3. Сторона, для которой надлежащее исполнение обязательств оказалось невозможным
вследствие возникновения обстоятельств непреодолимой силы, обязана в течение 5 (пяти) рабочих дней с
даты возникновения таких обстоятельств уведомить в письменной форме другую Сторону об их
возникновении, виде и возможной продолжительности действия.
7.4. Если обстоятельства, указанные в п. 7.1 Договора, будут длиться более двух календарных
месяцев от даты соответствующего уведомления, Стороны вправе расторгнуть Договор по соглашению
Сторон либо заинтересованная Сторона вправе обратиться в суд с требованием о расторжении Договора
без требования возмещения убытков, понесенных в связи с наступлением таких обстоятельств.
8. Рассмотрение и разрешение споров
8.1. Стороны принимают все меры к тому, чтобы любые спорные вопросы, разногласия либо
претензии, касающиеся исполнения Договора, были урегулированы путем переговоров, с оформлением
совместного протокола разногласий.
8.2. В случае наличия претензий, споров, разногласий относительно исполнения одной из Сторон
своих обязательств по Договору, заинтересованная Сторона может направить претензию другой Стороне.
При этом ответ на претензию по существу предъявленных требований должен быть направлен
заинтересованной Стороне не позднее 2 (двух) дней с даты ее получения другой Стороной.
8.3. К отношениям Сторон по Договору и в связи с ним применяется законодательство Российской
Федерации. При неразрешённости претензий заинтересованная Сторона вправе обратиться с
требованиями в Арбитражный суд г. Москвы.
8.4. По соглашению Сторон возникший спор может быть передан Сторонами на рассмотрение
третейского суда.
9. Уведомления и извещения сторон по Договору
9.1. Все юридически значимые заявления (заявки, извещения, уведомления, требования, претензии
и т.п.) должны направляться по адресам Сторон, указанным в Договоре.
45
9.2. Допустимые способы направления заявлений: в письменной форме по почте заказным
письмом с уведомлением о вручении либо телеграммой, курьерской службой, факсимильной связью или
по электронной почте с последующим представлением оригинала.
9.3. Любое заявление, которое одна Сторона направляет другой Стороне в соответствии с
Договором, вступает в силу в день доставки такого заявления лицу, которому оно адресовано.
9.4. В случае изменения адреса для получения корреспонденции соответствующая Сторона в
течение 3 (трех) календарных дней обязана известить об этом другую Сторону любым допустимым
Договором способом направления заявлений.
Сторона, нарушившая данную обязанность, несет все неблагоприятные последствия и риски
отсутствия у другой Стороны актуальной информации об адресе для направления соответствующих
заявлений. В частности, все заявления, указанные в п.9.1 Договора считаются доставленными, а их
юридические последствия – возникшими при условии доставки по предыдущему, доведенному до
сведения отправителя, адресу получателя.
9.5. Заявление считается доставленным, а Сторона, которой заявление направлено, получившей
заявление независимо от наличия у лица, принявшего заявления, соответствующих полномочий:
9.5.1. В день получения отправителем уведомления о вручении при отправке заявления заказным
письмом по почте, уведомления об отказе адресата от получения такого уведомления либо уведомления
об отсутствии (выбытии) получателя по указанному адресу;
9.5.2. Указанием на дату, время и должность лица, получившего заявление, на копии заявления при
отправке курьерской службой;
9.5.3. Получением отправителем уведомления о прочтении письма в случае отправки заявления по
электронной почте.
10. Расторжение Договора
10.1. Расторжение Договора (в том числе досрочное) допускается исключительно по соглашению
Сторон или решению суда по основаниям, предусмотренным гражданским законодательством.
10.2. По требованию одной из Сторон Договор может быть расторгнут только при существенном
нарушении Договора другой Стороной.
Существенным признается нарушение Договора одной из Сторон, которое влечет для другой
Стороны такой ущерб, что она в значительной степени лишается того, на что была вправе рассчитывать
при заключении Договора, а также иные существенные нарушения, прямо указанные в Договоре.
Если основанием для расторжения Договора послужило существенное нарушение Договора одной
из Сторон, другая Сторона вправе требовать возмещения убытков, причиненных расторжением
Договора.
Размер причиненного ущерба должен быть подтвержден документально.
10.3. Стороны пришли к соглашению о том, что наступление следующего обстоятельства является
существенным нарушением Исполнителем условий Договора:
10.3.1. Просрочка выполнения работ более чем на 3 (три) календарных дня.
При наступлении такого обстоятельства Заказчик вправе заключить с Исполнителем соглашение о
расторжении Договора, либо Заказчик вправе обратиться к Исполнителю с мотивированным
требованием о расторжении Договора с указанием срока для получения ответа на данное требование. В
случае неполучения ответа данное требование будет являться основанием для расторжения Договора по
соглашению Сторон.
10.4. Соглашение о расторжении Договора совершается в простой письменной форме.
10.5. Требование одной из Сторон о расторжении Договора может быть заявлено Стороной в суд
только после получения отказа другой Стороны на предложение расторгнуть Договор, либо неполучения
ответа в срок, указанный в предложении, а при его отсутствии - в тридцатидневный срок.
10.6. Договор считается расторгнутым, а обязательства Сторон прекращенными:
10.6.1. По соглашению Сторон – с момента заключения Сторонами соглашения о расторжении
Договора;
10.6.2. По решению суда – с момента вступления в законную силу решения суда;
10.6.3. По требованию Заказчика в порядке, предусмотренном п.10.3 Договора – с момента
истечения срока неполучения ответа от Исполнителя на предложение о расторжении Договора.
10.7. При расторжении Договора обязательства Сторон прекращаются.
46
11. Обеспечение исполнения Договора
11.1. Надлежащее исполнение обязательств по Договору со стороны Исполнителя обеспечивается в
размере 30% (тридцати процентов) от цены Договора.
Способ обеспечения исполнения обязательств по Договору определяется Исполнителем
самостоятельно путем передачи Заказчику в залог денежных средств в форме вклада (депозита), в
размере обеспечения исполнения Договора, либо путем предоставления безотзывной банковской
гарантии, выданной банком или иной кредитной организацией.
Вариант А: путем перечисления денежных средств в сумме ___________(________) рублей на
специальный счет Заказчика.
Вариант Б: путем предоставления банковской гарантии от__________ 20_ №__ на
сумму____________(____________) рублей, по форме, приемлемой для Заказчика.
В случае оформления Исполнителем обеспечения, не соответствующего требованиям
действующего законодательства, Договор считается необеспеченным и ответственность по исполнению
данного условия несет исключительно Исполнитель.
11.2. Возврат денежных средств, внесенных Исполнителем в качестве обеспечения исполнения
Договора, производится Заказчиком в течение 10 (десяти) банковских дней с момента исполнения
Исполнителем своих обязательств по Договору.
11.3. В случае неисполнения или ненадлежащего исполнения Исполнителем своих обязательств по
Договору, Заказчик обращает взыскание на денежные средства, поступившие на его счет в качестве
обеспечения исполнения Договора, без обращения в суд, путем направления этих средств на
удовлетворение своих требований к Исполнителю. Разница между суммой обеспечения исполнения
Договора и суммой требований Заказчика по неисполненным Исполнителем обязательствам в течение 20
(двадцати) дней возвращается Исполнителю.
Средства обеспечения исполнения Договора являются компенсацией за любые убытки, которые
Заказчик может понести вследствие неполного выполнения Исполнителем своих обязательств по
Договору.
11.4. В случае продления срока выполнения работ или увеличения объемов работ по Договору,
Исполнитель обязуется переоформить соответствующую банковскую гарантию или передать Заказчику
дополнительные денежные средства в обеспечение исполнения Договора.
11.5. В случае если по каким - либо причинам обеспечение исполнения обязательств по Договору
прекратило свое действие или иным образом перестало обеспечивать исполнение Исполнителем своих
обязательств по Договору, Исполнитель обязуется в течение 10 (десяти) банковских дней с момента
прекращения действия обеспечения предоставить Заказчику новое обеспечение исполнения Договора на
тех же условиях и в том же размере.
12. Особые условия.
12.1. Срок исполнения Договора:
Исполнителем – определяется фактическим выполнением работ и исполнением иных обязательств
по Договору в полном объеме;
Заказчиком – оплатой выполненных работ в полном объеме на условиях, предусмотренных
Договором.
Срок действия Договора:
- с момента подписания Договора с соблюдением установленных законодательством Российской
Федерации сроков заключения Договора до момента исполнения обязательств Сторон в полном объеме,
либо до момента прекращения по иным основаниям обязательств Сторон. В части неисполненных
обязательств Договор действует до момента их надлежащего исполнения.
Окончание срока действия Договора не освобождает Стороны от ответственности за его
нарушения.
12.2. Изменения и дополнения к Договору, не противоречащие действующему законодательству
Российской Федерации, оформляются дополнительными соглашениями Сторон в письменной форме.
12.3. В ходе исполнения Договора Стороны могут при необходимости определить перечень
сведений, являющихся конфиденциальными, и установить путем подписания соответствующего
дополнительного соглашения порядок обращения с конфиденциальной информацией, в том числе
порядок ее публикации.
47
12.4. В случае перемены Заказчика по Договору права и обязанности Заказчика по Договору
переходят к новому Заказчику в том же объеме и на тех же условиях.
12.5. Стороны по Договору гарантируют наличие у них прав и полномочий, необходимых для
подписания Договора, а также отсутствие иных ограничений, вытекающих из закона, учредительных
документов или иных оснований, препятствующих заключению Договора.
12.6. Отказ Исполнителя от выполнения своих обязательств возможен только в связи с
существенными нарушениями условий Договора Заказчиком либо вследствие наступления
обстоятельств непреодолимой силы в соответствии с п.7 Договора.
12.7. Договор финансируется из целевых средств. В случае отсутствия либо уменьшения целевого
финансирования, Стороны согласовывают новые сроки, а при необходимости и другие условия
Договора, при этом Исполнитель вправе потребовать от Заказчика возмещения только фактически
понесенного ущерба, непосредственно обусловленного изменением условий Договора. Размер
причиненного ущерба должен быть подтвержден документально.
12.8. Во всем, что не предусмотрено Договором, Стороны руководствуются действующим
законодательством Российской Федерации.
12.9. Договор составлен в 2 (двух) экземплярах, имеющих одинаковую юридическую силу, по
одному экземпляру для каждой из Сторон.
12.10. Неотъемлемой частью Договора является следующее приложение: Приложение 1.
Техническое задание.
13. Адреса, банковские реквизиты и подписи сторон
Заказчик
федеральное государственное автономное
образовательное учреждение высшего
профессионального образования
«Национальный исследовательский
университет «МИЭТ»
(МИЭТ)
Исполнитель
Адрес места нахождения: ______________
Адрес для корреспонденции: ____________
Адрес места нахождения: 124498, Москва,
Зеленоград, проезд 4806, д.5.
Адрес для корреспонденции: 124498,
Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5.
ИНН 7735041133, КПП 773501001
Получатель: УФК по г.Москве (МИЭТ л/с
30736Щ02250)
Банк получателя: Отделение 1 Московского
ГТУ Банка России г. Москва 705
БИК 044583001, Р/с 40501810600002000079
ОКАТО 45272576000
ОКПО: 02066552
ЗАКАЗЧИК:
ИСПОЛНИТЕЛЬ:
___________________ /____________/
______________________ /_____________/
«____» _______________ 2013г.
«____» _______________ 2013г.
48
Приложение № 1
к Договору № _____/_____
от _____________2013г.
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
Работы по регламентному обслуживанию инженерного и технологического
оборудования НИЛ ФШ и НИЛ ЭК центра «Технологии и испытания электронных
компонентов» МИЭТ
В состав инфраструктуры НИУ МИЭТ входит центр «Технологии и испытания электронных
компонентов» (далее – Центр), на основе которого в 2011 году были созданы научно-исследовательские
лаборатории «Сборки и испытаний электронных компонентов» (НИЛ ЭК) и «Проектирования и
изготовления фотошаблонов» (далее совместно именуются Лаборатории). НИЛ ФШ обладает
уникальнейшим оборудованием для производства фотошаблонов на уровне до 180 нм. В лаборатории
производятся такие операции как отмывка заготовок, нанесение фоторезиста, экспонирование,
проявление, снятие фоторезиста, контроль размеров нанесенных слоев, устранение дефектов. НИЛ ЭК
предназначена для проведения операций корпусирования и испытания микросхем. Все единицы
оборудования Лабораторий Центра являются сложнейшими техническими устройствами (причем
некоторые не имеют аналогов в Российской Федерации), ремонт которых является весьма
дорогостоящим, а простой оборудования из-за поломок может привести к огромным убыткам.
Во избежание возникновения случаев выхода из строя оборудования Лабораторий и всего
Центра, а также по требованию производителей оборудования, в т.ч. с целью сохранения гарантии на
оборудование, необходимо своевременное проведение работ по регламентному обслуживанию.
Периодичность и условия проведения регламентных работ обусловлены требованиями инструкций по
техническому обслуживанию данного оборудования, изданных и предоставленных его
производителями. Перечень оборудования и состав регламентных работ, а также технические
характеристики заменяемых деталей перечислены в Приложении 1 к данному техническому заданию.
Наименование и объем закупаемых Работ.
 Выполнение регламентного обслуживания оборудования НИЛ ФШ и НИЛ ЭК Центра МИЭТ;
 Перечень и объем закупаемых Работ приведен в Приложении 1.
Код по ОКДП по утверждённой номенклатуре. 9460000 Услуги по техническому обслуживанию машин
и оборудования (в том числе гарантийные).
Непосредственное описание Работ. Перечень Работ, перечисленных в Приложении 1, составлен на
основании инструкций по эксплуатации оборудования, изданных и предоставленных производителем
данного оборудования (предоставляется заказчиком). Качество выполняемых Работ оценивается
согласно данным инструкциям.
Дополнительные требования к товару, используемому при проведении Работ. Все расходные материалы
и запасные части должны быть изготовленными не ранее 2012 года и не быть в употреблении.
Поставляемые расходные материалы и запасные части не должны быть переделанными, поврежденными
и должны быть выпущенными в свободное обращение на территории Российской Федерации без какихлибо ограничений (залог, запрет, арест и т.п.).
Требование по качеству, приемлемости, безопасности проведения Работ. Производство Работ должно
осуществляться в соответствии с требованиями правил, стандартов, технических условий и других
нормативных документов, а также с выполнением мероприятий по технике безопасности и охране
окружающей среды.
Электромонтажные работы должны соответствовать требованиям ПУЭ и ПТЭЭП.
Требования к безопасности выполняемых Работ:
1. Ответственность за соблюдение правил пожарной безопасности, охраны труда и санитарногигиенического режима возлагается на Исполнителя.
49
2.
3.
4.
5.
6.
7.
Все производимые Работы должны выполняться в строгом соответствии с требованиями по
технике безопасности (СНИП 12-03-2001, 12-04-2002), пожарной безопасности.
При осуществлении Работ Исполнитель обязан соблюдать требования законодательства и иных
правовых актов об охране окружающей среды. Исполнитель должен будет нести полную
ответственность за нарушение указанных требований.
Все Работы следует производить с учетом порядка (графика) работы предприятия Заказчика,
включая исполнение требований пропускного режима на предприятии Заказчика, проведение
Работ в дневное время (устанавливаемое назначенным сотрудником предприятия Заказчика),
произведение перерывов на отдых и обед во время, устанавливаемое назначенным сотрудником
предприятия Заказчика.
В случае привлечения к работам иностранных граждан, Исполнитель должен предоставить копии
разрешений на работу на территории Российской Федерации данных работников.
Исполнитель самостоятельно и за свой счет обеспечивает транспортировку своих рабочих на место
проведения Работ и к месту их проживания.
Исполнитель самостоятельно и за свой счет обеспечивает своих рабочих питанием.
Передаваемая при проведении Работ документация: Вместе с запасными частями, используемыми в
Работах, должны быть представлены документы, удостоверяющие качество данных запасных частей
(паспорт, техническая и эксплуатационная документация на русском языке, гарантийный талон,
сертификат качества изготовителя (сертификат соответствия), заключения о соответствии
Государственной санитарно-эпидемиологической службы РФ, сертификаты соответствия Госстандарта
РФ), предусмотренные законодательством РФ.
Заказчик вправе потребовать разъяснения причин отсутствия каких-либо из указанных документов у
Исполнителя, а последний обязан эти разъяснения предоставить.
Условия приемки результатов Работ заказчиком: Приемка Работ производится согласно требованиям
инструкции по эксплуатации оборудования, предоставленным производителями оборудования.
Действия сторон в случае сомнений в качестве выполненных Работ: Заказчик в течение трех
календарных дней с момента обнаружения недостатков в качестве выполненных Работ письменно
уведомляет Исполнителя обо всех претензиях. После получения такого уведомления Исполнитель в
течение десяти календарных дней устраняет выявленные недостатки. Все расходы по устранению
недостатков несет Исполнитель.
В случае если выявлены несоответствия качества Работ нормативным документам, указанным в
техническом задании, Исполнитель обязан за свой счёт произвести устранение выявленных
несоответствий.
В случае возникновения разногласий между Заказчиком и Исполнителем по качеству
выполненных Работ проводится независимая экспертиза выполненных Работ за счет Исполнителя.
Гарантийные обязательства: срок и объем. На все используемые запасные части и на результат Работ
устанавливается минимальная гарантия Исполнителя сроком 12 (двенадцать) месяцев. В случае если
гарантия производителя запасной части превышает по сроку гарантию Исполнителя, гарантия на такую
запасную часть принимается равной гарантии производителя. В период гарантийного срока за счёт
Исполнителя должна быть обеспечена замена неисправных запасных частей в соответствии с
требованиями действующего законодательства РФ. Гарантийное обслуживание осуществляется
Исполнителем с выездом на место производства Работ в течение 5 рабочих дней с момента поступления
заявки Заказчика.
Указание всех существенных условий договора. Перед началом проведения Работ Исполнитель обязан
согласовать с Заказчиком все используемые в Работе запасные части путем предъявления их и/или
надлежащим образом оформленных документов на них Заказчику и подписания соответствующего Акта.
Не допускается просрочка даты производства Работ более 3 (трех) календарных дней. Если Исполнитель
не выполняет существенные условия договора, договор расторгается без требования возмещения
убытков, понесенных Исполнителем.
Размер обеспечения договора. Размер обеспечения договора: 30 % от суммы договора.
50
Приложение 1
к Техническому заданию на
«Проведение работ по регламентному обслуживанию инженерного
и технологического оборудования НИЛ ФШ и НИЛ ЭК Центра МИЭТ»
Объем закупаемых работ.
№
п/
п
Наименование
оборудования
1
2
1
3
4
5
7
8
9
10
11
12
13
Обязательные характеристики
используемых в работах материалов
3
4
5
Проверка подачи питания
2
6
Наименование проводимых
работ
Колво
един
иц
обор.
Установка
контроля
акустических
шумов LPD4000.BGW
Контроль устройства
вибрационных воздействий с
помощью осциллятора/
акселерометра
Калибровка параметров
осциллографа
Калибровка уровня и времени
механического воздействия
Калибровка отключения
детекции звукового порога
Настройка пикового значения
усилителя и ширины диапазона
Настройка детектора порога
Калибровка блока теста
чувствительности и системы
контроля акустических шумов
Настройка контроллера
дополнительного механического
воздействия
Настройка функции таймера и
последовательности операций
Настройка работы статической
операции и шокового
воздействия
Калибровка ультразвукового
преобразователя
Установка
Замена вкладок для фильтров
контроля
герметичности с
камерой
опрессовки в
гелии HLT-560-VC
15
Замена масла
14
1
Предохранитель T10 A (5 × 20)
Предохранитель Т4 А (5 × 20)
Предохранитель Т0.8 А (5 × 20)
Предохранитель Т0.315 А (5 × 20)
Предохранитель Т1 А (5 × 20)
Предохранитель M 0,032 A (5 × 20)
Вкладка для фильтра 17х11мм 0,1мкм
Масло
-кинематическая вязкость при 20°С сСт,
мм²/с: 250;
-число нейтрализации (КОН), %О(м): 0,02;
-давление пара при 20°С (10-4)
паскаль(Па): 1,3;
-давление пара при 100°С (10-1),
паскаль(Па): 1,3;
-конечное максимальное давление (101), паскаль(Па): 2,0
Итого
6
7
8
(гр.4*г
р.7)
раб
ота
1
1
раб
ота
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
раб
ота
1
1
раб
ота
1
1
раб
ота
1
1
раб
ота
1
1
раб
ота
1
1
шт
шт
шт
шт
шт
шт
шт
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
л
5
5
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
1
Замена предохранителей
Еди
Ко
ниц
ла
во
изм.
51
1
2
3
4
Очистка и смазка направляющих
оси Х
16
Очистка и смазка направляющих
оси Y
17
Установка
монтажа
кристаллов
методом флипчип с
возможностью
эвтектической
пайки РР5/4
18
19
1
Очистка и смазка направляющих
оси Z
Очистка оптики
5
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Паяющее жало
Рабочее напряжение: 220 В/50 Гц
Выходная мощность: 1200 Вт
Регулируемая температура системы
предварительного нагрева: 100...450°C
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты;
Деионизованная вода
20
Замена паяющего жала
21
Очистка столика
22
Проверка вакуумного прижима
23
Замена предохранителей
Предохранитель Т0.8 А (5 × 20)
Очистка и смазка направляющих
оси Х
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
24
Установка
монтажа
кристаллов с
возможностью
эвтектической
пайки РР-5/2
1
6
7
8
(гр.4*г
р.7)
кг
0,2
0,2
шт
2
2
л
0,2
0,2
кг
0,2
0,2
шт
2
2
л
0,2
0,2
кг
0,2
0,2
шт
2
2
л
0,2
0,2
шт
1
1
л
0,2
0,2
шт
1
1
шт
2
2
л 0,2
л 0,5
раб
1
ота
шт 1
кг
0,2
0,2
0,5
1
1
0,2
52
1
25
26
27
2
3
4
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Деионизованная вода
Очистка и смазка направляющих
оси Y
Очистка и смазка направляющих
оси Z
Очистка оптики
28
Очистка столика
29
Проверка вакуумного прижима
30
Замена предохранителей
31
Проверка уплотнения двери
32
Замена уплотнительных колец
33
Очистка реакционной камеры
Установка
Проверка герметичности
плазменной
очистки YES G500 реакционной камеры
35 Yield Engineering Проверка заземления экрана
Systems
5
Предохранитель Т 0.8 А (5 × 20)
Уплотнительное кольцо O-ring, 12 × 1,5
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода;
Ацетон ОСЧ
34
36
Замена вакуумного масла
1
Масло
кинематическая вязкость при 20°С сСт,
мм²/с: 250; число нейтрализации (КОН),
%О(м): 0,02; давление пара при 20°С (104) паскаль(Па): 1,3;давление пара при
100°С (10-1), паскаль(Па): 1,3; конечное
максимальное давление (10-1),
6
7
8
(гр.4*г
р.7)
шт
2
2
л
0,2
0,2
кг
0,2
0,2
шт
2
2
л
0,2
0,2
кг
0,2
0,2
шт
2
2
л
0,2
0,2
шт
1
1
л
0,2
0,2
шт
2
2
л 0,2
л 0,5
раб
1
ота
шт 1
раб
ота
5
0,2
0,5
1
1
1
1
шт
5
5
л
л
раб
ота
раб
ота
1
1
1
1
1
1
1
1
л
5
5
53
1
2
3
7
8
(гр.4*г
р.7)
1
1
1
1
1
1
шт
5
5
л
л
раб
ота
1
1
1
1
1
1
шт
2
2
л
0,2
0,2
шт
2
2
л
0,2
0,2
кг
0,2
0,2
кг
0,2
0,2
кг
0,2
0,2
Фильтрующий элемент
шт
1
1
Галогеновая лампа , W=38 Вт
Сильфон
Материал: нержавеющая сталь
Диаметр: 50 мм
Длина: 1000 мм
Уплотнительное кольцо O-ring, 12 × 1,5
шт
1
1
шт
4
4
шт
4
4
шт
1
1
шт
5
5
4
5
6
паскаль(Па): 2,0
Проверка давления сжатого
воздуха
Проверка аварийного
отключения
37
38
39
Проверка на утечку воды
40
Очистка камеры резки
41
Проверка состояния фланцевых
соединений
42
Очистка бесконтактного датчика
загрузки
44
Смазка направляющей оси Х
Установка резки
пластин DAD3350
1
45
Смазка направляющей оси Z
46
Смазка направляющей оси Y
секции сенсоров
48
Замена фильтров устройства
очистки воздухом
Замена галогеновой лампы
49
Замена сильфонов
50
Замена уплотнительных колец
Установка УЗЗамена инструмента сварки
корпусов сварки
выводов
52
Очистка установки
51
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода;
Ацетон ОСЧ
Очистка датчика отключения
режущего диска
43
47
раб
ота
раб
ота
раб
ота
1
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Смазка
Диапазон рабочих температур, ≈ минус
40 ÷ +130 °С
Точка каплепадения, DIN ISO 2176, >220
°С
Рабочая пенетрация при 25 °С, DIN ISO
2137, (ASTM D 217); 0,1мм 265…295
Плотность, DIN 51 757, при 20 °С, г/см3
0,99
Инструмент сварки
p=800 Вт
Салфетка нетканая из микроволокна,
54
1
2
3
4
многоуровневых
корпусов с
системой
Очистка направляющей
контроля
53
проволоки
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Настройка зазора между губками
зажима проволоки
Настройка давления зажима
проволоки
Настройка зазора датчика
касания
54
55
56
57
Настройка нагревателя
58
Замена предохранителей
59
Настройка блока
искрообразователя Uthe
60
Замена инструмента сварки
Очистка направляющей
проволоки
Установка
формирования
62
Замена предохранителей
шариковых
выводов с термо и
ультразвуковой
сварки выводов
Смазка подшипников и
5300В-DA
63
направляющих
Предохранитель 5 А (20 мм)
Предохранитель 3.15 А (20 мм)
61
64
1
Очистка и смазка направляющих
Микроскоп
МИКРО2001-01
65
5
1
Очистка оптики
66
Очистка столика
67
Замена лампы
Проверка работы
пневмоцилиндров
Проходная
камера
69 (комплектация СК- Очистка нагревательной плиты
581)
70
Очистка рабочей камеры
Инструмент сварки
p=800 Вт
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Предохранитель 3.15 А (20 мм)
Смазка
Цвет бежевый
Температурный диапазон: минус 25 ÷
+120 °С
Базовое масло минеральное
Загуститель Li
Плотность при 20°С - 0,90 г/см³
Температура каплепадения ≥ 170 °С
Смазка
Цвет бежевый
Температурный диапазон: минус 25 ÷
+120 °С
Базовое масло минеральное
Загуститель Li
Плотность при 20°С - 0,90 г/см³
Температура каплепадения ≥ 170 °С
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Галогеновая лампа, 24W
68
1
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
6
7
8
(гр.4*г
р.7)
л
0,2
0,2
шт
2
2
л 0,2
раб
1
ота
раб
1
ота
раб
1
ота
раб
1
ота
шт 1
шт 1
раб
1
ота
0,2
1
1
1
1
1
1
1
шт
1
1
шт
2
2
л
шт
0,2
1
0,2
1
кг
0,3
0,3
кг
0,3
0,3
шт
2
2
л
0,2
0,2
шт
2
2
л
0,2
0,2
шт
2
2
л
шт
0,2
1
0,2
1
раб
ота
1
1
шт
2
2
л
шт
0,5
2
0,5
2
55
1
71
72
2
3
Очистка и смазка направляющих
Очистка и смазка шпинделей
лифта
73
Очистка вакуумных держателей
74
Проверка соединений вакуумных
держателей
75
Замена вакуумного фильтра
76
77
Очистка и смазка Zнаправляющей
Очистка и смазка Yнаправляющей
78
Проверка заземления
79
Проверка приводного ремня
80
Проверка подачи сжатого
4
5
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Цвет бежевый
Температурный диапазон: минус 25 ÷
+120 °С
Базовое масло минеральное
Загуститель Li
Плотность при 20°С - 0,90 г/см³
Температура каплепадения ≥ 170 °С
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Цвет бежевый
Температурный диапазон: минус 25 ÷
+120 °С
Базовое масло минеральное
Загуститель Li
Плотность при 20°С - 0,90 г/см³
Температура каплепадения ≥ 170 °С
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Вакуумный фильтр
55x34 мм
Произв: 5 м3/ч
Смазка
Цвет бежевый
Температурный диапазон: минус 25 ÷
+120 °С
Базовое масло минеральное
Загуститель Li
Плотность при 20°С - 0,90 г/см³
Температура каплепадения ≥ 170 °С
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Смазка
Цвет бежевый
Температурный диапазон: минус 25 ÷
+120 °С
Базовое масло минеральное
Загуститель Li
Плотность при 20°С - 0,90 г/см³
Температура каплепадения ≥ 170 °С
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
6
7
8
(гр.4*г
р.7)
л
0,5
0,5
кг
0,3
0,3
шт
2
2
л
0,2
0,2
кг
0,3
0,3
шт
2
2
л
0,2
0,2
шт
2
2
л 0,2
раб
1
ота
0,2
1
шт
1
1
кг
0,3
0,3
шт
2
2
л
0,2
0,2
кг
0,3
0,3
шт
2
2
л 0,2
раб
1
ота
раб
1
ота
раб 1
0,2
1
1
1
56
1
2
3
4
7
8
(гр.4*г
р.7)
шт
1
1
шт
10
10
1
1
1
1
1
1
1
1
Предохранитель 5 А (20 мм)
л
раб
ота
раб
ота
раб
ота
шт
1
1
Галогеновая лампа, 24W
шт
1
1
1
1
1
1
1
1
Предохранитель 5 А (20 мм)
раб
ота
раб
ота
раб
ота
шт
1
1
Предохранитель 3.15 А (20 мм)
шт
1
1
раб
ота
1
1
шт
2
2
5
воздуха
ота
81
Замена уплотнительных колец
Уплотнительное кольцо O-ring, 3,69 ×
1,78
82
Удаление пыли, продуктов
очистки со всех механизмов
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
83
84
85
86
87
Проверка сопротивления
заземления
Установка
Проверка герметичности
отмывки пластин
пневмосистемы
ЭМ-3027
Проверка сопротивления
изоляции
Замена предохранителей
Замена лампы сигнального
фонаря
Комплект
дополнительного
оснащения
89
установки G5
64000 для
90
реализации
микросварки
золотой
проволокой
91
методом шарикклин
88
92
93
94
95
Программнотехнический
96
комплекс
коллективного
97 пользования для
проектирования и
98
испытаний
систем-на99
кристалле и
сенсоров
физических,
100 биологических и
химических
величин
101
102
1
Техобслуживание головки сварки
Направляющая для проволоки –
проверка направляющей трубки
Настройка ножа
Замена предохранителей
Проверка сетевых шнуров и
надёжность их подключения
Очистка наконечников
подпружиненных пробников от
грязи
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Проверка дверных прокладок
Проверка качества запирания
дверей
Проверка электрических
соединений
Проверка электронагревателей
Проверка источника питания
1
Калибровка контроллера
температуры
Чистка внутренней камеры
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Проверка зоны испытаний на
герметичность
Чистка зоны испытаний
103
Чистка уплотнений зоны
испытаний
104
Чистка водяного резервуара
6
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
Салфетка нетканая из микроволокна,
л 0,2
раб
1
ота
раб
1
ота
раб
1
ота
раб
1
ота
раб
1
ота
раб
1
ота
шт
5
л 0,5
раб
1
ота
0,2
1
1
1
1
1
1
5
0,5
1
шт
2
2
л
0,5
0,5
шт
2
2
л
шт
0,2
5
0,2
5
57
1
2
105
106
107
3
Чистка фильтра вентилятора
Чистка системы увлажнения
Замена картриджа
деминерализации
109
Замена галогенной лампы
110
Проверка надежности
заземления
111
Проверка изоляции
Установка
контроля
113
топологии ЭМ6329Р
114
115
116
117
118
119
Проверка надежности
присоединения разъемов,
соединяющих составные части
установки
Проверка надежности
присоединения воздушных и
вакуумных шлангов
Чистка опорной плоскости
держателя МПО и рабочих
поверхностей статорной плиты
Проверка герметичности
пневматической системы
Проверка обнаружительной
способности системы контроля
МПО
Проверка уровня воды в чиллере
шлюза
Проверка уровня воды в чиллере
камеры
Проверка системы охлаждения
стоек A и B
Измерение потока в контуре
чиллера шлюза
Измерение потока в контуре
чиллера камеры
Программноаппаратный
комплекс Vistec
121
для проведения
процессов с
фотошаблонами
размером 7
Замена масла в вакуумном
дюймов
122
насосе шлюза
120
123
Замена масла в вакуумном
насосе камеры
5
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода
Картридж деминерализации
Диаметр отверстия осмосной мембраны
- 0,00001 мкм
Производительность 10,5 л/ч
Макс давление: 10 бар
Нейтрализация: 98%
Галогеновая лампа, 24W
Чистка пластин воздушного
конденсатора
108
112
4
6
7
8
(гр.4*г
р.7)
л
1
1
шт
5
5
л
0,5
0,5
шт
2
2
л
0,5
0,5
шт
5
5
л
0,5
0,5
шт
1
1
шт
1
1
1
1
1
1
раб
ота
1
1
раб
ота
1
1
шт
2
2
раб
ота
раб
ота
1
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Изопропиловый спирт особой чистоты
л 0,5
раб
1
ота
раб
ота
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
л
5
5
л
5
5
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
Вакуумное масло
Средний молекулярный вес: 3300
Кинематическая вязкость, сSt: 276
Индекс вязкости: 113
Точка замерзания, °С: -35
Плотность (20°С), г/см3: 1.90
Поверхностное натяжение: 22
Вакуумное масло
Средний молекулярный вес: 3300
Кинематическая вязкость, сSt: 276
0,5
58
1
2
3
4
5
7
8
(гр.4*г
р.7)
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
4
4
раб
ота
1
1
шт
4
4
раб
ота
1
1
м
10
10
м
10
10
раб
ота
1
1
шт
1
1
шт
5
5
л
шт
2
5
2
5
шт
4
4
6
Индекс вязкости: 113
Точка замерзания, °С: -35
Плотность (20°С), г/см3: 1.90
Поверхностное натяжение: 22
124
125
126
Проверка работы вентиляторов
стоек A и B
Проверка работы вентиляторов
чиллера
Проверка системы хранения
данных
127
Проверка RAID-массива
128
Резервное копирование данных
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
Проекционная колонна:
129
проверка шага луча
130
проверка четкости луча
131
проверка напряжения
132
проверка лазера
133
проверка ИБП
134
проверка индикации
135
замена батарей
136
137
138
139
Климатический
комплекс,
комплектация140
ТАН-4972
Батарея, 12 Ач, 5В
Проверка системы управления
комплексом
Карманный фильтр
Эффективность: 96%
Количество карманов: 8
Размер частиц: 398 мкм
Замена карманных фильтров
второй ступени
Регулировка датчика
температуры в секции первого
воздухоподогрева
Замена уплотнителей на
регулируемой решетке, на
выходе из кондиционера
Замена уплотнителя в ячейках
установки ФВМ
141
Контроль сопротивления
изоляции обмоток
электродвигателя
142
Замена ремней привода
электродвигателя
143
Очистка внутренней полости
вентилятора
144
Замена фильтров ФВМ
Климатический
145
комплекс*
Замена карманных фильтров
первой ступени
1
Уплотнитель
Материал: полиуретан
Цвет: черный
Уплотнитель
Материал: полиуретан
Цвет: черный
Ремень
Профиль: SPC
Размер: 2000 мм
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода
Фильтр, класс фильтрации H13
1
Карманный фильтр
Synthetic-fleece bag filter 4104
Эффективность: 65%
Количество карманов: 10
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
раб
ота
шт
59
1
2
146
147
148
149
3
Замена карманных фильтров
второй ступени
Регулировка датчика
температуры в секции первого
воздухоподогрева
Замена уплотнителей на
регулируемой решетке, на
выходе из кондиционера
Подпитка системы
холодоснабжения
150
Замена уплотнителя в ячейках
установки ФВМ
151
Контроль сопротивления
изоляции обмоток
электродвигателя
152
Замена ремней привода
электродвигателя
153
Очистка внутренней полости
вентилятора
6
7
8
(гр.4*г
р.7)
шт
4
4
раб
ота
1
1
Уплотнитель
Материал: полиуретан
Цвет: черный
м
10
10
Тосол
л
50
50
Уплотнитель
Материал: полиуретан
Цвет: белый
м
10
10
раб
ота
1
1
шт
2
2
шт
5
5
л
5
5
4
5
Размер частиц: 500 мкм
Карманный фильтр
Synthetic-fleece bag filter 4108
Эффективность: 96%
Количество карманов: 8
Размер частиц: 398 мкм
Ремень
Профиль: SPC
Размер: 2000 мм
Салфетка нетканая из микроволокна,
белая 40 х 36 см
Деионизованная вода
* Климатический комплекс используется для создания и поддержания микроклимата в ЦКП МСИ и
ЭКБ (М001018164).
ЗАКАЗЧИК:
ИСПОЛНИТЕЛЬ:
___________________ /____________/
______________________ /_____________/
«____» _______________ 2013г.
«____» _______________ 2013г.
60