Установка лазерной обработки ЭМ

Установка лазерной обработки ЭМ-250А
Установка лазерной обработки ЭМ-250А предназначена для резки по заданному
произвольному контуру пластин алюмооксидной керамики, LTCC, нитрида алюминия,
кремния, арсенида галлия и других материалов, используемых в микроэлектронике,
приборостроении и других областях.
Обработка осуществляется посредством автоматического перемещения линейношаговым приводом пластин в горизонтальной плоскости
по координатам X, Y
относительно лазерного луча. Перемещение объектива лазерной системы по вертикальной
оси (Z) обеспечивает автоматическое поддержание положения фокуса излучения.
Линейно-шаговый привод с обратной связью обеспечивает высокую точность обработки
при скорости линейных перемещений до 400мм/с с неравномерностью скорости не более
5%. Перемещение элементов линейно-шагового привода на воздушной подушке
исключает трение и обеспечивает его долговечность.
В качестве рабочего инструмента в установке используется твердотельный лазер с
диодной накачкой и акустооптической модуляцией добротности, работающий в режиме
ТЕМ00. Среднестатистический ресурс квантрона составляет 10000 ч.
Управление установкой осуществляется при помощи персонального компьютера IBM
PC. Создание рабочей программы производится как с использованием собственного
графического редактора, так и редактора AUTOCAD. Система управления автоматически
производит выбор оптимального алгоритма движения привода и управления
акустооптическим затвором лазера в зависимости от толщины обрабатываемого
материала, формы и размеров контура лазерной обработки.
Изображение обрабатываемого объекта посредством телевизионной системы
выводится на дисплей компьютера. Это позволяет совмещать контур реза с изображением
объекта. Во время лазерной обработки на дисплее компьютера отображаются текущие
режимы и технологическая модель процесса обработки.
Наличие защитных кожухов и блокировок обеспечивают полную защиту
оператора от воздействия отраженного и диффузно-рассеянного лазерного излучения
(1 класс лазерной безопасности).
Технические характеристики:
Показатели лазера
Тип излучения квазинепрерывное Nd:YAG ТЕМ00.
Длина волны
1064нм.
Средняя мощность излучения (5кГц), не менее
7Вт.
Диапазон частоты модуляции
(3–50)кГц.
Показатели системы позиционирования
Поле обработки
Погрешность перемещения Х, У
Разрешающая способность
Скорость перемещений в режиме сквозной резки
Скорость линейных перемещений (скрайбирование)
(150х150)мм
10мкм
2мкм
до 7мм/с
до 400мм/с
*Показатели энергопотребления
Электропитание
230В, 50Гц,
Потребляемая мощность
не более 2кВт
*Массогабаритные характеристики
Габаритные размеры
Масса
не более (2100х900х1300)мм
не более 300кг
Примечание: отмеченные * параметры даны для справок.
Параметры обработки
Время сверления отверстия (толщина пластины 0,25мм, диаметр 150мкм)
(толщина пластины 0,50мм, диаметр 200мкм) 12с;
(толщина пластины 1,00мм, диаметр 400мкм) 35с.
5с;
Требования безопасности
Установка должна соответствовать требованиям безопасности и производственной
санитарии (ГОСТ12.2003-91, ГОСТ12.2.006-97, ГОСТ12.1.-019-79, ГОСТ-24686-81 и
ГОСТ12.1.040-83).
Монтаж, проведение пуско-наладочных работ и приемка Оборудования
1. Условия подготовки работ
1.1. К моменту прибытия персонала Поставщика для выполнения пуско-наладочных
работ Покупатель обязуется:
- установить Оборудование в транспортировочной таре в производственном
помещении, где оно будет эксплуатироваться, выполнить работы по подводке к нему всех
энергетических коммуникаций и подготовить помещение в соответствии с требованиями
ТП;
- предоставить Поставщику расходные материалы, необходимые для расконсервации и
проведения пуско-наладочных работ.
1.2. Покупатель в присутствии Поставщика в производственном помещении, в
котором будет установлено Оборудование, распаковывает Оборудование, осуществляет
осмотр на предмет выявления внешних повреждений. В случае обнаружения повреждений
Оборудования при внешнем осмотре Сторонами составляется Акт.
2 Порядок проведения, сдачи и приемки работ
2.1 Поставщик исполняет обязательства по монтажу, проведению пусконаладочных работ Оборудования.
2.2 Дата начала выполнения работ по монтажу и пуско-наладке оборудования и
обучению технического персонала правилам его эксплуатации и обслуживания
определяется по согласованию с Покупателем, срок выполнения работ – до 10 дней.
2.3 Сдача Оборудования происходит после выполнения монтажных и пусконаладочных работ, проверки функционирования и комплектности. В комплект поставки
оборудования входит следующее:
- установка размерной лазерной обработки ЭМ-250А –1шт.
- комплект ЗИП;
- эксплуатационная документация в составе:
- руководство по эксплуатации;
- комплект схем электрических;
- паспорт;
- диск с программой управления установки.
Для сдачи Оборудования Покупатель предоставляет пластины для лазерной обработки.
2.4. Поставщик выполняет следующие виды работ на Оборудовании в присутствии
Покупателя:
- скрайбирование пластины из алюмооксидной керамики с размером (48х60)мм
толщиной 1мм.
- лазерную обработку тестовой пластины с топологией, согласованной Покупателем и
Поставщиком.
- сверление сквозных отверстий диаметром (100-400)мкм в пластинах из
алюмооксидной керамики толщиной 0.5мм.
2.5. Поставщик проводит обучение специалистов Покупателя в соответствии с п.8.
3. При положительных результатах пробных обработок подписывается
двусторонний технический акт.
Программа обучения специалистов
№п/
п
1
2
3
6
7
8
9
10
11
12
Темы обучения
Общие сведения о лазерной технологии и лазерных установок серии ЭМ-250.
Принцип работы установки размерной лазерной обработки ЭМ-250А. Условия
эксплуатации.
Безопасность работ на лазерных установках. Организация рабочего места.
Мероприятия по ТБ при проведении пуско-наладочных работ и обслуживания.
Состав установки размерной лазерной обработки ЭМ-250А. Функциональное
назначение основных блоков.
Лазер. Назначение, конструкция, функциональные особенности. Режим работы.
Оптическая схема. Типы зеркал, порядок замены. Юстировка, настройка и
измерение параметров. (Практические занятия).
Система оптическая. Состав. Характеристики сменных блоков (телескопы,
силовые объективы, защитные стекла). TV-система наблюдения. Характеристики
и подключение к компьютеру
Система координатная установки размерной лазерной обработки ЭМ-250А.
Стол координатный. Блок управления. Характеристики. Схема подключения.
Станина, рабочая камера, вспомогательные системы. Пневматическая система,
схемы блокировки.
Управление установкой размерной лазерной обработки ЭМ-250А от
компьютера. Состав и требования к компьютеру и контроллеру. Установка ПО.
Рабочие: меню, панели окна. Алгоритмы управления. Методы сохранения и
защиты от сбоев. Восстановление ПО. Практические занятия.
Подготовка управляющих программ в редакторе AUTOCAD, требования и
ограничения, накладываемые на чертежи-задания.
Технологические приемы и особенности работы с различными материалами.
Технологии резки, сверления отверстий, скрайбирования. Основные
технологические особенности режимов. Практические работы.
Требования к внешним коммуникациям и обслуживающему персоналу.
Установку следует эксплуатировать в производственных помещениях с параметрами
микроклимата согласно ГОСТ ИСО 14644- 1-2002:
класс чистоты – класс 7 ИСО;
пределы температуры от +18 до +27°С;
погрешность подде
относительная влажность воздуха в помещении не более 85% при +25 °С.
Наличие агрессивных газов и паров кислот в помещении недопустимо. Установка не
предназначена для эксплуатации во взрывоопасных и пожароопасных зонах по “Правилам
устройств электроустановок” (ПУЭ).
Установка относится к классу лазерных изделий. В ее конструкции используется
лазер IV-го класса (1064 нм) по степени опасности. Установка должна эксплуатироваться
в соответствии с "Санитарными нормами и правилами эксплуатации лазеров".
960
1300
Питание установки должно осуществляться от сети переменного тока напряжением
230В частоты 50 Гц.
Требования к качеству электрической энергии по ГОСТ 13109-97.
Для эксплуатации установки необходимо:
- подать сжатый воздух под давлением (0,5...0,6)МПа 1 класса загрязненности с
температурой, отличающейся от температуры воздуха в помещении не более, чем на 5ºС,
расходом не менее 2м3/ч. Подвод пневмосети должен быть осуществлен трубкой,
оканчивающейся присоединительным штуцером с наружной конической резьбой 1/8" или
3/8";
- подключить к контуру вытяжной вентиляции с производительностью не менее
100м3/ч для удаления из зоны обработки продуктов испарения, возникающих при
лазерной обработке.
Подключение осуществляется гофрированным шлангом с
внутренним диаметром 32мм, наружным – 40мм;
- произвести заправку системы охлаждения лазера дистиллированной водой
ГОСТ 6709-72 (или Deionised water DEI s.n. 80796-91 ELFA, а также другие
аналогичные по свойствам типы);
- подключить к контуру заземления проводом сечением не менее 4,0мм2.
Режим эксплуатации - двухсменный.
Время готовности к работе не менее 5 мин. с момента включения.
Вид обслуживания - периодический.
Обслуживающий персонал:
- наладчик КИП и А 6-го разряда с опытом работы с ПК, подготовки файлов в
графических редакторах (AutoCAD).
- оператор 4-го разряда с опытом работы с ПК и технологическим оборудованием.
Схема размещения установки лазерной обработки ЭМ-250А:
600
2100
заземление
сжатый воздух
Рмин. 0.45Мпа
800
сеть 230В, 50Гц,
длина кабеля 2.5м,
Рмакс. 2кВт
вытяжная вентиляция
заземление
900
600
1200
1350
600