Полный Бюллетень по первому кварталу (скачать)

ИНФОРМАЦИОННЫЙ
БЮЛЛЕТЕНЬ
ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ ПРОГРАММЫ
В ОБЛАСТИ НАНОТЕХНОЛОГИЙ,
РАЗРАБАТЫВАЕМЫЕ И РЕАЛИЗУЕМЫЕ
ПО ЗАКАЗУ
ИНВЕСТИЦИОННЫХ КОМПАНИЙ ГК
«РОСНАНОТЕХ»
МАРТ 2010
СОДЕРЖАНИЕ
1. Общая информация ................................................................................................................5
2. Общие сведения об организациях, реализующих разработку и апробацию
образовательных программ, заказанных ГК «Роснанотех» для подготовки кадров
проектных компаний. .................................................................................................................7
3. Основные характеристики отобранных по конкурсу программ. ................................16
3.1. Программа
профессиональной
переподготовки
кадров,
предложенная
Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
образования «Иркутский государственный технический университет» для
проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в
области промышленного производства поликристаллического кремния для нужд
солнечной энергетики и наноэлектроники. .......................................................................16
Основные характеристики программы.......................................................................................16
Краткое описание содержания программы ................................................................................16
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................17
Управление программой ..............................................................................................................17
Используемое оборудование .......................................................................................................18
3.2. Программа
профессиональной
переподготовки
кадров,
предложенная
Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
образования «Томский государственный университет» (ТГУ) для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвсетиционные проекты в области
многопрофильного производства пористых наноструктурных неметаллических
неорганических покрытий. ..................................................................................................20
Основные характеристики программы.......................................................................................20
Краткое описание содержания программы ................................................................................20
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................21
Управление программой ..............................................................................................................22
Используемое оборудование .......................................................................................................22
3.3. Программа
профессиональной
переподготовки
кадров,
предложенная
Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
образования «Белгородский государственный технологический университет им. В.Г.
Шухова» (БГТУ) для предприятий наноиндустрии Белгородской области,
работающих
в
области
производства
бесцементных
минеральных
наноструктурированных вяжущих негидратационного твердения и композиционных
материалов строительного назначения на их основе ......................................................24
Основные характеристики программы.......................................................................................24
Краткое описание содержания программы ................................................................................25
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................27
Управление программой ..............................................................................................................27
Используемое оборудование .......................................................................................................28
3.4. Программа профессиональной переподготовки кадров и модуль повышения
квалификации, предложенные Государственным образовательным учреждением
высшего профессионального образования «Уральский государственный технический
университет - УПИ имени первого Президента России Б.Н.Ельцина» для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
высокоэффективных катализаторов для нейтрализации газовых выбросов. ..............35
Основные характеристики программы.......................................................................................35
2
Краткое описание содержания программы. ...............................................................................36
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................37
Управление программой ..............................................................................................................38
Используемое оборудование .......................................................................................................38
3.5. Программа повышения квалификации кадров, предложенная Государственным
образовательным учреждением высшего профессионального образования «Пермский
государственный технический университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области производства
гироскопов на волоконных световодах, сохраняющих поляризацию, и создания
информационно-измерительных устройств на основе наноструктурированных
световодов ............................................................................................................................45
Основные характеристики программы.......................................................................................45
Краткое описание содержания программы ................................................................................45
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................46
Управление программой ..............................................................................................................46
Перечень используемого оборудования .....................................................................................47
3.6. Программа профессиональной подготовки кадров (уровень – магистратура),
предложенная Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального образования «Пермский государственный технический
университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для
нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями ..........................................48
Основные характеристики программы.......................................................................................48
Краткое описание содержания программы ................................................................................48
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................49
Управление программой ..............................................................................................................50
Используемое оборудование .......................................................................................................50
3.7. Программа
профессиональной
переподготовки
кадров,
предложенная
Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
образования «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия
имени П.А.Соловьева» (РГАТА имени П.А. Соловьева) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области разработки и
получения наноструктурированных покрытий режущего инструмента и
технологической оснастки для газотурбинной техники. ................................................53
Основные характеристики программы.......................................................................................53
Краткое описание содержания программы ................................................................................53
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................54
Управление программой ..............................................................................................................54
Используемое оборудование .......................................................................................................55
3.8. Программы профессиональной подготовки (уровень – магистратура) и
программы
переподготовки
кадров,
предложенные
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессио-нального
образования
"Московский государственный институт электронной техники (технический
университет)" (МИЭТ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области проектирования и производства УБИС с
топологическими нормами 90 нм. ......................................................................................59
Основные характеристики программы.......................................................................................59
Краткое описание содержания программы ................................................................................59
3
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................61
Управление программой ..............................................................................................................61
Используемое оборудование .......................................................................................................62
3.9. Программа
профессиональной
переподготовки
кадров,
предложенная
Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
образования «Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники» (ТУСУР) для проектных компаний ГК «Роснанотех»,
реализующих
инвестиционные
проекты
в
области
производства
конкурентоспособной
продукции
наноэлектроники
на
основе
наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ диапазона длин волн и
дискретных полупроводниковых приборов. .......................................................................75
Основные характеристики программы.......................................................................................75
Краткое описание содержания программы ................................................................................75
Участие проектной компании в разаработке и реализации программы .................................76
Управление программой ..............................................................................................................76
Используемое оборудование .......................................................................................................76
4
1. Общая информация
В декабре 2009 года и в первом квартале 2010 года было проведено 10 открытых
конкурсов по отбору исполнителей разработки и реализации образовательных программ
для инвестиционных компаний, создаваемых при поддержке Корпорации.
В результате проведенных конкурсов ведущие университеты страны приступили к
разработке 13 образовательных программ для 8 проектных компаний, а также для
комплекса строительных компаний Белгородской области. Общее число образовательных
программ, находящихся на этапе разработки или реализации, достигло 18-ти.
В числе новых программ:
1.
Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным
учреждением высшего
профессионального
образования «Иркутский государственный технический университет» для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
промышленного производства поликристаллического кремния для нужд солнечной
энергетики и наноэлектроники (по заказу ООО «Группа НИТОЛ», ID 854);
2.
Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным
учреждением высшего
профессионального
образования «Томский государственный университет» (ТГУ) для проектных компаний
ГК «Роснанотех», реализующих инвсетиционные проекты в области многопрофильного
производства пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий (по
заказу ООО «Сибспарк», ID 1089).
3.
Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным
учреждением высшего
профессионального
образования «Белгородский государственный технологический университет им. В.Г.
Шухова» (БГТУ) для предприятий наноиндустрии Белгородской области, работающих в
области производства бесцементных минеральных наноструктурированных вяжущих
негидратационного твердения и композиционных материалов строительного назначения
на их основе (по заказу компаний: ООО «Управляющая компания ЖБК-1», ОАО
Стройматериалы», ОАО «Белгородасбестоцемент», ООО «Аэробел», ООО «Первая
Строительная
Компания»,
ООО
«Экостройматериалы»,
ООО
«Яковлевостройдеталь»)
4.
Программа профессиональной переподготовки кадров и модуль повышения
квалификации, предложенные Государственным образовательным учреждением высшего
профессионального образования
«Уральский
государственный
технический
университет - УПИ имени первого Президента России Б.Н.Ельцина» для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
высокоэффективных катализаторов для нейтрализации газовых выбросов (по заказу ОАО
«Уральский электрохимический комбинат» Завод автомобильных катализаторов, г.
Новоуральск, Свердловской области, ID 466).
5
5.
Программа
повышения
квалификации
кадров,
предложенная
Государственным образовательным
учреждением высшего
профессионального
образования «Пермский государственный технический университет» (ПГТУ) для
проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
производства гироскопов на волоконных световодах, сохраняющих поляризацию, и
создания информационно-измерительных устройств на основе наноструктурированных
световодов
(по
заказу
ОАО
«Пермская
научно-производственная
приборостроительная компания» (ОАО ПНППК), ID 1033)
6.
Программа профессиональной подготовки кадров (уровень – магистратура),
предложенная
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального
образования
«Пермский
государственный
технический
университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для
нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями (по заказу ЗАО «Новомет», г.
Пермь, ID 1092).
7.
Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным
учреждением высшего
профессионального
образования «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия
имени П.А.Соловьева» (РГАТА имени П.А. Соловьева) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области разработки и получения
наноструктурированных покрытий режущего инструмента и технологической оснастки
для газотурбинной техники (по заказу ЗАО «Новые инструментальные решения»,
г.Рыбинск, ID 448)
8.
Программы профессиональной подготовки (уровень – магистратура) и
программы переподготовки кадров, предложенные Государственным образовательным
учреждением высшего профессио-нального образования "Московский государственный
институт электронной техники (технический университет)" (МИЭТ) для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
проектирования и производства УБИС с топологическими нормами 90 нм (по заказу ОАО
«НИИМЭ и Микрон» (в составе ОАО «СИТРОНИКС»), ID 775)
9.
Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным
учреждением высшего
профессионального
образования «Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники» (ТУСУР) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области производства конкурентоспособной продукции
наноэлектроники на основе наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ
диапазона длин волн и дискретных полупроводниковых приборов (по заказу ООО
«Субмикроннные технологии», ЗАО «НПФ «Микран», ID 481).
Информация об этих программах представлена в настоящем «Бюллетене»,
имеющем целью проинформировать проектные компании ГК «Роснанотех» об
имеющихся у них возможностях подготовки и переподготовки инженерных кадров.
6
2. Общие сведения об организациях, реализующих разработку и
апробацию образовательных программ, заказанных ГК
«Роснанотех» для подготовки кадров проектных компаний.
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения
высшего профессионального образования
«Иркутский государственный технический
университет» (ГОУ ВПО ИрГТУ)
Организационно-правовая форма
Государственное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
Основной государственный
1023801756120, 06.11.2002
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
Серия А № 282434 от 27 мая 2008 года,
ведения образовательной деятельности с
действительна по 31 августа 2013 года
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о
Серия АА № 001413 от 23 июня 2008 года,
государственной аккредитации с
действительно по 23 июня 2013 года
указанием срока окончания его действия
Адрес местонахождения юридического
Россия, 664074, г. Иркутск, ул. Лермонтова, 83
лица (юридический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
Тел/факс: (3952) 40-50-50, Афанасьев Александр
кода города), адрес электронной почты и
Диомидович, e-mail: aad@istu.edu
Ф.И.О. ответственного сотрудника
7
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения
высшего профессионального образования
«Томский государственный университет» (ТГУ)
Организационно-правовая форма
Государственное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
Основной государственный
№ 1027000853978 от 02.08.2002 г.
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
№ 166460 серия А
ведения образовательной деятельности с
Рег. № 7344 от 10 июля 2006 г.
указанием срока окончания ее действия
Лицензия действительна по 10 октября 2011 г.
Номер и дата выдачи свидетельства о
Рег. № 0257 от 27.07.2006 г.
государственной аккредитации с
Свидетельство действительно по 27 июля 2011 г.
указанием срока окончания его действия
Адрес местонахождения юридического
Российская Федерация, 634050, г. Томск,
лица (юридический адрес)
пр. Ленина, 36
Адрес для почтовых отправлений
Российская Федерация, 634050, г. Томск,
(фактический адрес)
пр. Ленина, 36
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
Демкин Владимир Петрович, проректор по
кода города), адрес электронной почты и
информатизации
Ф.И.О. ответственного сотрудника
т./ф (3822) 529-848, demkin@ido.tsu.ru
svani@ido.tsu.ru
8
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Белгородский государственный
образовательного учреждения
технологический университет им. В.Г. Шухова
(БГТУ)
Организационно-правовая форма
Государственное общеобразовательное
учреждение высшего профессионального
образования
Основной государственный
1023101659481 от 9 июля 2004 года
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
ведения образовательной деятельности с
указанием срока окончания ее действия
№ 9878 от 19 февраля 2008 года.
Лицензия действительна по 19 мая 2013 года
Номер и дата выдачи свидетельства о
№ 1119 от 7 марта 2008 года. Свидетельство
государственной аккредитации с
действительно по 7 марта 2013 года
указанием срока окончания его действия
Адрес местонахождения юридического
Россия, 308012, г. Белгород, ул. Костюкова, 46
лица (юридический адрес)
Адрес для почтовых отправлений
Россия, 308012, г. Белгород, ул. Костюкова, 46
(фактический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
кода города), адрес электронной почты и
Ф.И.О. ответственных сотрудников
Колчева Нина Николаевна, Тел. 8(4722) 54-16-32,
ф. 8(4722) 55-71-39, rect@intbel.ru
Алтынник Наталья Игоревна
Тел. 8(4722) 54-90-41,
факс 8(4722) 30-99-91, s-nsm@intbel.ru,
natalya-altynnik@yandex.ru, a.natalina@mail.ru
9
Наименование
Полное и сокращенное наименование
Заявителя
Сведения
Государственное образовательное учреждение
высшего
«Уральский
профессионального
образования
государственный
технический
университет - УПИ имени первого Президента
России Б.Н.Ельцина» (УГТУ-УПИ)
Организационно-правовая форма
Государственное образовательное учреждение
Заявителя
Основной государственный
ОГРН 1026604939855
регистрационный номер и дата его
Дата присвоения ОГРН 16.07.2008
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
Лицензия серия АА № 000246 рег. № 0244 от
ведения образовательной деятельности с
07.10.2008 сроком действия до 09 июля 2013 года
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о
Свидетельство серия АА № 001835, рег. № 1798, от
государственной аккредитации с
30.03.2009 года сроком действия до 07 марта 2013
указанием срока окончания его действия
года.
Адрес местонахождения юридического
620002, г.Екатеринбург, Мира, 19
лица (юридический адрес)
Кортов Всеволод Семенович,
зав. кафедрой УГТУ-УПИ
Тел: (343)375-44-43, факс (343)375-44-15
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
E-mail: V.Kortov@mail.ustu.ru
кода города), адрес электронной почты и
Пиличев Валерий Валерьевич,
Ф.И.О. ответственных сотрудников
доцент УГТУ-УПИ
Тел (343) 375-48-35, +79122427669
Факс (343) 375-44-15
E-mail: vvp@nauka-ustu.ru
10
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения
высшего
профессионального
образования
государственный
технический
«Пермский
университет», ПГТУ
Организационно-правовая форма
Государственное учреждение
Основной государственный
1025900513924
регистрационный номер и дата его
02. 10. 2002 г.
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
Серия А, №255847, от 16. 04. 2007 г.
ведения образовательной деятельности с
Рег. № 8523
указанием срока окончания ее действия
Действительна по 16. 07. 2012 г.
Номер и дата выдачи свидетельства о
№0613 от 4 мая 2007 г.
государственной аккредитации с
По 4 мая 2012 г.
указанием срока окончания его действия
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
Анатолий
кода города), адрес электронной почты и
проректор, (342) 212 37 40,
Ф.И.О. ответственного сотрудника
tash@pstu.ru
11
Александрович
Ташкинов,
первый
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения
высшего профессионального образования
«Рыбинская государственная авиационная
технологическая академия имени
П.А.Соловьева» (РГАТА имени П.А. Соловьева)
Организационно-правовая форма
Государственное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
Основной государственный
1027601126057
регистрационный номер и дата его
дата 26.09.1994 г.
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
Регистрационный № 1532.
ведения образовательной деятельности с
Дата от 1.06.2009г.
указанием срока окончания ее действия
Свидетельство: серия АА №1532 .
Лицензия действительна
до 1 июня 2014 г.
Номер и дата выдачи свидетельства о
Регистрационный № 1371 от 23.06.2008 г.
государственной аккредитации с
Свидетельство: серия АА № 001404.
указанием срока окончания его действия
Срок действия 01.11.2011.
Адрес местонахождения юридического
152934, Ярославская область, г.Рыбинск,
лица (юридический адрес)
ул.Пушкина, д.53
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
Тел. (4855) 28-04-70, факс (4855) 21-39-64
кода города), адрес электронной почты и
Конт. лицо:
Ф.И.О. сотрудника, уполномоченного
Проректор по НИР, д.т.н., профессор Кожина
Заявителем принимать телефонограммы,
Татьяна Дмитриевна
факсимильные и иные сообщения
тел. (4855) 28-04-78,
факс (4855) 21-39-64,
E-mail: prorectnir@rgata
12
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения
высшего профессио-нального образования
"Московский государственный институт
электронной техники (технический университет)" МИЭТ
Организационно-правовая форма
Государственное учреждение
Основной государственный
№ 1027739615584, 25.11.2002
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
А № 165735 от 10 апреля 2006 г.
ведения образовательной деятельности с
по 10 июля 2011 г.
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о
АА № 000159 от03 июля 2006 г.
государственной аккредитации с
по 03 июля 2011 г.
указанием срока окончания его действия
Адрес местонахождения юридического
124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
лица (юридический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
Гаврилов Сергей Александрович,
кода города), адрес электронной почты и
проректор по научной работе,
Ф.И.О. ответственных сотрудников
тел. 8-499-731-22-79
E-mail: pcfme@miee.ru; lv@miee.ru
Найда Галина Акимовна Тел. 8-499-731-72-19,
8-499-720-85-28
Факс: 8-499-720-85-28,
8-499-710-54-29
E-mail: lv@miee.ru, gan@miee.ru,
13
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения
высшего профессионального образования
«Томский государственный университет систем
управления и радиоэлектроники» (ТУСУР)
Организационно-правовая форма
81 Государственное учреждение
Основной государственный
1027000867068
регистрационный номер и дата его
09 марта 1994 г.
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
Рег. № 10239 от 21 мая 2008 г.
ведения образовательной деятельности с
Лицензия действительна до 31 декабря 2012 г.
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о
Рег. № 1340 от 23 июня 2008 г.
государственной аккредитации с
Свидетельство действительно по 23 июня 2013 г.
указанием срока окончания его действия
Адрес местонахождения юридического
634050, РФ, г. Томск, пр. Ленина, 40, ТУСУР
лица (юридический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
Малютин Николай Дмитриевич, д.т.н., проф.,
кода города), адрес электронной почты и
начальник научного управления, директор НОЦ
Ф.И.О. ответственных сотрудников
«Нанотехнологии».
Тел. (8-382-2) 52-79-42,
e-mail: ndm@main.tusur.ru.
Кобзева Людмила Степановна
Филимонова Марина Александровна
Тел.: (3822) 51-05-30
Факс: (3822) 51-32-62, 52-63-65
E-mail: office@tusur.ru
14
Наименование
Сведения
Полное и сокращенное наименование
Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения
высшего профессионального образования
"Московский государственный институт
электронной техники (технический университет)" МИЭТ
Организационно-правовая форма
Государственное учреждение
Основной государственный
№ 1027739615584, 25.11.2002
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право
А № 165735 от 10 апреля 2006 г.
ведения образовательной деятельности с
по 10 июля 2011 г.
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о
АА № 000159 от03 июля 2006 г.
государственной аккредитации с
по 03 июля 2011 г.
указанием срока окончания его действия
Ответственное лицо, назначенное
Гаврилов Сергей Александрович,
Заявителем для контактов
проректор по научной работе,
тел. 8-499-731-22-79
E-mail: pcfme@miee.ru; lv@miee.ru
Адрес местонахождения юридического
124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
лица (юридический адрес)
Адрес для почтовых отправлений
124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
(фактический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
Тел. 8-499-731-72-19,
кода города), адрес электронной почты и
Ф.И.О. сотрудника, уполномоченного
8-499-720-85-28
Факс: 8-499-720-85-28,
Заявителем принимать телефонограммы,
факсимильные и иные сообщения
8-499-710-54-29
E-mail: lv@miee.ru, gan@miee.ru,
Найда Галина Акимовна
15
3. Основные
программ.
характеристики
отобранных
по
конкурсу
3.1. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального
образования
«Иркутский
государственный
технический университет» для проектных компаний ГК «Роснанотех»,
реализующих инвестиционные проекты в области промышленного
производства поликристаллического кремния для нужд солнечной
энергетики и наноэлектроники.
По заказу: ООО «Группа НИТОЛ», ID 854
Основные характеристики программы
Реализация программы профессиональной переподготовки сотрудников ООО
«Группа НИТОЛ» будет протекать в период с 01.04.2010 до 30.09.2010. Занятия будут
проводиться каждую неделю по вечерам в пятницу и днем в субботу.
Слушателями являются 15 сотрудников ООО «Группа НИТОЛ»: технологи,
начальники смены, начальники лабораторий, начальники участков и цехов, аппаратчики,
начальник отдела проектного менеджмента; возраст сотрудников – от 25 до 36 лет.
Краткое описание содержания программы
Основной целью программы является переподготовка специалистов высшей
квалификации для кадрового обеспечения исследований и разработок в области
промышленного производства поликристаллического кремния для нужд солнечной
энергетики и наноэлектроники.
В реализации программы будут участвовать ведущие преподаватели Иркутского
государственного технического университета, НИТУ «МИСиС» (соисполнитель проекта)
и специалисты-практики из ООО «Группа НИТОЛ».
Программа разработана ИрГТУ и МИСиС для НИТОЛ и включает в себя 2 модуля:
1.
Цикл, формирующий базовые компетенции инженера-разработчика, в
области нанотехнологий в производстве поликристаллического кремния,
способного работать с нанообъектами, состоящий из 4-х курсов по
фундаментальным разделам физики и химии твердого тела и
полупроводников, оптическим явлениям, физическим основам электроники
и фотовольтаики;
2.
Цикл из 7 специальных курсов, предназначенных для формирования
специальных отраслевых компетенций инженера-разработчика в сфере
производства поликристаллического кремния.
16
В базовый цикл входят следующие курсы:
 основы физики и химии твердого тела,
 физические основ электроники и фотовольтаики;
 физико-химия наноструктурированных полупроводниковых материалов;
 нанотехнологии и солнечная энергетика.
Специальные курсы и лабораторные практикумы второго модуля будут охватывать
следующие разделы:
 технологии производства, очистки и легирования поли- и
монокристаллического кремния.
 оборудование и приборы для анализа чистоты и свойств поли- и
монокристаллического кремния;
 химия и технология металлургического кремния;
 способы рафинирования кремния;
 химические технологии материалов и изделий электронной техники,
технологии полупроводников и солнечных элементов;
 основы автоматизации производственных процессов получения
поликристаллического кремния;
 организационные и технико-экономические вопросы производства
поликристаллического кремния.
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы
Сотрудники компании ООО «Группа НИТОЛ» проанализировали предложенный
макет учебного плана образовательной программы, в том числе учебные дисциплины,
объем и вид аудиторных занятий, оценили пригодность каждого модуля для получения
слушателями требуемых для ООО «Группа НИТОЛ» компетенций, предложили поправки
к программе, которые были приняты.
Достигнута договоренность об участии сотрудников ООО «Группа НИТОЛ» в
учебном процессе, а также присутствии представителей работодателя в качестве
наблюдателей при проведении любых форм промежуточной аттестации представителей с
целью подтверждения объективности выставленных оценок и независимой оценки уровня
знаний слушателей. Председателем аттестационной комиссии по защите выпускных
квалификационных работ будет являться представитель ООО «Группа НИТОЛ».
Управление программой
Программой будет руководить Совет, в составе которого:
1. Туляков В.В., директор по управлению персоналом и общественным связям
ООО «Группа НИТОЛ»
2. Петров Г. Н., генеральный директор ООО «Усолье-Сибирский Силикон»
3. Толмачев С.В., начальник отдела проектного менеджмента ЗАО «НПО «СинефИнжиниринг»
4. Афанасьев А.Д., проректор по научной работе ИрГТУ
5. Смирнов В.В., зам. директора по учебной работе Физико-технического
института ИрГТУ
6. Осипов Ю.В., зав.кафедрой ППЭиФПП «НИТУ МИСиС»
17
Используемое оборудование
№
п/п
1
1.
2.
Наименование учебных
аудиторий,
лабораторного и
технологического
оборудования
2
Газовый
хромато-масс
спектрометр
с
автоинжектором
Shimadzu QP2010 Plus (на
балансе ИрГТУ)
ИК-Фурье-спектрометр
Shimadzu IRAffinity-1 (на
балансе ИрГТУ)
3.
УФ-спектрофотометр
Shimadzu UV-3600 (на
балансе ИрГТУ)
4.
Рентгеновский
дифрактометр Shimadzu
XRD-7000 (на балансе
ИрГТУ)
5.
Электронный
просвечивающий
микроскоп LEO900 (на
балансе ИрГТУ)
6.
Сканирующий зондовый
микроскоп Solver 47P (на
балансе ИрГТУ)
7.
Установка водородного
восстановления силанов
(на
балансе
ООО
Описание аудиторного фонда, лабораторного и
технологического оборудования
3
Предазначен
для
проведения
высокочувствительного
количественного и качественного хроматографического и массспектрометрического анализа веществ в газовой фазе. Позволяет
проводить анализ сложных смесей газообразных и легколетучих
органических и неорганических веществ.
ИК-фурье
спектрометр
для
анализа
оптических,
полупроводниковых кристаллов и жидкостей IRAffinity
Предназначен для спектрофотометрии в ИК области спектра с
разрешением 0.5 см-1 в диапазоне 7800-350 см-1. В составе
прибора имеется приставка для изучения адсорбированных
монослоев.
Спектрофотометр
УФ/вид.
и
ближнего
ИК-диапазона
SHIMADZU UV-3600 позволяет измерять спектры поглощения и
дифузного отражения оптических сред в широком диапазоне
длин волн 185-3300 нм: УФ, видимого и ближнего ИКдиапазона. Данная функция обеспечивается тремя детекторами:
фотоумножитель для УФ и видимой области, InGaAs и PbS
детекторы для ближнего ИК-диапазона.
Рентгенофазовый
анализ
широко
используется
для
идентификации веществ и их кристаллической структуры.
Рентгеновский дифрактометр XRD-7000 предназначен для
проведения
качественного,
количественного
и
кристаллографического
анализа
(типы
и
количества
компонентов в исследуемых пробах, типы и константы
кристаллических решеток, степень кристаллизации и др.).
Методы электронной микроскопии являются одними из
наиболее распространенных методов изучения размера частиц,
распределения частиц по размерам и их надмолекулярной
структуры, позволяют исследовать микроструктуру веществ и
определять
пространственные
параметры
микрои
нанообъектов.
Сканирующий зондовый микроскоп предназначен для
комплексных исследований поверхности различных объектов с
нанометровым пространственным разрешением на воздухе с
использованием более 20 СЗМ измерительных методик. Прибор
позволяет осуществлять трёхмерные измерения линейных
размеров элементов структур, микро- и нанорельефа
поверхности конденсированных сред, а также поверхностное
распределение электрического потенциала, напряженности
магнитного поля, проводимости, определения границ раздела
фаз. Кроме того он позволяет осуществлять обработку
поверхности с нанометровым разрешением.
Изучение процессов водородного восстановления силанов будет
производиться на виртуальной модели установки, разработанной
в специализированной программной среде. Виртуальная модель
18
«Группа НИТОЛ»)
8.
9.
10.
11.
12.
13.
14.
15.
позволит
отражать
реальные
процессы
в
реакторе
восстановления, и исследовать влияние температурных,
концентрационных и газодинамических параметров на
эффективность восстановления и выход готового продукта.
Практические занятия будут проводиться на опытнопромышленной установке производства поликремния компании
"Нитол"
Станки
для Будет использоваться оборудование для обработки кремния
пробоподготовки
и установленное на производственных площадях компании
механической обработки "Нитол".
поли- и монокремния (на
балансе ООО «Группа
НИТОЛ»)
ICP-MS спектрометр (на Полностью автоматизированный прибор для элементного и
балансе ИрГТУ)
изотопного анализа "PlasmaQuad PQ2 Turbo Plus" с
возбуждением ионов в индуктивно-связанной плазме.
Спектрофлуориметр
Спектрофлуориметр SHIMADZU RF-5301PC предназначен для
SHIMADZU RF-5301PC измерения спектров флуоресценции оптических сред в
(на балансе ИрГТУ)
диапазоне 220 - 900 нм.
Ионный имплантер (на Импульсный ионный имплантер MEVVA.RU позволяют
балансе ИрГТУ)
создавать композитные слои материалов нанометровой толщины
с заданными параметрами концентрации металлических и
полупроводниковых наночастиц в кристаллических материалах.
Измерительные стенды Стенды для измерения микросопротивлений, измерения
(на балансе ИрГТУ)
гальваномагнитных и оптических свойств полупроводниковых
материалов,
определения
типа
проводимости
монокристаллического кремния.
Рентгеновский
Спектрометр
предназначен
для
работы
в
области
фотоэлектронный
микроэлектроники, химии для микроанализа поверхности
спектрометр
PHI-5500
ESCA фирмы "Perkin
Elmer" (на балансе НИТУ
МИСиС)
Вторичная ионная масс- Метод получения ионов из низколетучих, полярных и
спектрометрия
термически
нестойких соединений.
Одна из
самых
(установка
фирмы чувствительных техник анализа поверхностей.
"Perkin Elmer" PHI-6600
SIMS) (на балансе НИТУ
МИСиС)
Электронный
оже- Исследование элементного состава твердофазных материалов
спектрометр
PHI-680 методом электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) основано на
AUGER
NANOPROBE анализе энергетического распределения Оже-электронов,
фирмы
"Physical эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его
Electronics" (на балансе возбуждении электронным пучком.
НИТУ МИСиС)
19
3.2. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального образования «Томский государственный университет»
(ТГУ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвсетиционные проекты в области многопрофильного производства
пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий.
По заказу: ООО «Сибспарк», ID 1089
Основные характеристики программы
Продолжительность программы – со 2 июля по 15 ноября 2010 года. Формат
обучения: дневная форма с использованием современных дистанционных
образовательных технологий. Режим занятий: 8 часов в день.
Набор слушателей предполагается производить как из числа работников компании
(до 1/3 от общего числа слушателей), так и с рынка (преимущественно из числа молодых
специалистов - выпускников ТГУ) с последующих трудоустройством в компании.
Списочный состав слушателей определится на первом этапе выполнения проекта (мартиюнь 2010 года).
Всего для работы в компании будет подготовлено 15 человек, обладающих
базовыми и специальными компетенциями в области многопрофильного производства
пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий, способных
осуществлять научно-исследовательскую и научно-производственную деятельность, в том
числе с использованием современного аналитического и научно-технологического
оборудования.
Краткое описание содержания программы
В основу программы положены разработки в области создания многопрофильного
производства пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий
ученых Томского государственного университета и ООО «Сибспарк». Программа
направлена на формирование как общепрофессиональных, так и специальных
компетенций в овладении уникальными методами и методиками нанесения
наноразмерных покрытий с заданными свойствами.
Программа ориентирована на специалистов, имеющих образование по
сопутствующим специальностям (специализациям), в данном случае это «химическое
материаловедение», «химия твердого тела», «физическая химия», «аналитическая химия»
и другие.
Обучение будет организовано с использованием автоматизированной системы
дистанционного обучения «Электронный университет», которая позволяет организовать
доступ к информационному и учебно-методическому обеспечению программ,
осуществить опосредованные коммуникации, используя различные информационные
технологии для обеспечения непрерывной интернет-поддержки учебного процесса.
Основу дистанционных занятий по программе составят видеолекции
преподавателей с применением технологий спутникового IP-вещания и формы активной
20
работы со слушателями с помощью видеоконференцсвязи, аудиоконфернцсвязи и chatтехнологии. С помощью видеоконференций будут проводиться лекционные, практические
и семинарские занятия, консультации, будет осуществено руководство выполнением
проектных квалификационных работ слушателей. В процессе обучения будут
использованы новые средства и технологии, связанные с развитием Web 2.0: электронное
портфолио; аудио- и видеоподкаст и другие.
Итоговая аттестация по программе будет осуществлена аттестационной комиссией,
сформированной из числа преподавателей программы и представителя работодателя, в
форме защиты выпускной квалификационной работы.
Образовательная программа разработана специально для ООО «Сибспарк». Она
включает в себя следующие модули:
Модуль 1. «Методы формирования неметаллических наноструктурных покрытий
путем локализации высокоэнергетических потоков на границе раздела фаз». В основе
этого модуля лежит уникальный материал, дающий теоретическое и практическое
введение в новую технологию МДО, объединенный в 3 учебных курса: «Методы
нанесения и удаления вещества с поверхности твердого тела в жидких средах»,
«Электрохимическое
оксидирование
материалов
путем
локализации
высокоэнергетических потоков на границе раздела фаз твердое тело–жидкость», «Методы
и устройства для нанесения наноструктурных покрытий в условиях микроплазменного
разряда».
Модуль 2. «Методы изучения неметаллических наноструктурных и
композиционных материалов», которые являются важным элементом специальных
компетенций, поскольку технология МДО позволяет формировать покрытия как
различного состава (комплекса свойств), так и различного функционального назначения.
Материал модуля 2 организован в 3 курса – «Зондирование фотонами», «Зондирование
электронными пучками», «Зондирование полями».
Модуль 3. «Свойства, применение, испытания и метрология покрытий», в котором
рассматриваются вопросы качества, метрологии, сертификации и введения новой
разработки в реестр продукции. Материал модуля 3 организован в 2 курса – «Свойства и
основные области применения наноматериалов и покрытий» и «Метрологическое
обеспечение контроля качества материалов, процессов и изделий».
Вести программу будут преподаватели и сотрудники Томского государственного
университета, имеющие необходимую квалификацию, в том числе опыт научных
исследований в области пористых наноструктурных неметаллических неорганических
покрытий и межфазных границ, ученые степени (8 кандидатов и 4 докторов наук). В состав
обучающего коллектива входят и непосредственные разработчики технологии МДО и
оборудования (ООО «Сибспарк»).
Поскольку для исследования наноразмерных наноструктурированных пористых
покрытий требуется широкий круг методов и дорогостоящих устройств, дополнительно
будут привлечены специалисты Сибирского федерального университета, а также
специалисты одного из двух центров: из Feng Chia University (Тайвань) или из Израиля
(завод Metal-Tech. Ltd.).
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы
В разработке и реализации программы примут участие высококвалифицированные
специалисты ООО «Сибспарк», где разработаны технологические линии для нанесения
неметаллических неорганических керамических покрытий на поверхности металлов, и
филиала кафедры ТГУ в ОАО «Научно-исследовательский институт полупроводниковых
21
приборов» (НИИПП). Предполагается проведение учебно-производственной практики
слушателей на базе этих компаний с использованием имеющегося там оборудования.
Управление программой
Для управления программой создается Совет программы в составе:
1. Демкин Владимир Петрович, проректор по информатизации ТГУ
2. Ивонин Иван Варфоломеевич, начальник научного управления ТГУ
3. Слижов Юрий Геннадьевич, декан химического факультета
4. Мокроусов Геннадий Михайлович, заведующий кафедрой аналитический
химии ХФ
5. Мамаев Анатолий Иванович, директор ООО «Сибспарк»
6. Мамаева Вера Александровна, ведущий сотрудник ООО «Сибспарк»
7. Можаева Галина Васильевна, директор института дистанционного образования
ТГУ.
Используемое оборудование
№
п/п
1
1.
2.
Наименование учебных
аудиторий, лабораторного и
технологического оборудования
2
Комплекс
технологических,
учебно-лабораторных и учебных
помещений,
соответствующих
действующим
санитарным
нормам. (На балансе ТГУ)
Специализированное
оборудование, позволяющее
формировать пористые
наноструктурные неметаллические
неорганические покрытия путем
локализации
высокоэнергетических потоков в
нано и микроразмерных областях
Описание аудиторного фонда, лабораторного
и технологического оборудования
3
ТГУ располагает широким аудиторным фондом,
включая лекционный и лабораторный.
Базовая кафедра химического факультета, на
которой предполагается проведение основных
лекционных и практических занятий с
обучающимися располагает 9 аудиториями (325,
319, 316, 314, 313, 409, 410, 412, 415) по 55 м2.
Имеется компьютерный класс. В 313 ауд имеется
лабораторное оборудование, на котором
обучающиеся осваивают основные операции
литографии. Кроме того, кафедра использует
технологическую базу на филиале кафедры в
ОАО НИИПП (г. Томск), а также может
использовать технологическую базу ООО
«Сибспарк», располагающуюся в техниковнедренческой зоне Томска.
Оборудование
является
оригинальным,
запатентовано в РФ.
Специализированное экономичное по
использованию электроэнергии оборудование
позволяет путем пропускания импульсов тока
высокой плотности (не менее 120 А) с
изменяемой длительностью в пределах 20 мкс200 мкс и напряжения до 500 В формировать
22
3.
4.
5.
6.
на границе раздела фаз (твердое
тело-жидкость, жидкостьжидкость).
(На балансе ООО «Сибспарк»)
Информационно-измерительный
комплекс для измерения
параметров быстротекущих
процессов при исследовании
электрохимических и
микроплазменных явлений
информационно измерительный
комплекс для определения
параметров быстротекущих
процессов при исследовании
электрохимических и
микроплазменных явлений.
(На балансе ООО «Сибспарк»)
Оборудование для изучения
электрохимических процессов на
межфазной границе твердое теложидкость путем снятия
вольтамперных характеристик и
нанесения покрытий
электрохимическим методом. (На
балансе ТГУ)
Современное оборудование для
проведения исследований и/или
измерений различными
физическими, оптическими,
физико-химическими,
термическими и др. методами.
(На балансе ТГУ)
Телекоммуникационное
оборудование и программное
обеспечение, позволяющее
реализовывать образовательные
программы с применением
дистанционных образовательных
технологий и
видеоконференцсвязи.
(На балансе ТГУ)
наноструктурные неметаллические
неорганические покрытия.
Оборудование
является
оригинальным,
запатентовано в РФ.
Информационно-измерительный
комплекс
предназначен
для
измерения
параметров
быстротекущих процессов при исследовании
электрохимических
и
микроплазменных
явлений; а также для определения параметров
быстротекущих процессов при исследовании
электрохимических и микроплазменных явлений
Потенциостат IPC-Pro-М
Гальваностат IPC-Pro-М
Потенциостат П-5827
Полярограф ПУ-1, согласованный с
компьютером через интерфейсный блок
«ГрафИТ-2» (2 шт).
рН метр лабораторный типа рН-150МИ
Электронная сканирующая и атомно-силовая
микроскопия, рентгеновская дифрактометрия,
рентгенофлуоресцентная, фотолюминесцентная
и
оптическая
спектроскопия,
атомноэмиссионная
спектроскопия,
Фурье
спектрометрия
исследовательского
класса,
электронная и молекулярная спектроскопия,
масс-спектрометрия
с
ионно-плазменным
возбуждением
и
лазерной
абляцией,
дериватография,
измерение
площади
поверхности и пористости, калориметрия и др.
Оборудование
Телепорта
и
центра
информационных
сетей
ТГУ,
включая
телекоммуникационное,
серверное,
компьютерное и презентационное обоудование.
23
3.3. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального
образования
«Белгородский
государственный
технологический университет им. В.Г. Шухова» (БГТУ) для предприятий
наноиндустрии Белгородской области, работающих в области производства
бесцементных
минеральных
наноструктурированных
вяжущих
негидратационного твердения и композиционных материалов строительного
назначения на их основе
По заказу: ООО «Управляющая компания ЖБК-1», ОАО Стройматериалы»,
ОАО «Белгородасбестоцемент», ООО «Аэробел», ООО «Первая Строительная
Компания», ООО «Экостройматериалы», ООО «Яковлевостройдеталь».
Основные характеристики программы
Программа будет реализована во втором полугодии 2010 года. Слушателями
программы профессиональной переподготовки в области производства бесцементных
минеральных наноструктурированных вяжущих негидратационного твердения и
композиционных материалов строительного назначения на их основе станут технические
специалисты предприятий строительной индустрии городов Белгорода, Екатеринбурга,
Челябинска и Улан-Удэ.
Образовательная программа включает очную и дистанционную форму обучения.
Кроме традиционных форм обучения будут применяться активные формы обучения с
элементами дифференцированного (индивидуального) обучения, с учетом специфики
минерально-сырьевой базы регионов, их предприятий стройиндустрии, особенностей
технологических схем производства, квалификации слушателей, опыта практической
работы и т.д. При этом одним из доминирующих факторов индивидуализации учебного
процесса является конкретный вид продукции, производство которого переориентируется
на нанотехнологические приемы и использование наноструктурированных вяжущих.
Для расширения доступности образовательных услуг в рамках образовательного
проекта переподготовки, а также обеспечения контроля работодателей за учебным
процессом и осуществления контрольных функций, предлагается организация системы
информационной поддержки обучаемых с применением дистанционных образовательных
технологий на базе единого научно-образовательного информационного пространства.
Дистанционный образовательный процесс будет включать в себя:
– проведение лекционных курсов преподавателей Факультета наук о материалах
МГУ им. М.В. Ломоносова (ФНМ) с использованием видеоконференцсвязи для
реализации постоянного процесса обучения;
– организацию видеоконференций по ключевым вопросам в области обучения, в
том числе и с привлечением ведущих экспертов РАН и РААСН в области в
необходимых предметных областях;
24
– изучение обучающих материалов, размещенных на информационном портале, с
последующим тестированием в режиме on-line;
– информационную поддержку с использованием возможностей современной
Web-инфраструктуры (видеоконференцсвязь, IP-телефония, e-mail, форум
информационного портала и т.д.).
Кроме этого, для оперативного решения вопросов, связанных с аналитическими
исследованиями наносистем, для обучающихся будет организован удаленный доступ к
инструментально-аналитическим ресурсам ЦКП ФНМ МГУ им. М.В. Ломоносова с
использованием Web-технологий.
Образовательный процесс (лекционные, лабораторные и практические занятия)
будет организован на базе аудиторного, лабораторного и технологического фонда:
1. БГТУ им. В.Г. Шухова:
– Институт строительного материаловедения (ИСМ);
– НИИ Наносистемы в строительном материаловедении (НИИ НСМ);
– Инновационный
опытно-промышленный
центр
композиционных
наноструктурированных материалов (ИОПЦ КНМ).
2. МГУ им. М.В. Ломоносова:
– Факультет наук о материалах;
– Центр коллективного пользования МГУ им. М.В. Ломоносова «Технологии
получения наноструктурированных материалов и их комплексное
исследование»).
Для ознакомления с современной аппаратурой и методами аналитических
исследований наносистем, а также приобретения навыков практической работы и
взаимодействия с обслуживающим аппаратуру инженерно-научным персоналом будет
организован выезд группы обучающихся в ЦКП ФНМ МГУ им. М.В. Ломоносова.
Технологическая практика слушателей будет проводиться на базе инновационного
опытно-промышленного
центра
композиционных
наноструктурированных
композиционных материалов при БГТУ им. В.Г. Шухова, в котором имеется опытнопромышленный цех по производству наноструктурированных вяжущих и материалов на
их основе. Цех оборудован механохимическими реакторами для производства
наноструктурированного вяжущего, смесителями турбулентного типа и другим
технологическим оборудованием.
Краткое описание содержания программы
Разработанный учебный план образовательной программы профессиональной
переподготовки имеет модульную структуру, состоящую из семи, дисциплинарно
взаимосвязанных между собой модулей, из которых:
– 5 модулей включают фундаментальные основы природы наноразмерного
состояния, применительно к наносистемам в строительном материаловедении,
основы химической технологии бесцементных наноструктурированных
вяжущих негидратационного твердения и технологические аспекты
производства материалов на их основе:
o Основы нанотехнологии и применения наносистем.
o Методы синтеза и исследования наносистем и материалов.
o Минерально-сырьевая
база
нанодисперсного
и
наноструктурированного сырья.
25
o Композиционные наноструктурированные вяжущие. Технология
получения, состав и свойства.
o Технология производства материалов и изделий с использованием
нанострук-турированных минеральных вяжущих.
–
2 модуля содержат различные виды практической подготовки,
самостоятельную работу и выполнение выпускной квалификационной работы.
Лабораторные занятия, проводимые на базе головной организации и организациисоисполнителя, будут выполняться с целью инструментального и аналитического
изучения:
– минерального сырья для производства наноструктрированных вяжущих, в
аспекте особенностей его фазово-размерной гетерогенности в зависимости от
геолого-региональной принадлежности;
– дисперсионных и реотехнологических характеристик наноструктурированных
вяжущих;
– структуры, микроморфологии, физико-механических и эксплуатационных
свойств композиционных материалов на их основе в зависимости от вида
наноструктурированного вяжущего и технологии его производства.
Кроме этого, лабораторные занятия будут проводиться с целью освоения
обучающимися
технологических
приемов,
применяемыми
при
получении
наноструктурированных вяжущих веществ:
– методы активации исходных сырьевых материалов (механо-, термо-,
термохимической, механохимической и др.);
– методы направленного механохимического синтеза высококонцентрированных
вяжущих систем негидратационного типа твердения;
– методы комплексной модификации на наноуровне высококонцентрированных
вяжущих систем – получения наноструктурированного вяжущего (НВ);
– методы получения нанодисперсных модификаторов (НДМ) для комплексных
вяжущих.
Учебным планом предусмотрена итоговая квалификационная работа, которая будет
рецензироваться ведущими специалистами предприятий строительного комплекса.
Защита итоговой квалификационной работы будет проходить перед аттестационной
комиссией, в которую будут входить представители координационно-наблюдательного
Совета с участием работодателей, как очной форме, так и с использованием средств
видеоконференцсвязи.
Выпускные и квалификационные работы, после согласования их тематики с
предприятиями-работодателями и с координационно-наблюдательным Советом, будут
направлены
на
изучение
и
разработку
основных
этапов
производства
наноструктурированных композиционных вяжущих и материалов строительного
назначения на их основе:
– минералого-генетический анализ выбора сырьевых компонентов;
– технологические этапы получения наноструктурированных вяжущих (синтез и
стабилизация);
– получение и производство строительных материалов различного назначения на
их основе;
– анализ имеющихся на предприятиях технологических линий и оборудования с
целью перевооружения существующего предприятия или модернизации,
26
подбор оборудования для технологической линии по выпуску заданной
продукции и т.д.
Кроме специалистов головной организации – БГТУ им. В.Г. Шухова, в реализации
образовательного проекта профессиональной переподготовки, для консолидации
кадровых, аналитических и технологических ресурсов, будут принимать участие ученые и
специалисты организации-соисполнителя – МГУ им. М.В. Ломоносова в лице Факультета
наук о материалах и Центра коллективного пользования МГУ им. М.В. Ломоносова
«Технологии получения наноструктурированных материалов и их комплексное
исследование».
Соисполнителями данного образовательного проекта будут проводиться
лекционные занятия по 2-му модулю программы, имеющему фундаментальную
предметную направленность, а также лабораторные занятия по применению современных
аналитических и инструментальных методов исследования сырьевых материалов,
наноструктурированных вяжущих и композитов на их основе.
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы
При разработке содержания учебной программы переподготовки учитывались
потребности предприятий промышленности строительных материалов, выявленные в
результате интервьюирования их представителей:
– модуль
1
программы
скорректирован
с
учетом
необходимости
общетеоретической подготовки по вопросам наноструктурированных вяжущих
различных типов твердения, областей их возможного применения, а также роли
и
путей
использования
различных
наносистем
в
строительном
материаловедении.
– модуль 3 программы скорректирован с учетом различного геологоформационного районирования регионов РФ в аспекте различных источников
минерального сырья для производства наноструктурированных вяжущих.
– модуль 5 сформирован с учетом обеспечения обучающихся специальными
компетенциями в области производства наноструктурированных вяжущих и
материалов на их основе с учетом технологических схем производства
предприятий, представивших заявки на проведение переподготовки своих
специалистов.
Управление программой
Для организации внешней оценки эффективности образовательной программы
будет создан координационно-наблюдательный Совет из числа исполнителей проекта,
представителей работодателей, экспертов ГК "Роснанотех", независимых экспертов от
РААСН и представителей Департамента экономического развития Белгородской области.
От лица работодателей в состав Совета могут войти первые технические специалисты и
(или) заместители директоров по персоналу, предпочтительно, с наличием ученой
степени.
Координационно-наблюдательный Совет определяет кадровые потребности
предприятий до начала реализации образовательного проекта, на начальном этапе
реализации образовательного проекта организует встречу сторон для оперативной
коррекции учебной программы с целью ее эффективной реализации, в соответствии с
требованиями работодателей, определяет периодичность и методы мониторинга учебного
27
процесса, участвует в защите выпускных квалификационных работ и (или) осуществляет
их рецензирование.
В состав координационно-наблюдательного Совета входят:
1. от организации-исполнителя – первый проректор по научной и инновационный
деятельности БГТУ им. В.Г. Шухова – д.т.н., проф., чл.-корр. РААСН Лесовик
В.С.;
2. от организации-соисполнителя – зам. декана ФНМ МГУ им. М.В. Ломоносова
д.х.н., проф., чл.-корр. РАН Гудилин Е.А.
3. от Департамента экономического развития Белгородской области – первый
заместитель начальника Шулешко А. В.;
4. от работодателей – директор ООО «Первая Строительная Компания», к.т.н.
Ряпухин Н.В., заместитель генерального директора по инновационным
технологиям ООО «Управляющая компания ЖБК-1» Урванов А.Б.;
5. от РААСН – проф. кафедры «Строительные материалы и технологии»
Петербургского государственного университета путей сообщения, д.т.н., акад.
РААСН Комохов П.Г.;
6. от ГК «Роснанотех» – руководитель группы по работе с образовательными
учреждениями Департамента образовательных программ Роснано Нисимов С.У.
Используемое оборудование
№
п/п
1
1
Наименование учебных
Описание аудиторного фонда,
аудиторий,
лабораторного и технологического оборудования
лабораторного и
технологического
оборудования
2
3
Учебная лекционно-лабораторная аудитория наноструктурного анализа
с удаленным Web-доступом (число посадочных мест - 40)
Сканирующий зондовый Система сканирования
микроскоп NanoEducator Сканирование образцом
– 6 шт.
Диапазон измерений линейных размеров – в плоскости XY, не
менее 100 мкм
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, не менее 10
мкм
Пошаговое сканирование (Мин. шаг) –
2Å
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений
линейных
размеров в плоскости XY – не более 5%
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений
линейных
размеров по оси Z – не более 5%
Разрешение в плоскости XY – не более 50 нм
Разрешение по оси Z – не более 2 нм
Максимальное число точек сканирования по X и Y 1024х1024
Нелинейность сканирования в плоскости XYне более 30 нм
Неортогональнасть сканера в плоскости XY не более 5°
Неплоскостность сканирования в плоскости XY
не более 500
нм
Дрейф в плоскости XY
не более 5 А/c
Дрейф по оси Z не более 5 А/c
28
2
Интерактивная доска
Hitachi Starboard FX 77Duo
3
Документ-камера
AverVision CP130
4
Проектор
Hitachi CP-A100
5
Система
видеоконференцсвязи
Sony PCS-1P
6
Система интерактивного
опроса
Turning Point 2006
АСМ режим X_Y – 50 нм, вплоть до 10 нм с использованием
острой иглы и виброизоляции Z – 3 нм
Данная интерактивная доска способна одновременно
воспринимать несколько точек касания. Это позволяет управлять
ею с помощью обеих рук (использовать жесты) или работать на
одной доске сразу нескольким пользователям. Помимо
управления и рисования с помощью электронного маркера
Hitachi Starboard FX -77 Duo позволяет делать все то же самое
пальцем или любым другим объектом.
Основные технические характеристики:
размер рабочей поверхности: 158 х 118 см (диагональ 77 ")
технология определения положения маркера: cистема датчиков
инфракрасных лучей
частота выборки: приблиз. 100 точек/сек. (при использовании
USB 1.1 Full)
Позволяет демонстрировать на большом экране любые
трехмерные объекты, бумажные документы. Предусмотрена
возможность 8х увеличения для демонстрации мелких деталей.
Гибкий штатив «гусиная шея» обеспечивает полную свободу в
выборе ракурсов при демонстрации трехмерных объектов.
Основные технические характеристики:
Разрешение XGA (1024x768)
Частота смены кадров 12 кадров/сек
Минимальное расстояние до объекта съемки 2,5 см
Площадь захвата А4 Landscape
Проектор способен создавать изображение размером 152 см (60
дюймов) с расстояния всего 42 см благодаря использованию
системы линз и зеркал. Проектор можно разместить
максимально близко к экрану, поэтому изображению не грозит
затемнение, мешающее просмотру (таким образом, лектор при
работе с доской не заслоняет проецируемое изображение на
экране).
Основные технические характеристики:
Яркость 2500 лм
Контрастность 400:1
Цветопередача16 млн. цветов
Форматы изображения 4:3
Обеспечивает возможность свободного и динамичного обмена
идеями и мнениями между участниками как бы далеко они не
находились друг от друга! Система PCS-1P предоставляет
эффективные возможности для обмена данными, которые дают
дополнительные преимущества по сравнению с обычными
системами аудио и видеоконференцсвязи. Устройство PCS-1P
значительно улучшает процесс коммуникации в дистанционном
образовании.
Основные технические характеристики:
Стандарты H.261, H.263, H.263+, MPEG-4 SP@L3
Разрешение QCIF, CIF
Частота кадров Макс. 30 кадр/с
Режим кадр в кадре Размер вспомогательного экрана: 1/9 (в
одном из четырех углов).
Позволяет быстро провести контроль знаний по определенным
темам. Основная особенность в том, что ПО полностью
интегрировано с программами Microsoft Office, то есть можно
29
7
8
9
10
11
12
13
14
создавать тесты в Word, например, а они будут легко
конвертироваться в программу, а результаты будут сразу
выстраиваться в презентации Power Point.
Основные технические характеристики:
Размеры: 8.5 х 5.3 х 0.8 см
Вес (с батарейками - 2-х круглые литиевые батарейки CR2032
3В): ~ 30 г.
Один ресивер может работать на расстоянии порядка 60 м.
Всегда в спящем режиме - энергия расходуется только при
нажатии кнопок.
Одновременно могут работать до 82 сеансов интерактивного
голосования.
Учебно-исследовательская лаборатория синтеза и исследования наносистем.
ИК-спектроскопия и дисперсионный анализ (число посадочных мест - 20)
Микросайзер
Лазерный анализатор частиц, модель 201С, измеряет весовую
долю частиц размеров, мкм – 0,2 – 600.
ИК-спектрометр
Спектральный диапазон, см-1 – от 370 до 7500
Микроскоп оптический
Петрографический поляризационный микроскоп. Увеличение
ПОЛАМ-Р 312
30-900.
Саксклет
Установка для изучения химического разложения образцов
бетона и пород, а также позволяет воспроизвести в
уменьшенном масштабе климатические циклы процессов
поверхностного выветривания и проследить ряд явлений,
типичных для экзогенных процессов
Аналитические весы АВ- Вспомогательное лабораторное оборудование.
60-01;
весы ВЛТЭ – 500;
рН-метр И-500;
прибор для определения
удельной поверхности Т3.
Учебно-научная лаборатория композиционных материалов
(число посадочных мест - 20)
Дробилка конусная
Наибольший размер исходного объекта, мм – 5, объем чаши, дм3
ВКМД-6
– 3.
ВибромельницаРазмер измельчаемых частиц исходного материала, мм, не более
истиратель
– 3; объем разовой загрузки чаши, см3 – 20…50.
Смеситель для сухих
Вспомогательное лабораторное оборудование.
порошков «Турбула»
лабораторный,
гравитационного типа;
конус балансирный
Васильева КВБ;
приборы Вика ОГЦ-1 – 2
шт.;
воронка ЛОВ для
определения насыпной
плотности;
весы ВЛТЭ-1200;
аквадистиллятор
электрический АДЭ-5;
прибор ПГР для
установления густоты
раствора.
30
15
16
17
18
Весы торсионные ВТ500.
Набор сит
Дефектоскоп УК-14ПМ
Сушильные шкафы – 2
шт.
Лаборатория направленного гидротермального синтеза
Лабораторный стенд для Данная установка позволяет проводить процесс
моделирования процесса гидротермального синтеза в автоматическом режиме по заранее
гидротермального
заданным параметрам.
синтеза силикатных
материалов
Лаборатория механохимического синтеза и современных методов диспергирования
Мельница
шаровая Лабораторное
оборудование
для
механоактивации,
МШП-100
с диспергации и механохимического синтеза с различной
корундовыми мелющими энергонагруженностью
для
получения
телами и футеровкой;
наноструктурированных сырьевых материалов
перемешивающее
Тонкий помол материала до удельной поверхности 5000
устройство ES-8400;
м2/кг.
перемешивающее
Комплект вспомогательного оборудования и приборов.
устройство ES-8300;
планетарная мельница;
шкаф сушильный КВС;
вакуумная
установка
ЭКВ;
весы OHAUS Navigator
Лаборатория высокотемпературного синтеза
Шкаф сушильный КВС;
Лабораторное оборудование для проведение процесса
печь муфельная СНОЛтермической обработки для закрепления и образования
1,6;
наноструктур в строительных композитах
высокотемпературные
электро- и силитовые и
хромитлантановые печи
(Тмакс.от 1000 до 17000 С)
Учебно-исследовательская лаборатория поверхностных явлений
и дисперсных систем (число посадочных мест - 20)
Весы
аналитические, Данное оборудование позволяет измерить степень влияния
ротационный
активированных поверхностей ультрадисперсного сырья на
вискозиметр Реотест-2; физико-механические свойства композиционных материалов
испаритель
полученных на основе бесцементных наноструктурированных
ротационный;
вяжущих негидратационного твердения
пресс для измельчения;
печь муфельная;
центрифуга ЦЛП;
РН-метр 121;
вольтметр цифровой Ф
4214;
РН-метр ЭВ 74;
весы электрические ВЛЭ;
спектрофотометр
(SPECORD) Спекорд 75
IR;
торсионные весы;
Фотометр FLAPHO 40;
31
19
20
21
22
РН-метр OP-213;
жидкостной
хроматограф;
шкаф сушильный;
регулятор температуры;
испаритель вакуумный;
блескомер;
пропарочная камера;
регулятор температуры
Центр Коллективного Пользования Факультета Наук о Материалах МГУ им.
М.В.Ломоносова
Просвечивающий
ускоряющее напряжение 200 кВ
электронный микроскоп
макс. увеличение 800000
JEM-2000FXII (JEOL,
разрешение 0,3 нм
Япония 1988)
Тип катода: LaB6
Сканирующий
Прибор предназначен для проведения исследований во всех
электронный микроскоп
областях материаловедения, в области нано- и биотехнологий.
высокого разрешения
Прибор позволяет работать с образцами большого размера,
Supra 50 VP
кроме того он поддерживает режим работы в условиях
(LEO,Германия, 2003) с
переменного давления для исследования непроводящих образцов
системой микроанализа
без подготовки.
INCA Energy+ Oxford
Параметры:
ускоряющее напряжение 100 В - 30 кВ (катод с полевой
эмиссией)
макс. увеличение до х 900000
сверхвысокое разрешение - до 1 нм (при 20 кВ)
вакуумный режим с переменным давлением от 2 до 133 Па
Ускоряющее напряжение - от 0.1 до 30 кВ
моторизированный столик с пятью степенями свободы
разрешение EDX детектора 129 эВ на линии Ka(Mn), скорость
счета до 100000 имп/с.
Сканирующий зондовый Универсальный СЗМ комплекс, сочетающий в себе возможности
микроскоп
сканирующего туннельного и атомно-силового микроскопа.
NT-MDT NTEGRA Aura
Позволяет
производить
исследования
как
топологии
(NT-MDT, Россия 2005)
поверхности, так и электрофизических свойств наночастиц
Параметры:
Режимы работы: CTM/ АСМ (контактная + полуконтактная +
бесконтактная)
/
Латерально-Силовая
Микроскопия
/
Отображение Фазы / Модуляция Силы / Отображение
адгезионных Сил / МСМ/ ЭСМ/ Сканирующая Емкостная
Микроскопия/ Метод Зонда Кельвина / Отображение
Сопротивления Растекания / Литография: АСМ (Силовая и
Токовая), CTM.
Атмосфера: съемка на воздухе или в вакууме до 10-2 Торр
Температура съемки: от комнатной до 150оС
Максимальное поле сканирования: 110 х 110 мкм
Металлографический
Микроскопия в темном и светлом поле.
микроскоп Eclipse 600pol Коноскопическая и ортоскопическая проекция.
(Nikon)
Изучение анизотропных кристаллов.
Параметры:
Режимы: просвет + отражение.
Типы освещения: диаскопическое, эпископическое
макс. увеличение 1000 крат
разрешение до 0,5 мкм
32
23
Рентгеновский
дифрактометр с
вращающимся анодом
Rigaku D/MAX 2500
(Япония)
24
Анализатор размеров
наночастиц Zetasizer
Nano ZS (Malvern
Instruments, UK)
Лазерный анализатор
частиц FRITCH
Analyzitte 22 (Германия);
25
26
Спектрофотометр
Lambda 35
(Perkin-Elmer, США 2002)
27
ИК-спектрофотометр
Spectrum One
(Perkin-Elmer, США,
2003)
светофильтры
для
коррекции
гаммы
и
яркости,
монохроматизации, независимые поляризаторы
разрешение до 0,5 мкм.
Рентгеновская трубка с вращающимся анодом;
максимальная мощность рентгеновской трубки 18 кВт;
материал анода – медь;
сечение рентгеновского пучка на выходе трубки 5х10мм;
вертикальный гониометр с возможностью Theta, 2Theta,
Theta/2Theta сканирования от 0.7 до 145 grad по 2Theta;
плоский графитовый монохроматор на отраженном пучке;
сцинтилляционный детектор;
автоматический сменщик на 6 образцов с возможностью
вращения по Phi;
высокотемпературная камера для анализа фазового состава
образцов от комнатной температуры до 1350С в атмосферах
различных газов от 10 Па до атмосферного давления.
Диапазон определяемой молекулярной массы от 1x103 до 2x107
Дальтон. Диапазон размеров 0.6 нм – 6.0 мкм. Лазер: 4 мВт, 633
нм, Class 1, в соответствии с EN 60825-1:2001 и CDRH.
Лазерный дифракционный микроанализатор для
автоматического гранулометрического экспресс-анализа
материала в сухом состоянии или в суспензии на основе
дифракции сходящегося лазерного луча. Диапазон размеров
частиц 0,1-1250 мкм. Наиболее компактная версия, полная
автоматизация измерений, возможность комплектации
диспергирующим устройством в жидкостях или сухим
диспергирующим устройством.
Двухлучевой спектрометр с вогнутой голографической
решеткой. Предназначен для проведения различных
аналитических исследований оптических спектров в УФ и
видимой областях, для измерения концентрации различных
веществ в водных растворах, продуктах питания, почвах и т.д.
- Дейтериевая и вольфрамо-галогеновая лампы с
автоматизированным переключением светового пучка.
- Интегрирующая сфера для съемки спектров диффузного
отражения
- Приставка для регулирования угла падения
Параметры:
Спектральная ширина щели: 0.5-4 нм
Диапазон измерения спектральных коэффициентов
направленного пропускания (%Т): 0.0001 - 1000
Погрешность установки длины волны: 0.1 нм
Скорость сканирования: 7.5-2880 нм/мин
Уровень шума, Б (от пика к пику при 0Б, 500 нм): 0.0003
Соотношение Сигнал/Шум: 12500:1
Управление и обработка данных: с ПС под управлением
программы UV WinLab
Спектральный диапазон: 190-1100 нм
Фурье-спектрометр предназначен для регистрации и
исследования оптических спектров в инфракрасной области.
Спектральный диапазон: 350 – 7800 см-1
Разрешение: 4 см-1
Отношение сигнал/шум: 24000:1
33
28
29
30
Абсолютное отклонение линии 100% пропускания: 0.5%
Абсолютная погрешность градуировки волновых чисел: 0.5 см-1
Держатель для твердых проб диаметром 13 мм.
Программное обеспечение Spectrum for Windows.
Люминесцентный
Однолучевой люминесцентный спектрометр, работающий в
спектрометр LS 55
режимах флуоресценции, фосфоресценции, хеми- и
(Perkin-Elmer, США биолюминесценции.
2004)
Источник: ксеноновая лампа, работающая в пульсирующем
режиме с частотой 50-60 Гц.
Монохроматоры: типа Монка-Джиллисона
Область длин волн: возбуждение 200-800 нм, эмиссия 200-900
нм
Спектральная ширина щели: возбуждение 2.5-15 нм, эмиссия
2.5-20 нм, инкремент 0.1 нм
Точность установки длины волны: 1 нм
Отношение сигнал/шум: 2000:1 (RMS) при измерении базовой
линии, не хуже 500:1 для полосы комбинационного рассеяния
воды при длине волны возбуждающего излучения 350 нм.
Скорость сканирования: 10-1500 нм/мин
Термоанализатор Perkin
Диапазон температур - от комнатной до 1300°C
Elmer Pyris Diamond
Скорость нагрева - от 0.01 до 100 °C/мин
Масса навески - до 200 мг
Материал тиглей - Pt
Чувствительность весов - 0.2 мкг
Атмосфера: воздух, инертный газ или вакуум (до 2 Торр)
Скорость потока газа - до 1000 мл/мин
Формат вывода: Excel файл
Анализатор
сорбции Параметры:
газов Nova 4200e
Измеряемая площадь поверхности (m2/g):
(Quantachrome, США,
минимальная:
0.01
2005)
максимальная: >2,000
Диаметр пор: 3.5 - 2,000Å
Количество станций дегазации (до 450 ºС): 4
Количество станций измерений: 4
Изотермы адсорбции-десорбции
Одноточечный метод BET
Многоточечный метод BET
Площадь микропор
Объем микропор
Распределение пор по размерам
Фрактальная размерность
34
3.4. Программа профессиональной переподготовки кадров и модуль
повышения
квалификации,
предложенные
Государственным
образовательным учреждением высшего профессионального образования
«Уральский государственный технический университет - УПИ имени
первого Президента России Б.Н.Ельцина» для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
высокоэффективных катализаторов для нейтрализации газовых выбросов.
По заказу: ОАО «Уральский электрохимический комбинат» Завод
автомобильных катализаторов, г. Новоуральск, Свердловской области, ID 466
Основные характеристики программы
Образовательная программа разрабатывается для проектной компании ГК
«Роснанотех» - Уральского завода автомобильных катализаторов Новоуральского
электрохимического комбината (г.Новоуральск, Свердловской области) в соответствии с
заказом, сформированным по итогам выявления кадровых потребностей проектной
компании.
Продолжительность программы обучения - 10 месяцев, ее реализация начинается
1 июня 2010 г. и завершается 31 марта 2011 г. Слушатели, успешно освоившие программу,
получают диплом государственного образца о профессиональной переподготовке.
Формат обучения: 4 интенсивных учебных сессии продолжительностью одна
неделя каждая (40 часов) с интервалами между сессиями по 1,5 месяца; остальные
занятия проводятся дистанционно.
Слушателями программы являются работники Уральского завода автомобильных
катализаторов. В период и после завершения обучения слушатели трудоустроены на
заводе, имеют хорошие перспективы профессиональной карьеры. Группа обучающихся
будет состоять из 15 человек, среди них основная часть - это инженерно-технический
персонал, включая инженеров-конструкторов и инженеров-технологов. Примерно 20%
слушателей программы – руководители производственных и управленческих
подразделений завода. В настоящее время формируется списочный состав слушателей
программы с активным участием руководства проектной компании.
Слушатели программы получат
новые знания в сфере разработки
нанокатализаторов, овладеют навыками работы на современном нанодиагностическом и
нанотехнологическом оборудовании, ознакомятся с передовыми методами организации и
управления высокотехнологическим производством. Новые профессиональные
компетенции, полученные слушателями программы, будут способствовать повышению их
квалификации, производительности труда, освоению новых инновационных технологий,
что обеспечит успешное развитие проектных компаний ГК «Роснанотех» и внесет вклад в
формирование наноиндустрии как эффективного сектора экономики уральского региона.
Программа имеет хорошие перспективы для своего
развития. По
предварительным оценкам общая потребность в профессиональной переподготовке
работников проектных компаний, занимающихся производством и использованием
нанокатализаторов, составляет 170 человек, что значительно превышает численность
пилотной группы. В этой связи разработанная программа в полном объеме будет
35
использована для профессиональной переподготовки последующих 7-8 групп слушателей
в течение 2011-2012 гг.
Модули программы представляют самостоятельный интерес для осуществления
на их основе повышения квалификации (100-150 часов) специалистов проектных
компаний и других предприятий химической промышленности. Предполагается
разработать модуль «Технико-экономические основы организации и управления
высокотехнологичным производством» для его использования на любых предриятиях
наноиндустрии.
Краткое описание содержания программы.
Базовым принципом, положенным в основу образовательной программы
профессиональной переподготовки, является реализация компетентностного подхода,
который обеспечит формирование способности специалиста самостоятельно применять
полученные в процессе обучения знания, умения и навыки.
Программа разрабатывается в соответствии с заказом, сформированным по итогам
выявления кадровых потребностей ОАО «Уральский электрохимический комбинат»,
предусматривающих формирование требуемых практических знаний, навыков и умений,
достаточных для их эффективного применения на предприятиях.
Основными составляющими образовательной программы являются учебные
модули, обеспечивающие формирование базовых и специальных компетенций
профессиональной направленности и включающие лекционные курсы, практические
занятия на лабораторном и технологическом оборудовании, а также самостоятельную
работу слушателей.
Образовательная программа состоит из 3-х модулей:
Модуль 1 – Физико-химические основы получения и
наноструктурных материалов и высокоэффективных катализаторов.
исследования
Основные разделы программы модуля:
1. Гетерогенные каталитические процессы и дефектная структура твердофазных
катализаторов.
2. Методы получения и исследования свойств наноразмерных материалов.
3. Каталитические свойства наноструктурированных сложнооксидных
материалов.
4. Промышленные катализаторы для нейтрализации газовых выбросов
предприятий и транспорта.
Модуль 2 Технологические
высокоэффективных катализаторов.
основы
получения
и
использования
Основные разделы программы модуля:
1. Научные основы производства катализаторов
2. Получение и изучение свойств сорбентов
3. Получение и свойства наноструктурированных сложнооксидных катализаторов
4. Получение и свойства носителей катализаторов на основе высокопористых
ячеистых материалов (ВПЯМ)
5. Термокаталитические нейтрализаторы выбросов промышленных предприятий и
автотранспорта
6. Экологические аспекты производства катализаторов и охрана труда персонала.
36
Модуль 3 – Технико-экономические основы организации и управления
высокотехнологичным производством
Основные разделы программы модуля:
1. Основы
экономики
технологических
процессов
производства
инновационной продукции
2. Планирование и прогнозирование экономических результатов научнотехнологических процессов
3. Управление нанотехнологическими проектами
4. Исследование рынка (маркетинг) инновационных продуктов
5. Защита интеллектуальной собственности и управление нематериальными
активами предприятий
В реализацию программы планируется
вовлечь представителей различных
областей знаний и профессиональных сообществ и тем самым обеспечить экспертное
взаимодействие научной, образовательной и бизнес - среды при формировании
программы и оценке ее результатов. Данный проект предполагает разработку
межвузовской образовательной программы профессиональной переподготовки,
консолидирующей материальные и кадровые ресурсы не только различных факультетов
вуза-исполнителя, но и других образовательных учреждений, что позволит
оптимизировать затраты на использование уникального дорогостоящего оборудования,
повысить качество обучения.
К обучению слушателей программы привлечен высококвалифицированный штат
преподавателей и специалистов в составе 16 чел. Среди них – 2 члена-корреспондента
РАН, 9 докторов наук, 5 кандидатов наук. В реализации программы помимо УГТУ-УПИ
будут участвовать преподаватели и научные работники соисполнителей – ГОУ ВПО
«Уральский государственный университет имени А.М.Горького»
и Учреждение
Российской академии наук, «Институт катализа им. Г.К.Борескова» Сибирского отделения
РАН. У соисполнителей так же, как и в УГТУ-УПИ, созданы и успешно развиваются
научные школы в области каталитических систем и наноматериалов. Большинство из
привлекаемых преподавателей имеют опыт обучения слушателей при профессиональной
переподготовке и повышении квалификации работников промышленных предприятий.
Дистанционное обучение будет реализовано с участием коллектива факультета
повышения квалификации, имеющего большой опыт проведения лекций в оn-line режиме,
записи лекций на диски, организации обучения и контроля знаний слушателей через
специальный портал Интернет-сайта УГТУ-УПИ. Планируются также лекции на
предприятиях. Повышению качества обучения будут способствовать стажировки
преподавателей в МГУ им. М.В.Ломоносова, в Институт катализа им. Г.К.Борескова СО
РАН (г.Новосибирск), а также в зарубежные университеты (Германия, Израиль).
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы
Предусмотрено и уже реализуется активное участие проектной компании в
подготовке программы и организации обучения работников. Руководство завода
автомобильных катализаторов дало согласие на использование в учебном процессе
действующего технологического оборудования, применяемого в производстве
нанокатализаторов.
37
Предусмотрена вариация образовательных траекторий сотрудников завода с
учетом рекомендаций работодателя, исходя из специфики их производственной
деятельности слушателей.
Руководство завода принимает участие в работе Координационного совета
программы, в контроле текущей успеваемости слушателей, в формулировке технического
задания на выполнение выпускной квалификационной работы для каждого слушателя,
дает оценку итогов обучения.
Управление программой
Для организации работы над проектом создается Координационный совет
программы. Координационный совет возглавляется ее руководителем, включает в своем
составе представителей Заявителя, организаций-соисполнителей, проектных компаний ГК
«Роснанотех» и партнеров проекта. Основная функция совета – координация действий
всех участников проекта по выполнению мероприятий календарного плана и контроль
целевых показателей реализации программы обучения.
Программу
возглавляет
Руководитель,
который
несет
персональную
ответственность за ее выполнение, конечные результаты, целевое и эффективное
использование выделяемых финансовых средств, а также определяет формы и методы
управления ее реализацией. Для оперативного управления программой Руководитель
назначает ответственного исполнителя программы.
Представитель проектной компании ГК «Роснанотех» обеспечивает согласование
структуры и содержания образовательных модулей, контроль достижения целей
программы и контроль над проведением учебного процесса.
Персональный состав Координационного совета в настоящее время уточняется.
Используемое оборудование
№
п/п
Наименование учебных
аудиторий,
лабораторного и
технологического
оборудования
Описание аудиторного фонда,
лабораторного и технологического
оборудования
1
1.
2
3 учебных аудитории
факультета
переподготовки кадров
общей площадью 128
кв.м.: Т-812, Т-808, Т-806
для
проведения
лекционных занятий со
слушателями программы
3
В аудитории №1 (Т-812) размещен
компьютерный класс на 11 учебных
рабочих мест. Все компьютеры имеют
выход
в
Интернет,
оснащены
средствами для создания электронных
мультимедийных учебных пособий.
Аудитория
№2
(Т-808)
используется как мультимедийная
лекционная (на 30-36 слушателей) и
как компьютерный класс на 18
рабочих
мест.
Компьютеры
объединены в локальную сеть, имеют
38
Сведения,
подтверждающие
наличие у Заявителя
права владения,
распоряжения,
пользования
указанным
аудиторным фондом,
лабораторным и
технологическим
оборудованием
4
Находятся на балансе
УГТУ-УПИ
2
Учебный класс
сканирующей зондовой
микроскопии
Nanoeducator-10, НТМДТ
3
Учебный класс
«Зондовая
нанолаборатория» на
базе приборов серии
NTEGRA, НТ- МДТ
4
5
6
7
доступ к сетевым ресурсам УГТУУПИ и выход в Интернет.
Аудитория
№3
(Т-806)
используется как мультимедийная
лекционная на 20 слушателей. Для
демонстраций
используется
мобильный
презентационный
комплект.
Указанная
аудитория
оборудована средствами защиты от
утечки информации по техническим
каналам и аттестована для проведения
закрытых семинаров.
Аудитория №4 (Т-305)
Образовательный комплекс в составе
10 приборов NANOEDUCATOR-10,
предназначенный для освоения основ
работы в режиме сканирующей
зондовой микроскопии, приобретения
навыков исследования нанообъектов
и
наноструктур,
включая
нанокатализаторы.
Научно-образовательный комплекс из
5-ти приборов на базе зондовой
лаборатории
NTEGRA
сочетает
возможности сканирующей зондовой
микроскопии, сканирующей лазерной
конфокальной
микроскопии
и
спектроскопии
комбинационного
рассеяния. Позволяет производить
широкий
круг
исследований
оксидных
нанокатализаторов
с
разрешением до 50 нм.
Технологическое
Промышленная линия катализаторов
оборудование
для водородного
электрода,
производства
промышленная линия производства
нанесенных
кислородного электрода
наноструктурированных
катализаторов
Технологическое
Прокатные станы, печи спекания,
оборудование
для прессы. Методики технологического
производства
контроля
наноразмерных
электродных подложек и
электродов
Технологическое
Участок
производства
оборудование
для электролитоносителей:
смесители,
изготовления
магнитные сепараторы, автоклавы,
электролитоносителей
прессы.
Технологическое
Электролизные ванны, механические
оборудование
для сита, мельницы, печи восстановления.
производства
электролитических
39
Оборудование
и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование
и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Находится на балансе
Уральского
электрохимического
комбината
Находится на балансе
Уральского
электрохимического
комбината
Находится на балансе
Уральского
электрохимического
комбината
Находится на балансе
Уральского
электрохимического
комбината
8
9
10
11
12
нанопорошков никеля и
кобальта
Лабораторное
оборудование для
диагностики и
аттестации
катализаторов,
электродов и
электролитоносителей.
Стенды для тестовых
испытаний и
диагностики
порошковых и
нанесенных
катализаторов, имитации
процессов
искусственного
«старения»
катализаторов.
Просвечивающий
сканирующий
электронный микроскоп
JEM 2100 (LaB6)
с системой
энергодисперсионного
микроанализа Oxford
Inca EnergyTEM 250 и
цифровой камерой
Olympus Cantega G2
Растровый электронный
микроскоп JSM 6490 LV
с системой
комбинированного
энергодисперсионного и
волнового микроанализа
Oxford Inca Energy 350 и
дифракции обратно
рассеянных электронов
(EBSD) Nordlys HKL
ИК-Фурье спектрометр
Nicolet 380
Оборудование для получения
опытных образцов катализаторов,
электродов и электролитоносителей,
определения их свойств: удельная
поверхность, удельная
электропроводность, насыпная
плотность, распределение частиц по
размерам, ртутная порометрия,
каталитическая активность, запорные
свойства, щелечепроницаемость.
Стенды испытаний опытных образцов
разрабатываемых наноматериалов в
натурных условиях в составе макетов
батарей топливных элементов,
сотовых и ячеистых катализаторов.
Предназначен
для
проведения
научных исследований
тонкой
структуры
материалов,
включая
катализаторы
в
наноразмерном
диапазоне:
фазового
состава,
химического состава отдельных фаз и
их кристаллографической ориентации
друг относительно друга; изучения
морфологических особенностей и
химического
состава
выделений
вторых фаз наноразмерного уровня в
оксидных катализаторах.
Предназначен
для
проведения
научных исследований
изломов,
реплик, полированных и травленых
поверхностей
наноматериалов
различного состава и назначения, в
том
числе
оксидных
нанокатализаторов.
Предназначен
для
научных
исследований молекулярных спектров
с
размерами
молекул
до
наноразмерного уровня органических
и
неорганических
соединений,
использующихся
для
получения
сложнооксидных катализаторов.
ИК-КР
спектрометр Предназначен
для
научных
Vertex-70 фирмы Bruker, исследований
колебательных
Германия
спектров
(инфракрасных
и
комбинационного
рассеяния)
различных типов наноструктурных
материалов в широком диапазоне
40
Находится на балансе
Уральского
электрохимического
комбината
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
13
14
15
16
17
18
Анализатор фрагментов
микро и наноструктуры
твердых
тел
с
комплектом
оборудования
для
пробоподготовки.
Люминесцентный
спектрометр LS-55 Perkin
Elmer
Многоцелевой
порошковый
рентгеновский
дифрактометр Bruker D8
Advance с температурной
камерой AntonPaar
HTK1200N
Вакуумная
высокотемпературная
печь ИИВП-0,02
температур (от -195 до +700 оС)
Предназначен
для
проведения
автоматизированной
подготовки
образцов
конструкционных
и
функциональных
материалов,
включая
материалы
матриц
катализаторов с автоматизированным
анализом
размеров
различных
элементов микро- и наноструктуры.
Предназначен
для
научных
исследований
спектров
фосфоресценции
микро
и
наноструктурных
объектов.
Спектральный диапазон (210-900) нм;
разрешение 0,1 нм; температурный
диапазон (77-700К); используется при
диагностике нанокатализаторов.
Предназначен
для
научных
исследований
методом
рентгеноструктурного качественного
и количественного анализа микро- и
наноструктурированных материалов в
широком диапазоне углов отражения.
Позволяет изучать технологические
процессы
получения
наномодификаций
различных
материалов,
в
том
числе
с
проведением
пирохимических
процессов
по
получению
нанопорошков.
Оптический микроскоп Позволяет визуализировать структуру
Olympus
BX-51
с различных материалов., в том числе
цифровой видеокамерой матриц оксидных катализаторов.
GlobalMicro-i1300,
Обеспечивает проведение
системой
высокоскоростной видеосъемки
высокоскоростной
исследуемых объектов.
видеосъемки
FastCamera13,
термокриокамерой
Linkam THMSE 600,
Linkam и программноаппаратным комплексом
для
регистрации
и
обработки изображений
Оптический
Визуализация поверхности
профилометр Wyko NT
нанесенных катализаторов, измерение
1100, Veeco Instr Inc
трехмерного рельефа, толщины
покрытий и шероховатости
поверхностей. Предельное
увеличение: 100х, вертикальное
разрешение: до 1 Å, пределы
вертикальных измерений: 1 нм – 1 мм,
пределы горизонтальных измерений:
41
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
Находится на балансе
УГТУ-УПИ
Оборудование
и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование
и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
19
Вакуумная установка для
электронно-лучевого
испарения и
магнетронного
напыления
Auto 500 Edwards, BOC
Edwards
20
Универсальный
анализатор суспензий
Brookhaven ZetaPlus/BI
90.
Лазерный анализатор
распределения частиц по
радиусам SALD-7101
(Shimadzu).
21
Измеритель удельной
поверхности Сорби-4
(ЗАО «МЕТА»).
Измеритель удельной
поверхности TriStar II
3020
(низкотемпературная
сорбция азота с тепловой
десорбцией)
22
Исследовательский
комплекс: синхронный
термоанализатор STA
409 PC (Netzsch),
газовый хроматографквадрупольный массспектрометр Perkin Elmer
GS/MS 600D.
23
Электронный
газоанализатор Testo-350
XL .
50 нм – 8 мм
Предназначена для напыления тонких
пленок металлов, полупроводников и
диэлектриков электронно-лучевым
испарением и магнетронным
распылением на кристаллические и
керамические подложки диаметром
до 100 мм; используется для
изготовления образцов с нанесенными
катализаторами.
Научные приборы, предназначеные
для измерения размеров частиц от 3
нанометров
до
6
микрон,
диспергированных или растворенных
в
жидкой
среде.
Измеряемой
величиной
в
методе
является
автокорреляционная
функция
рассеяния
света,
позволяющая
регистрировать смещения частиц в
микросекундном
интервале,
что
позволяет рассчитывать коэффициент
диффузии частиц, дзета-потенциал,
средний размер частиц, а также их
распределение по размерам.
Комплекс
приборов,
предназначенный
для
точного
определения удельной поверхности,
пористости образцов, распределения
пор по размерам. Используется при
разработке и исследовании свойств
нанокаталитических систем.
29.12.2007)
Оборудование
и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Предназначен
для
проведения
комплексного термического анализа
различных
материалов,
включая
прекурсоры
для
синтеза
сложнооксидных
катализаторов,
собственно
каталитические
материалы.,
гетерогенные
реакционные
среды.
Позволяет
получить в различных газовых средах
термогравиметрические
кривые,
кривые
дифференциального
термического анализа, одновременно
анализировать состав продуктов,
выделяющихся в газовую среду, в
частности, определять кислородную
нестехиометрию.
Используется
в
научных Оборудование и
исследованиях
при
измерениях площади принадлежат
концентрации
компонентов
в Уральскому
42
24
25
различных газовых средах (СО, NO,
NO2, SO2, O2 и пр.), позволяет
определять скорость газового потока,
влажность среды, избыток воздуха
при сжигании топлива, удельные
выбросы. Применяется при оценке
эффективности
каталитических
систем для нейтрализации газовых
выбросов.
Комплекс универсальных приборов,
предназначенный для проведения
химического анализа проб. Обладает
высокой
чувствительностью
к
определяемым элементам, позволяет
измерять содержание компонентов с
высокой точностью. Используется
при разработке сложнооксидных
катализаторов.
Атомно-эмиссионный
спектрометр
с
индуктивно-связанной
плазмой iCAP 6500 DUO
– Thermo Scientific.
Атомно-абсорбционный
спектрометр
SOLAAR
M6 Thermo Scientific (26
ламп для определения 38
элементов).
Дилатометр DIL 402C
Используется
в
научных
(Netzsch).
исследованиях для прецизионного
измерения размеров образцов, в том
числе твердофазных катализаторов в
ходе изучения процессов спекания,
фазовых
переходов,
измерения
коэффициентов
термического
расширения матриц катализаторов.
26
ЭПР спектрометр EMX
Plus фирмы Bruker с
возможностью
измерения спектров
двойного электронноядерного резонанса
Спектрометр
для
научных
исследований высокого разрешения и
чувствительности.
Позволяет
диагностировать валентное состояние
элементов
в
сложнооксидных
системах (катализаторах) и других
материалах.
27
Рентгеновский
анализатор элементного
состава СПАРК-1-2М.
Позволяет
проводить
надежный
экспресс-анализ элементного состава
различных
образцов,
включая
оксидные нанокатализаторы.
28
Планетарная мельница
Pulverizette 7 (Fritch).
Предназначена
для
получения
ультрадисперсных
порошков,
использующихся
для
создания
каталитических материалов.
43
государственному
университету.
Оборудование и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
Оборудование и
площади принадлежат
Уральскому
государственному
университету
Оборудование и
площади принадлежат
УрГУ. Оборудование
входит в состав центра
коллективного
пользования
«Современные
нанотехнологии»
(Приказ № 554 д/у от
29.12.2007)
29
30
Масс-спектрометр
фирмы
"Varian",
гибридный
квадрупольновремяпролетный
хромато-массспектрометр
с
ионизацией
электроспреем (ESI-QTOF),
изготовитель
“Bruker”
Хроматографическое
оборудование:
жидкостной хроматограф
фирмы
"Мерк",
газожидкостный
хроматограф
"Цвет",
жидкостной хроматограф
«Agilent 1200 Series»,
изготовитель
“Agilent
Technologies Inc”, США
Предназначен для анализа газового Находится на балансе
состава
различных
соединений, УГТУ-УПИ
включая порошки и пленочные
катализаторы.
Комплекс
высокочувствительных Находится на балансе
приборов,
предназначенный
для УГТУ-УПИ
анализа молекулярного и элементного
состава
материалов
различного
назначения,
включая
сложнооксидные катализаторы.
44
3.5. Программа повышения квалификации кадров, предложенная
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального
образования
«Пермский
государственный
технический университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
производства гироскопов на волоконных световодах, сохраняющих
поляризацию, и создания информационно-измерительных устройств на
основе наноструктурированных световодов
По заказу: ОАО «Пермская научно-производственная приборостроительная
компания» (ОАО ПНППК), ID 1033
Основные характеристики программы
Реализация программы начнется весной 2010 года и завершится осенью.
Планируемое количество слушателей (и выпускников) – 25 человек. В состав
группы, составленной из сотрудников ОАО ПНППК входят инженеры-исследователи,
инженеры-технологи, инженеры-конструкторы и инженеры-операторы, поэтому
программа предусматривает обучение по четырем образовательным траекториям. Каждый
сотрудник компании, следуя разработанной для него образовательной программе, должен
будет пройти переподготовку, освоив курс обучения объемом 160 аудиторных часов, где
110 часов составляет общий для всех базовый блок, и 50 часов – модуль специализации.
Предусматриватеся очная форма обучения с частичным отрывом от производства,
срок реализации программы – 4 месяца, режим занятий: 4 часа 3 раза в неделю.
Краткое описание содержания программы
Основная идея разрабатываемой программы состоит в компетентностном подходе
при реализации индивидуальных образовательных траекторий обучения слушателей.
Учебный план включает в себя два модуля: базовый (общий) и 4 специальных (таблицы 1
и 2).
Таблица 1. Базовые и специальные дисциплины
Б1
Б2
Б3
НАИМЕНОВАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ
БАЗОВЫй
модуль
№
Теоретические основы волоконной и
интегральной оптики
Конструкции и технологии волоконнооптических элементов и систем
Волоконно-оптические гироскопы
45
КОЛИЧЕСТВО
АУДИТОРНЫХ
ЧАСОВ
35
35
40
Волоконно-оптические измерения
20
С2
Технологии производства специальных
волоконных световодов
25
СПЕЦИАЛИЗАЦИ
С1
С3
С4
С5
С6
№
1
2
3
4
Проектирование специальных волоконных
световодов
Инерциальные навигационные системы на
волоконно-оптических гироскопах
Волоконно-оптические датчики и системы на их
основе
Волоконные лазеры
Название специализации
Конструкции
специальных
волоконных световодов
Технологии
производства
специальных
волоконных
световодов
Конструкции
волоконнооптических приборов
Технологии
производства
волоконно-оптических
приборов
25
25
25
25
Таблица 2. Структура специализаций
Элементы модулей
Б1, Б2, Б3, С1, С3
Б1, Б2, Б3, С1, С2
Б1, Б2, Б3, С4, С5
Б1, Б2, Б3, С5, С6
Вести программу будут ведущие преподаватели Пермского ГТУ, а также ученые
НЦВО ИОФ РАН и зарубежные специалисты, в частности Майкл Перлмуттер, президент
компании Skilight Navigation Technology (США), ведущий специалист по волоконнооптическим гироскопам.
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы
ОАО ПНПК принимала активное участие в разработке образовательных программ,
в содержательной части читаемой курсов, а также в выборе тематики выпускных
квалификционных работ. Все указанные выше вопросы заслушивались на научнотехнических советах ОАО ПНППК.
Управление программой
Приказом ректора ПГТУ создан научно-методический Совет с участием
представителей ГК “Роснанотех” и ОАО ПНППК в следующем составе:
1. Ташкинов А.А., первый проректор ПГТУ – председатель совета
2. Первадчук В.П., директор ИФОП ПГТУ – зам. председателя совета
3. Нисимов С.У., руководитель группы ГК “Роснанотех” - член совета (по
согласованию)
4. Шумкова Д.Б., доцент ПГТУ – секретарь совета
5. Крюков И.И., начальник ПКО ПНППК – член совета (по согласованию)
6. Труфанов Н.А., зав. каф. ПГТУ – член совета
46
7.
8.
Цаплин А.И., декан ПГТУ – член совета
Струк В.К., зам. директора по науке ПНППК - член совета (по согласованию)
Перечень используемого оборудования
№
п/п
4.
Наименование учебных аудиторий,
лабораторного и технологического
оборудования
2
Специализированный учебная аудитория для
студентов направления
“Фотоника и
оптоинформатика”
Специализированный компьютерный класс
для студентов направления “Фотоника и
оптоинформатика”
Оптический рефлектометр
5.
Спектроанализатор
6.
Измеритель
дисперсии
7.
1
1.
2.
Описание аудиторного фонда,
лабораторного и технологического
оборудования
3
Площадь 70 м2 количество посадочных
мест – 30 (ПГТУ)
Площадь 90 м2 Количество рабочих мест –
15 (ПГТУ)
Контрольно-измерительное
(на балансе ПГТУ)
оборудование
Контрольно-измерительное
(на балансе ПГТУ)
оборудование
поляризационно-модовой Контрольно-измерительное
(на балансе ПГТУ)
оборудование
Экстинометр
Контрольно-измерительное
(на балансе ПГТУ)
оборудование
8.
Бриллюэнновский рефлектометр
Контрольно-измерительное
(на балансе ПГТУ)
оборудование
9.
Установка сварки волоконных световодов
Контрольно-измерительное
(на балансе ПГТУ)
оборудование
10.
Измеритель геометрии световодов
Контрольно-измерительное
(на балансе ПГТУ)
оборудование
11.
Испытательный
стенд
оптических гироскопов
Контрольно-измерительное
(на балансе ОАО ПНППК)
оборудование
12.
Установка MCVD
10.
13.
14.
15.
16.
для
волоконно-
Технологическое
ОАО ПНППК)
Колонна вытяжки
Технологическое
ОАО ПНППК)
Установка электронно-лучевого напыления
Технологическое
ОАО ПНППК)
Установка
стыковки
интегральных
и Технологическое
волоконных световодов
ОАО ПНППК)
Намоточный станок
Технологическое
ОАО ПНППК)
Башня вытяжки
Технологическое
ОАО ПНППК)
47
оборудование (на балансе
оборудование (на балансе
оборудование (на балансе
оборудование (на балансе
оборудование (на балансе
оборудование (на балансе
3.6. Программа профессиональной подготовки кадров (уровень –
магистратура),
предложенная
Государственным
образовательным
учреждением высшего профессионального образования «Пермский
государственный технический университет» (ПГТУ) для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в
области производства погружных электронасосов для нефтедобычи и их
узлов с наноструктурными покрытиями
По заказу: ЗАО «Новомет», г. Пермь, ID 1092
Основные характеристики программы
Начало обучения по программе магистратуры – 1 сентября 2010 г., окончание – 30
июня 2012 г. Формат обучения: дневная форма обучения – магистратура.
Для поступления на данную магистерскую программу будут допускаться лица,
имеющие диплом бакалавра по направлениям: 150100 «Металлургия», 210600
«Нанотехнология»,
150900
«Технология,
оборудование
и
автоматизация
машиностроительных производств».
Планируемое количество выпускников – 15 магистров, планируемое
трудоустройство в проектной компании – не менее 12 человек.
Каждый магистрант в результате подготовки будет обязан пре дставить
итоговую работу (магистерскую диссертацию) с научно -исследовательскими и
технологическим компонентами, применимыми в реальном производственном процессе
компании-Работодателя. Основные результаты итоговой работы должны быть
опубликованы в одной или нескольких публикациях в центральных рецензируемых
журналах.
Краткое описание содержания программы
Первая особенность предлагаемой программы заключается в реализации
модульно-компетентностного принципа ее формирования: для максимально полного
формирования совокупности компетенций, необходимых для дальнейшей работы,
магистрант будет иметь право осваивать не всю дисциплину, а только те ее части
(модули), которые ему действительно необходимы. Вторая особенность программы – это
активное участие представителей Работодателя в работе всех органов управления, а также
– реальное включение Работодателя в реализацию всех этапов программы.
Третья особенность обучения по предлагаемой программе состоит в наличии
института персональных научных руководителей (тъюторов). Каждый магистрант в
начале обучения должен будет выбрать себе руководителя. Выбор того или иного
тьютора зависит от специализации студента, поскольку она определяет построение его
учебной программы.
Четвертой отличительной особенностью данной программы обучения будет
являться то, что не менее 50% времени магистры будут работать и/или проводить
исследования на реальном учебно-исследовательском, научно-исследовательском и
технологическом оборудовании.
48
Программа разработана специально для ЗАО «Новомет». Основой для нее
являются реализуемые в ПГТУ магистерские программы, реализуемые по направлениям
«Металлургия», «Нанотехнология», «Технология, оборудование и автоматизация
машиностроительных производств». При этом новая программа существенно
переработана с целью подготовки кадров конкретно для компании «Новомет»:
– разрабатываются новые учебные курсы: «Нанокристаллические материалы»,
«Теоретические основы и технологические особенности наноструктурирования
конструкционных материалов», «Компьютерное моделирование сложных
систем в области наноматериаловедения», «Методы и приборы для изучения,
анализа и диагностики наночастиц и наноматериалов», «Оборудование и
технология наноматериалов», «Процессы получения наночастиц и
наноматериалов»;
– ранее разработанные учебные курсы, вошедшие в новую учебную программу,
такие, как: «Физика прочности и механика разрушения материалов и
наноматериалов»,
«Современные
методы
исследования
структуры
металлических сплавов и порошковывх материалов»; «Экологические
проблемы производства наноматериалов», существенно модернизированы для
обеспечения формирования у магистров компетенций, требуемых в области
твердотельной светотехники;
– увеличено число лабораторных практикумов, которые будут выполняться на
современном
научно-исследовательском,
научно-технологическом
и
диагностическом оборудовании учебно-исследовательского комплекса;
– темы научно-исследовательской работы студентов и магистерских диссертаций
будут сформулированы с учетом научно-технологических задач, решаемых
проектной компанией ЗАО «Новомет».
Для создания программы и преподавания будут привлечены лучшие специалисты
ПГТУ: академик РАН В.Н. Анциферов, д.т.н., профессор А.М. Ханов, д.т.н., профессор
А.А. Ташкинов, д.т.н. Ю.Н. Симонов, д.т.н., Л.Д. Сиротенко, д.т.н., С.Е. Порозова и
другие); вузов-партнеров: НИТУ-МИСиС (Москва), ЛЭТИ (Санкт-Петербург), Нефтяной
университет им. Губкина (Москва), академических институтов (Институт механики
сплошных сред, Пермь; Институт физики металлов УрО РАН, Екатеринбург), а также –
зарубежные специалисты (Университет им. Отто Герике, г. Магдебург; Технический
университет «Горная академия», г. Фрайберг). Для проведения практик и руководства
проектами и магистерскими диссертациями будут привлекаться сотрудники
производственных компаний, в первую очередь – сотрудники научного Центра ЗАО
«Новомет»: д.т.н. Ю.А. Данченко, д.т.н. С.Н. Пещеренко и др.
Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы
Сотрудники ЗАО «Новомет» будут привлекаться для проведения экспертизы
содержания образовательной программы, для руководства практикой, проектами
обучающихся и магистерскими диссертациями (в качестве тъюторов), для рецензирования
магистерских работ, а также - в качестве членов государственных аттестационных
комиссий по защите магистерских диссертаций. Планируется их участие в мониторинге
реализации программы.
49
Управление программой
Для управления процессом реализации Программы, и аудита финансовоэкономического обеспечения Программы, в данный момент создается Совет Программы,
включающий: Наблюдательный Совет Программы, Учебно-методический совет
Программы и Дирекцию Программы.
Для координирования реализации профессиональной части Программы и
прохождения магистрантами производственных практик, а также – для осуществления
аудита финансово-экономического обеспечения Программы создается Наблюдательный
совет Программы (НСП) в составе:
1. Петров В.Ю., ректор ГОУ ВПО ПГТУ – Председатель НСП;
2. Анциферов В.Н., академик РАН, зав. кафедрой ПМ, директор НЦПМ ПГТУ;
3. Нисимов С.У., руководитель группы по работе с образовательными
учреждениями Департамента образовательных программ ГК «Роснанотех» куратор Программы от ГК «Роснанотех;
4. Ханов А.М., декан МТФ ПГТУ;
5. Перельман О.М., генеральный директор ЗАО «Новомет»;
6. Один из руководителей ОАО «Мотовилихинские заводы», г. Пермь;
7. Один из руководителей ОАО «Пермские моторы»;
8. Представитель
Координационного
Совета
программы
развития
«Национальный исследовательский университет».
Для разработки учебно-методического комплекса (УМК), необходимого для
открытия Программы, а также - выработки требований к организации учебного процесса
создается Учебно-методический совет (УМС) Программы. Для осуществления текущего
руководства подготовкой и реализацией Программы создается Дирекция Программы
(ДП).
Используемое оборудование
№
п/п
1
2
3
4
Наименование учебных аудиторий
лабораторного и технологического
оборудования
Аудиторный фонд
Многопроцессорный вычислительный
комплекс для высокопроизводительных
параллельных вычислений (AMD/США)
Система универсальная
электромеханическая Instron 5882 (100kN),
оснащенная температурной камерой для
испытаний при температуре от -100 ºС до
+350 ºС (Великобритания)
Универсальная настольная
электродинамическая испытательная
машина Instron E3000 (3kN)
50
Описание аудиторного фонда,
лабораторного и технологического
оборудования
Лекционный зал на 50 человек с
мультимедийными средствами;
3 компьютерных класса на 30 компьютеров
каждый, в каждом - выход в Интернет,
библиотека, мультимедийные средства
Решение фундаментальных и прикладных
задач с использованием современных
программных комплексов
- Определение комплекса деформационных
и прочностных характеристик материалов
при квазистатических, динамических и
циклических нагружениях
- Определение характеристик циклической
трещиностойкости и усталостной
долговечности
Объекты изучения: стали и сплавы,
композиционные и порошковые материалы,
керамические материалы, нанокомпозиты
6
(Великобритания)
Цифровая система для видео анализа и
измерения деформаций Vic3D (Германия)
Сканирующий электронный микроскоп
высокого разрешения с
рентгенофлуоресцентной приставкой «S3400N» японской фирмы «HITACHI»
7
Рентгеновский дифрактометр XRD-7000
японской фирмы «Шимадзу»
8
Автоэмиссионный растровый микроскоп
9
Многофункциональный дисперсионный
спектрометр комбинационного рассеяния
света
10
Термомеханический
анализатор/дилатометр
Установки плазмохимического газофазного
роста алмазных пленок и плазменного
напыления
Анализатор размера частиц для измерения
в сухой и жидкой средах
5
11
12
12
13
Станок токарно-фрезерный MULTUS
B300W
Станок электроэрозионный проволочновырезной Ecocut
14
Заточной центр SZ
15
Плоскодоводочные станки для финишной
51
Комплекс для изучения состояния
поверхности и элементного состава
кристаллических и аморфных веществ.
Используется для анализа поверхности
продуктов, образцов антикоррозионных
материалов, защитных покрытий, лаков,
пленок, сплавов, композиций, руд,
полупродуктов и отходов предприятий
Установка для качественного т
количественного анализа фазового состава
руд, кристаллических продуктов,
расшифровки минералогического состава
нерастворимого остатка руд, солевых
отходов, всех кристаллических
полупродуктов и продуктов, покрытий и
т.д.
Использование данного прибора позволяет
определить вид минералов,
кристаллическое строение, размер
кристаллитов, степень кристалличности
веществ и материалов
Исследование топологии поверхностей,
композиционного контраста поверхностей,
разориентации кристаллов, магнитных
доменов, прецизионное измерение частиц и
включений. Получение изображений во
вторичных и обратно рассеянных
электронах
Исследование индивидуальных химических
связей в молекулах, внутри- и
межмолекулярных взаимодействий,
различных видов изомерии, обнаружение
микропримесей
Измерение вариаций размеров образцов как
функции температуры
Плазмо-химическое газофазное нанесение
алмазных и алмазоподобных покрытий
Для определения распределения частиц в
суспензиях, эмульсиях, порошках и
аэрозолях по размерам посредством
лазерной дифракции при длине волны 650
нм
Подготовка образцов для механических
испытаний
Подготовка проб для
электронномикроскопических и других
тонких исследований
Подготовка инструмента, подготовка проб
для металлографических исследований
Финишная механическая доводка
16
абразивной обработки высокоточных
деталей
Хонинговально-доводочные станки
17
Просвечивающий электронный микроскоп
ЭМ-125М
18
Сканирующий электронный микроскоп
РЭМ-100УМ
52
прецизионных поверхностей деталей до
шероховатостей в нанометровом диапазоне
Финишная абразивная обработка
прецизионных поверхностей деталей
постоянной кривизны
Учебно-исследовательский прибор для
прямого наблюдения дислокационной
структуры металлов, сплавов и покрытий
Учебно-исследовательский прибор для
наблюдения структуры металлов, сплавов и
покрытий
3.7. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального
образования
«Рыбинская
государственная
авиационная технологическая академия имени П.А.Соловьева» (РГАТА
имени П.А. Соловьева) для проектных компаний ГК «Роснанотех»,
реализующих инвестиционные проекты в области разработки и получения
наноструктурированных
покрытий
режущего
инструмента
и
технологической оснастки для газотурбинной техники.
По заказу: ЗАО «Новые инструментальные решения», г.Рыбинск, ID 448
Основные характеристики программы
Программа начнется весной и завершится осенью 2010 года. Форма обучения –
дневная, с отрывом от работы.
Группа слушателей из 25 человек формируется на конкурсной основе,
преимущественно, из работников ЗАО «Новые инструментальные решения» и аспирантов
и выпускников РГАТА имени П.А.Соловьева. В список кандидатов на обучение входят
инженеры-технологи, начальники участков, начальник производства, технический
директор, заместитель ген.директора по коммерческим вопросам, операторы
станков.Планируется, что все выпускники будут трудоустроены на предприятии.
Краткое описание содержания программы
Базой для разработки и реализации предлагаемой программы является
функционирующий в РГАТА имени П.А. Соловьева региональный научнообразовательный центр авиационной отрасли. Учебный план составляется на основе
требований работодателя – ЗАО «Новые инструментальные решения».
В основу программы положен модульный принцип, обеспечивающий
возможность создания специализаций с усилением подготовки по отдельным темам
программы.
Модули программы
М.1 Фундаментальные основы наноматериалов и нанотехнологий в области
разработки и получения наноструктурированных покрытий режущего инструмента и
технологической оснастки для газотурбинной техники
М.1.1 Введение в нанотехнологию.
М.1.2 Физико-химические основы наноматериалов.
М.1.3 Основы нанометрической механообработки.
М.1.4 Наноматериаловедение.
М.2 Научные основы технологии проектирования и изготовления твердосплавного
режущего инструмента и технологической оснастки для газотурбинной техники
М.2.1 Методы проектирования монолитного твердосплавного инструмента.
М.2.2 Технология изготовления твердосплавного инструмента.
53
М.2.3 Технологии инструментальных материалов.
М.2.4 Инструменты и методы обработки твердых сплавов.
М.3 Научные основы разработки и получения наноструктурированных покрытий
режущего инструмента и технологической оснастки для газотурбинной техники
М.3.1 Нанотехнологии при изготовлении режущего инструмента.
М.3.2 Методы нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент.
М.3.3 Влияние нанотехнологий на эксплуатационные свойства изделий.
М.4 Метрологические основы обеспечения требуемых характеристик покрытий
режущего инструмента и технологической оснастки для газотурбинной техники
М.4.1 Методы исследования наноструктур. Зондовые нанотехнологии.
Кадровый состав профессорско-преподавательского корпуса РГАТА имени П.А.
Соловьева в области наносистем, наноматериалов и нанотехнологий, привлекаемый к
реализации проекта составляет 48 человек, в том числе 12 докторов технических наук,
профессоров и 7 кандидатов технических наук, доцентов.
Для разработки программы и ее реализации привлекаются квалифицированные
специалисты, представители компании, а также ведущие российские ученые из
следующих орагниазций:
– РНЦ «Курчатовский институт», г.Москва.
– Фирма «Галика АГ» (GALIKA AG Company), г.Цюрих, Швейцария.
– ОАО «Научно-производственное объединение «Сатурн», г.Рыбинск.
– ЗАО «Новые инструментальные решения», г.Рыбинск.
– Ярославский государственный университет имени П.Г. Демидова (Центр
коллективного пользования оборудованием).
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы
Участие ЗАО «НИР» в программе будет осуществляться с помощью следующих
форм:
–
–
–
–
–
анализ потребностей компаний при разработке проекта образовательной
программы, включая непосредственное участие ведущих специалистов
компаний в формировании контента учебных модулей (уже сделано);
участие в составе Координационного совета программы представителей
проектных компаний ГК «Роснанотех»;
привлечение ведущих специалистов предприятий для проведения занятий,
семинаров, лабораторных и практических работ, руководства выпускной
работой слушателей;
использование
научного,
исследовательского
и
производственного
оборудования кампаний для проведения практических занятий со слушателями;
привлечение специалистов кампаний и руководства для проведения текущего и
итогового измерения компетенций слушателей, участия в работе комиссий по
защите выпускных работ.
Управление программой
Для организации и осуществления проекта создается постоянно действующий
координационный совет образовательной программы, в который входят представители
основного заказчика кадров ЗАО «Новые инструментальные решения», ГК «Российская
корпорация нанотехнологий», РГАТА имени П.А. Соловьева, также представители
ведущих научных и учебных центров, работающих в сфере нанотехнологий.
54
Задачами координационного совета являются: определение стратегии
формирования образовательной программы профессиональной переподготовки, ее
наполнение, организационно-методическое обеспечение, мониторинг реализации проекта.
Состав координационного совета:
1. Полетаев В.А.
Ректор
РГАТА
имени
П.А.Соловьева,
технических наук – председатель Совета
доктор
2. Жигалов В.Н.
Генеральный директор ЗАО «Новые инструментальные
решения» - заместитель председателя Совета
3. Нисимов С.У.
Руководитель группы по работе с образовательными
учреждениями Департамента образовательных программ
ГК «Российская корпорация нанотехнологий» - член
Совета
Проректор по НИР, доктор технических наук, профессор
- член Совета
Проректор по УВР, доктор технических наук, профессор
- член Совета
Зав. кафедрой ТАДиОМ, доктор технических наук,
профессор - член Совета
Зав кафедрой РМСИ, доктор технических наук,
профессор - член Совета
Зав кафедрой «Технология машиностроения» МГТУ
им.Н.Э.Баумана, доктор технических наук, профессор член Совета
Профессор кафедры «Технология машиностроения»
КГТУ (г.Кострома), доктор технических наук,
профессор - член Совета
Профессор кафедры ЭПЭ, доктор технических наук член Совета
Директор по персоналу ОАО «НПО «Сатурн»
4. Кожина Т.Д.
5. Шатульский А.А.
6. Безъязычный В.Ф.
7. Волков Д.И.
8. Васильев А.С.
9. Михайлов С.В.
10. Камакин В.А.
11. Иванов Л.М.
Используемое оборудование
№ п/п
1.
Наименование учебных
аудиторий,
лабораторного и
технологического
оборудования
Аудиторный фонд
(баланс вуза)
Описание аудиторного фонда, лабораторного и
технологического оборудования
Общая площадь – более 250 кв.м. Лекционные аудитории,
учебные и компьютерные классы соответствуют нормам
СанПиН 2.2.1./2.1.1.1278-03, СанПиН 2.2.4.548-96, СанПиН
2.2.2/2.4.1340-03, СанПиН 2.4.3.1186-03, ППБ 01-03, СниП
21-01-97, СниП 23-05, НПБ 104-03. Все помещения
оснащены необходимым мультимедийным оборудованием.
Исследовательское и вычислительное оборудования
оснащено программным обеспечением: Solidworks-6 для
моделирования технологического оборудования;
верификация управляющих программ –Vericad для
моделирования управляющих программ для станков с ЧПУ;
55
2.
Лаборатории
(баланс вуза)
3.
Динамический
наноиндентометр ДНТ20/200
(баланс вуза)
4.
Вторичный ионный массспектрометр IMS-4F.
(баланс вуза)
Автоматизированный
комплекс для
определения физикомеханических свойств
сплавов в широком
диапазоне температур
(баланс вуза)
Растровый электронный
микроскоп Ultra 55 (Leo
Supra) в комплекте с
рентгеновским
спектрометром
(баланс ЯрГУ имени П.Г.
Демидова (Центр
коллективного
пользования
оборудованием).
Автоматизированный
комплекс для измерения
5.
6.
7.
проектирование техпроцессов ТЕХКАРД; проектирование
техпроцессов Cadmech
Лаборатория «Автоматизации технологических процессов
механообработки деталей энергоэффективных двигателей»
имеет производственные площади размером 600 м2, причем
из них 200 м2 полностью оборудованы: имеются все
необходимые инженерные коммуникации, компрессорная
станция и технологическое оборудование с ЧПУ для
многокоординатной токарной и фрезерной обработки,
координатно-измерительную машину, участок стендов для
моделирования работы технологического оборудования и
разработки управляющих программ ф. «Сименс».
Динамический наноиндентометр ДНТ 20/200
используется для:
- определение микро- и нанотвердости, локального
модуля Юнга, предела текучести, анизотропии механических
свойств микрообъемов при упруго-пластическом контакте;
- измерение энергии, поглощаемой при упругопластическом контакте, коэффициента ее рассеяния при
циклическом нагружении;
- исследование фазовых превращений,
индуцированных высоким давлением под индентором;
- исследование структуры многофазных и
многослойных материалов;
- определение толщины, степени адгезии,
механических свойств тонких пленок и покрытий;
- оценка пористости материала;
- оценка величины и характера распределения
внутренних напряжений в приповерхностном слое;
- исследование ползучести при комнатной
температуре.
Установка для исследование химического состава и
структуры методом вторичной ионной масс-спектрометрии
Комплекс позволят одновременно измерять и
контролировать упругие, неупругие, магнитные и некоторые
теплофизические параметры различных материалов в
вакууме, среде различных газов и условиях атмосферы в
широком диапазоне температур от температуры кипения
жидкого азота до температуры ликвидус исследуемого
материала.
Сканирующий автоэмиссионный электронный микроскоп с
разрешением до 1 нм.
Комплекс предназначен для определения
характеристик распределения остаточных напряжений в
56
8.
остаточных напряжений
поверхностного слоя
деталей
на базе прибора ПИОН-2
(баланс вуза)
Автоматизированный
исследовательский
комплекс МТИ-3М.
(баланс вуза)
9.
Установка для
неразрушающего
контроля материалов
ПНК-1 (баланс вуза)
10.
Времяпролетный массспектрометр IONTOF
SIMS5 (баланс вуза)
Спектрометр Оже PHI660 (баланс вуза)
11.
12.
13.
14.
15.
16.
17.
Микроскоп электронный
LEO 430 SEM (баланс
вуза)
Головка измерительная
LF1 к микроскопу UHV
AFM/STM (баланс вуза)
Спектрометр ИК Фурье
IFS-113v
(баланс предприятия)
Калориметр
дифференциальный
сканирующий DSC
204/1/G Phoenix (баланс
предприятия).
Комплекс спектральнозондовый измерительный
автоматизированный
(баланс предприятия).
Установка электроннолучевого контроля на
поверхностном слое деталей при помощи последовательного
электролитического стравливания материала и регистрации
возникающих деформаций.
Комплекс состоит из микротвердомера, контроллера и
персонального компьютера. По кинематической диаграмме
вдавливания, возможны: а) оценка особенностей
микродеформации в условиях непрерывного вдавливания
индентора в широком диапазоне прикладываемых усилий и
глубин отпечатков; б) определение непосредственно из
диаграммы вдавливания микротвердости; в) оценка
реологических характеристик (микроползучесть, упругое
восстановление) поверхностных слоев; г) изучение процесса
разрушения и его связи с контактным взаимодействием при
непрерывном вдавливании индентора; д) оценка толщины
покрытия и его механических свойств, степени влияния
подложки на микротвердость покрытия; е) определение
упругих свойств поверхностных слоев материала и
способность их к релаксации энергии, накопленной в
процессе упругопластической деформации.
Предназначена для измерения
термоэлектродвижущей силы, возникающей в ходе
испытаний образцов на машинах трения, приборах
термоэлектрического неразрушающего контроля; при
исследовании процессов механической обработки деталей на
металлорежущих станках.
Установка для исследование химического состава и
структуры методом времяпролетной вторичной ионной массспектрометрии
Микро зонд для исследования и построения ожеэлектронного изображения поверхности с субмикронным
разрешением.
Сканирующих электронный микроскоп с
разрешением до 20 нм
Атомно-силовой и сканирующий туннельный
микроскоп с высоковакуумной системой
Фурье-спектрометр для исследования спектров
пропускания и отражения в спектральном диапазоне 4000 –
50 обратных сантиметров.
Прибор для измерения величины теплового эффекта
при фазовых переходах.
Прибор для диагностики плазмы в плазмохимических
процессах микротехнологии.
Прецизионный сканирующий микроскоп для измерения и
аттестации эталонных металлизированных фотошаблонов
57
18.
19.
20.
21.
22.
23.
фотошаблонах и
полупроводниковых
пластинах ZRM-20
(баланс предприятия).
Установка ионной
имплантации К2МV с
системой RBS анализа
(баланс предприятия).
Электроннолитографический
комплекс RAITH 150D
(баланс предприятия).
Трехмерный оптический
бесконтактный
анализатор структуры
поверхности ZYGO New
View с системой
высокоточного
позиционирования
образцов (баланс
предприятия).
Анализатор
нанотекстуры
поверхности (баланс
предприятия).
Установка
плазмохимического
осаждения MINI
GOUPYL (баланс
предприятия).
Установка электроннолучевого экспонирования
ZВА-20 (баланс
предприятия).
для микроэлектроники.
Установка для имплантации легирующих примесей с
системой химического анализа методом обратного
резерфордовского рассеяния.
Установка для электронно-лучевой литографии «Direct
writing» с разрешением 2 нм при ускоряющем напряжении 20
кВ.
Бесконтактный оптический профилометр для построенияя
трехмерного изображения поверхности.
Установка для контроля поверхности пластин 200/300 мм.
Установка плазмохимического осаждения дл формирования
нитридных, оксидных и аморфных слоев на кремнии.
Установка для формирования субмикронных структур
(масок) методом электронно–лучевого экспонирования.
58
3.8. Программы профессиональной подготовки (уровень – магистратура) и
программы переподготовки кадров, предложенные Государственным
образовательным учреждением высшего профессио-нального образования
"Московский государственный институт электронной техники
(технический университет)" (МИЭТ) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
проектирования и производства УБИС с топологическими нормами 90 нм.
ОАО «НИИМЭ
«СИТРОНИКС»), ID 775
По
и
заказу:
Микрон»
(в
составе
ОАО
Основные характеристики программы
Продолжительность программы на стадии реализации: дата начала 15.03.2010 г.;
дата завершения программы 29.06.2012 г. Итоговый документ: Диплом о высшем
образовании с присуждением степени магистра техники и технологии по направлению
«Электроника и микроэлектроника». Итоговый документ по программам переподготовки:
Диплом о дополнительном (к высшему) образовании.
По программам профессиональной подготовки (уровень – магистратура) – дневная
форма обучения; по программам переподготовки возможны 2 варианта – дневная форма
обучения и проведение интенсивных сессий с интервалами 1 раз в 2 месяца.
По программам профессиональной подготовки (уровень – магистратура) – набор
производится с рынка с последующим трудоустройством в компании; по программам
переподготовки слушателями являются работники компании.
Планируемое количество
выпускников по программам опережающей
профессиональной подготовки (уровень – магистратура) – 30; по программам
переподготовки – 10, планируемое количество тех, кто будет трудоустроен в компании –
25 магистров.
Краткое описание содержания программы
В основу формирования содержания разрабатываемых программ подготовки и
переподготовки кадров положены потребности компании ОАО «НИИМЭ и Микрон»,
осуществляющей инвестиционные проекты ГК «Роснанотех» в области проектирования и
производства УБИС с топологическими нормами 90 нм в г. Москве, которая впервые в РФ
создала все условия для реализации проекта производства УБИС с проектными нормами
90 нм.
Основой для реализации предлагаемой образовательной программы являются
магистерские программы «Технология и проектирование интегральных микросхем»,
«Проектирование интегральных элементов и технологических маршрутов», «Технология
интегральной наноэлектроники», действующие в МИЭТ по направлению магистерской
подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника».
59
Разрабатываемые в рамках проекта образовательные программы соответствуют
современным принципам организации учебного процесса, включая модульность учебных
дисциплин, увеличение часов, отводимых на самостоятельную работу слушателя,
использование мультимедийных средств в учебном процессе и электронных тестов.
Учебная программа проекта объединяет в себе две программы подготовки
магистров, обеспечивающих формирование у обучающихся профессиональных
компетенций по профилям «Проектирование УБИС с топологическими нормами 90 нм» и
«Производство УБИС с топологическими нормами 90 нм».
Помимо программ подготовки магистров разрабатываются модульные программы
переподготовки.
В рамках проекта две программы подготовки магистров включают:
а)
10 базовых курсов единых для проектировщиков и технологов, в т.ч.
дисциплины гуманитарного и естественнонаучного цикла в соответствии с
государственным образовательным стандартом;
б)
по 15 –18 специальных курсов для каждого профиля обучения,
подготовленных с привлечением ведущих специалистов таких организаций
как ОАО «НИИМЭ и Микрон», Физико-технологический институт РАН,
НИИ системных исследований РАН, ГУП НПЦ «Элвис», ООО «IDM», ЗАО
ПКК «Миландр», Зеленоградский инновационно-технологический центр и
других.
в)
лабораторные практикумы по курсам, построенные на принципах
реализации исследовательских работ в области проектирования и
технологии ИС с проектными нормами 90 нм, в том числе:
- проектирование низкочастотных аналоговых ИС с топологическими
нормами 90 нм;
- проектирование топологии КМОП АИС с наноразмерными элементами;
- проектирование и верификация СФ-блоков на основе наноразмерных
транзисторных структур;
- проектирование систем на кристалле с проектными нормами 130-90 нм;
- технологические процессы интегральной наноэлектроники;
- особенности
моделирования
технологических
процессов
и
наноразмерных структур;
- методы диагностики наноразмерных элементов и структур;
- подготовка данных для изготовления фотошаблонов, и другие.
Содержание программы переподготовки специалистов будет отражать те
принципиальные моменты, которые отличают технологию создания электронных изделий
с топологическими нормами 90 нм от предыдущих уровней технологии. В частности, речь
идет о включении в учебную программу модулей по изучению таких особенностей
создания 90 нм изделия, как использование технологии «напряженного» кремния (что
приводит к увеличению электронно-дырочной проводимости в канале транзистора),
физико-технологических особенностей используемых транзисторных структур (с учетом
появляющихся и усиливающихся в таких структурах квантово – механических и краевых
эффектов, например, туннелирование через тонкие слои диэлектриков и области
пространственного заряда р-п переходов, деградация подзатворного диэлектрика,
обеднение затвора, модулирование порогового напряжения и длины канала и т.п.),
использование диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, использование
конструктивно-технологических методов борьбы с короткоканальными эффектами,
60
использование
высокопроизводительных
транзисторов,
обладающих
низким
энергопотреблением и работающих при уменьшенном питающем напряжении (~1.2 В).
Участие проектных компаний в разработке и реализации программы
На первом этапе программы на основе анализа и уточнения потребностей
проектных компаний будут определены факторы повышения качества формирования
программ, эффективности форм и методов обучения.
К основным отличительным особенностям данной программы следует отнести
расширенный перечень формируемых у слушателей профессиональных компетенций и
принцип вариабельности учебных планов, обеспечиваемый перечнем дисциплин
специализации по выбору заказчика, что предполагает дополнительные обязательства по
разработке учебных планов и методических материалов не менее 16 дополнительных
дисциплин специализации по каждому из профилей подготовки «Проектирование УБИС с
топологическими нормами 90 нм» и «Производство УБИС с топологическими нормами 90
нм».
Защита выпускных квалификационных работ проводится на открытых заседаниях
Государственных аттестационных комиссий с участием в работе ГАК ведущих
специалистов предприятий ГК «Роснанотех» под председательством руководителя
инвестиционного проекта ГК «Роснанотех» в области проектирования и производства
УБИС с топологическими нормами 90 нм или его заместителя.
Тематика диссертационных работ разрабатывается в рамках проектноориентированного подхода и соответствует выполнению работ в рамках прикладных
научных проектов, интерес к которым подтвержден работодателем. Предусматривается
возможность со-руководства диссертациями как преподавателями МИЭТ и вузов –
соисполнителей, так и сотрудниками предприятий, реализующих инвестиционные
проекты ГК «Роснанотех», приглашенными преподавателями.
Управление программой
Управление реализацией образовательной программы предполагает использование
программно-целевого подхода, который обеспечит принцип целенаправленности
управления и минимизации используемых финансовых ресурсов при реализации
программы.
Схема управления включает следующие основные элементы:
Высшим исполнительным органом управления является ректор – руководитель
образовательной программы, осуществляющий оперативное управление программой.
Ректор принимает и утверждает оперативные и стратегические решения,
обеспечивающие своевременное и качественное выполнение задач Программы. Ректор
создает учебно-методический совет (УМС) и дирекцию (ДП) Программы.
Учебно-методический совет (УМС) проекта, в состав которого войдут
высококвалифицированные преподаватели (профессора) МИЭТ, ВГТУ и ЮФУ по
профилям подготовки, входящим в состав ООП магистратуры и программы
профессиональной переподготовки. Дирекция проекта (ДП) будет осуществлять текущее
управление проектом и процессом обучения, обеспечивать контроль за ходом выполнения
мероприятий, готовить промежуточные и итоговые отчеты. На дирекцию возлагается
ответственность за полное и объективное представление информации о ходе реализации
программы
Наблюдательный совет (НС) проекта, в состав которого войдут представители
бизнес-сообщества, в первую очередь — проектных компаний ГК «Роснанотех»,
61
реализующих инвестиционные проекты ГК «Роснанотех» в области проектирования и
производства УБИС с топологическими нормами 90 нм, и представители других
компаний, осуществляющих деятельность в области проектирования и производства
изделий микроэлектроники. НС будет осуществлять мониторинг хода выполнения
проекта с целью оценки эффективности проводимых работ и своевременной их
корректировки, принимать участие в промежуточном и итоговом оценивании
результативности программы, проводить аттестации, подтверждающие приобретение
обучающимися требуемых компетенций.
Используемое оборудование
№
п/п
1
1.
Наименование
учебных аудиторий,
лабораторного и
технологического
оборудования
2
Лаборатория
нанотехнологии:
Нанотехнологический
комплекс «Нанофаб100», ЗАО «НТ-МДТ»,
Россия, 2008г.
2.
Лаборатория атомносиловой
микроскопии:
- зондовый микроскоп
“Nanoeducator”, 5 ед.,
ЗАО «Нанотехнология
МДТ», Россия, 2007г.
Описание аудиторного фонда, лабораторного и
технологического оборудования
3
Лаборатория нанотехнологии
Технологическое помещение общей площадью 72 кв.м.
класса чистоты 1000.
Нанотехнологический комплекс «Нанофаб-100» (уста-новка
молекулярно-лучевой эпитаксии гетеро-структур, установка с
фокусированным пучком ионов галлия с энергией 30 кВ и
диаметром пучка 13 нм, сверхвысоко-вакуумный атомносиловой микроскоп, объединенных единой вакуумной и
транспортной системой): формирование гетероструктур,
создание полосковых устройств СВЧ – диапазона, атомносиловая микроскопия, создание активных элементов и
специа-лизированных интегральных схем наноэлектроники.
Лаборатория атомно-силовой микроскопии
Учебное помещение на 5 рабочих мест общей площадью 25
кв.м.
Зондовый микроскоп “Nanoeducator”. Сборочный комплект
для обучения основам сканирующей туннельной
микроскопии, атомно-силовой микроскопии, силовой
зондовой литографии, диагностики УБИС.
62
3.
Лаборатория
рентгеновского
анализа нанообъектов:
Лаборатория рентгеновского анализа нанообъектов
Учебно-лабораторное помещение общей площадью 15 кв.м
на 4 рабочих места.
Комплекс
рентгеновских
измерительных систем
«МИНИЛАБ-6» (X-Ray
MiniLab),
ООО «Институт
рентгеновской оптики»,
Россия, 2003г.
Комплекс рентгеновских измерительных систем
«МИНИЛАБ-6» для измерений многослойных наноструктур
(неразрушающий контроль параметров тонких пленок,
сверхгладких поверхностей и внутренних границ раздела,
многослойных структур, ансамблей наночастиц,
монокристаллов и поликристаллов).
Определяемые параметры:
- толщина тонких слоев (1-300 нм);
- величина шероховатости поверхности и переходных слоев
(от 0,1 нм);
- период многослойных структур (от 0,5 нм);
- плотность поверхностных слоев (при толщине слоев свыше
10 нм);
- период кристаллической решетки (от 0,1 нм);
- размеры и концентрация наночастиц и нанопор диаметром
1-50 нм.
Комплекс «МИНИЛАБ-6» имеет государственную лицензию
на эксплуатацию в неоснащенных помещениях.
63
4.
5.
Центр коллективного
пользования
«Диагностика и
модифи-кация
микроструктур и
нанообъектов»:
Центр коллективного пользования «Диагностика и
модификация микроструктур и нанообъектов»
Специализированные помещения, спроектированные с
использованием элементов конструкций чистых комнат.
Имеет антистатическое напольное покрытие, системы
вентиляции и кондиционирования воздуха. Общая площадь
около 140 кв.м. Класс чистоты 8ИСО согласно ГОСТ Р 146441-2000. Включает локальную чистую зону размером 25 кв.м,
класс чистоты удовлетворяет требованиям 7ИСО.
Программноаппаратный комплекс
для лаборатории
анализа и обратного
проектирования СБИС:
- растровый
электронный микроскоп
Philips XL 40; - система
с фокусированным
ионным пучком
FEIFIB200;
- устройство для
получения цифровых
снимков через
микроскоп INM100 UV
фирмы Leica
Microsystems GmbH;
- система
декорпусирования NSC
PS102W;
- система сухого
ионного травления RIE1C;
- программное обеспечение (ПО)
для получения и
обработки изображений,
восстановления
топологии СБИС
компании Sanguine.
Запуск в эксплуатацию 2007г.
Лаборатория
элементной базы
наноэлектроники:
Программно-аппаратный комплекс для лаборатории анализа
и обратного проектирования СБИС: диагностика
геометрических параметров, структуры и состава СБИС на
основе систем кремний-германий, кремний на сапфире,
арсениде галлия и др., в т.ч., выполненных по
технологическому процессу 90 нм; работы по микрохирургии
СБИС с целью восстанов-ления их топологии и схематики с
возможностью последующего моделирования.
- установка
наноимпринтлитографии FC 150
SUSS Micro Tec
A.,Франция-Германия,
2008г;
Установка наноимпринт- литографии FC 150 SUSS Micro Tec
AG. Получение масок с нанометровым разрешением на
полупроводниковых структурах c разрешением до 18 нм.
Лаборатория элементной базы наноэлектроники
Технологические помещения общей площадью 150 м2,с
классом чистоты 1000, в которых находится технологическое
оборудование, имеются локальные чистые зоны с классом
чистоты 100 – 10 м 2 для литографического оборудования.
64
6.
- установка нанесения и
сушки SUSS Delta 6RC
HP, Германия, 2007г.;
Установка нанесения и сушки SUSS Delta 6RC HP.
Высокоточное нанесение масок фоторезистов на
полупроводниковых структурах размером до 100 мм.
- установка плазменного
травления Corial 200 IL ,
Франция, 2008г;
Установка плазменного травления Corial 200 IL.
Прецизионное плазменное травление диэлектрических слоев,
включая оксид и нитрид кремния с интерференционным
контролем толщины, точность контроля 1 нм.
-установка напыления
металлов AXXIS, Kurt
Lesker, США, 2008г.;
Установка напыления металлов AXXIS. Получение пленок
различных металлов и сплавов термическим и электроннолучевым испарениев в глубоком вакууме с точностью 10
ангстрем
-установка нанесения
диэлектрических
покрытий Corial D250,
Франция, 2008г.;
Установка нанесения диэлектрических покрытий Corial D250.
Низкотемпературное нанесение диэлектрических слоев
оксида и нитрида кремния с интерференционным контролем,
точность контроля толщины 1 нм.
-измерительный стенд
характеристик полупроводниковых приборов
Agilent 4155 на основе
зондовой установки
межоперационного
контроля SUSS РМ5,
США, 2007г.
Лаборатория
плазмохимической
обработки
Измерительный стенд контроля статических и импульсных
характеристик в частотном диапазоне до 40 ГГц
полупроводниковых приборов на основе зондовой установки
межоперационного контроля SUSS РМ5.
Кластерная установка
плазмохимического
травления диэлектрических слоев, Германия,
2007г.
Кластерная установка
плазмохимического
травления металлов,
Германия, 2007 г.
Кластерная установка плазмохимического травления
ультратонких диэлектрических слоев химически стойкий
турбомолекулярный насос, позволяющий поддерживать
давление в реакторе установки в диапазоне 0,0001÷1 мм.рт.ст.
при натекании газов-реагентов в диапазоне 10÷1000
ст.см3×мин вакуумного затвора с изменяющимся сечением
откачки в линии между маршевой турбиной и реактором;
генератор с изменяющейся мощностью в диапазоне 0÷600
Вт (13,56 МГц)
возможность изменения расстояния между электродом и
стенками камеры;
· контроллеры потока газов-реагентов (диапазоны
регулировки устанавливаются по согласованию с
заказчиком);
· химически-стойкий форвакуумный насос.·
водоохлаждаемый электрод для возбуждения емкост-ного
разряда с измерением температуры поверхности и
тепловыравниванием за счет организации гелиевой подушки·
возможность использования жидкого азота в
качествеохладителя (опция)
· емкостной вакуумметр для измерения давления внутри
реактора in situ во время процесса плазмохимического
травления· возможна установка интерферометра в качестве
опции
Лаборатория плазмохимической обработки
Лабораторный участок класса частоты 100 в технологическом
помещении общей площадью 180 кв.м
65
· 1 газовая линия с контроллером потока газа в корро-зионностойком исполнении с возможностью термоста-тирования
либо подачи сжиженных газов (BCl3 либо СCl4)
· 2 газовые линии с контроллерами потока газа в обычном
исполнении (Ar, He)
в качестве опции предлагаются 2 дополнительные линии
(N2O, в обычном исполнении, и СF4 в коррозионно-стойком)
· по желанию заказчика возможна корректировка состава
газовых линий в пределах указанного количества под иные
процессные газы и газовые смеси, а также установка в
качестве опции дополнительных газовых линий
· система управления установкой позволяет управлять в
автоматическом режиме системой откачки (в базовой
комплектации) и процессом травления (опция)
· загрузка/выгрузка образцов производится в ручном режиме
через фланец быстрой загрузки
Кластерная установка прецизионного плазмохимического
травления металлов
· химически-стойкий форвакуумный насос
· нагреваемый столик для обрабатываемых пластин с
температурой нагрева до 400оС и контролирующей
термопарой.
· водоохлаждаемый индуктивный источник ICP-плазмы,
предусматривающий установку интерферометра
· интерферометр (опция)
· емкостной вакуумметр для измерения давления внутри
реактора in situ во время процесса плазмохимического
травления металлов
· 1 газовая линия с контроллером потока газа в коррозионностойком исполнении (CF4)
· 3 газовые линии с контроллером потока газа в обычном
исполнении (SiH4, N2O, Ar)
· по желанию заказчика возможна корректировка состава
газовых линий в пределах указанного количества под иные
процессные газы и газовые смеси, а также установка в
качестве опции дополнительных газовых линий.
Установка плазмохимического травления
AMS200 SE IProductivity, ALCATEL,
Франция, 2007г.
7.
Лаборатория
технологии
наноматериалов:
Комплект изотропного
электрохимического
травления пористого
кремния AMMT PS,
AMMT, Германия,
2006г.
Установка плазмохимического травления AMS200
IProductivity для глубокого травления кремния занимает
технологическое помещение площадью 10 кв.м (локальная
зона класса чистоты 1000 в исследовательской лаборатории).
Скорость травления 5-10 мкм/мин, глубина травления 100200 мкм, вертикальность травления 90о±0,5о.
Лаборатория технологии наноматериалов
Технологическое помещение общей площадью 50 кв.м.
класса чистоты 1000.
Комплект изотропного электрохимического травления
пористого кремния AMMT PS.Анодное формирование
люминесцентных слоев пористого кремния. Катодное
осаждение тонких металлических слоев, формирование
элементов металлизации современных УБИС.
66
8.
Установка осаждения из
газовой фазы
нитевидных
нанокристал-лов и
нанотрубок, EasyTube
2000, First Nano, США,
2007
Лаборатория
термических
процессов
изготовление СБИС:
4-х канальная печь
SVFUR-AH4-1,
компания SVCS, Чехия,
2007г.
4-х канальная печь
SVFUR-AH4-2,
компания SVCS, Чехия,
2007г.
4-х канальная установка
хим. осаждения из
газовой фазы при
пониженном давлении
SVFUR. Компании
SVCS, Чехия, 2007г.
9.
Лаборатория
фотолитографии
Установка контактной
фотолитографии MA15DE BSA, Canada
Analytical & Process
Technologies, 2007
Установка нанесения
фоторезиста GAMMA
Установка осаждения из газовой фазы нитевидных
нанокристаллов и нанотрубок, EasyTube 2000 для проведения
процессов по исследованию и получению нанообъектов.
Осаждение из твердого, жидкого и газообразного источников
углеродных наноструктур (фуллерены, нанотрубки), металлоксидных нанокристаллов и других перспективных
материалов наноэлектроники.
Лаборатория термических процессов изготовление СБИС:
Лабораторный участок класса частоты 100 в технологическом
помещении общей площадью 180 кв.м
Комплекс для хим. осаждения из газовой фазы при
пониженном давлении и отжига SVFUR для формирования
функциональных слоев структур наноэлектроники:
• стандартный промышленный компьютер управления TERM10B с встроенным дисплеем и мембранной клавиатурой;
• устройство для регулирования температуры SVTherm;
• устройство интерфейса SV-GIB (gas interface board) с
независимой аппаратной защитной блокировкой;
• выборочная ручная панель управления;
• операторский интерфейс (визуализация);
• супервизор SEZCON;
• надстройка для включения супервизора в систему
управления производством.
- управление расходом газов;
- управление вакуумной системой (только у LPCVD);
- коммуникация с посторонним регулятором температуры;
- коммуникация с автоматическим загрузочным устройством
(супервизором) ;
- устойчивость регуляции < 0.1 ÷ 0.2°C;
- заброс температуры при разгоне < 0.5°C.
Лаборатория фотолитографии
Лабораторный участок класса частоты 100 в технологическом помещении общей площадью 180 кв.м
Установка контактной фотолитографии MA-15DE BSA для
получения рисунка с геометрическими размерами до 40нм.
- Экспонирование высокого разрешения – до 0,5 микрон
 Размер обработки пластин и подложек - до 100 мм
диаметром (пластины) и до 100х100 мм (подложки).
 Специальные держатели для кусков пластин, А3-Б5,
толстых подложек, гибридных схем и ВЧ
 Высокоточная юстировка на плоскости и манипулятора
микроскопа
 Возможность конфигураций оптики интенсивной УФ и
экспозиций с длиной волны до 80 мВт/см2
 Минимальные затраты на обучение операторов установки
 Продуманная эргономика
 Графический интерфейс пользователя управляет функциями
установки со специального экрана, чувствительного к
нажатиям
 Легкий доступ ко всем элементам установки
 При необходимости устанавливается лазерное
оборудование
Установки нанесения фоторезиста GAMMA 4M2S и
проявления фоторезиста GAMMA 4M – автомати-зированные
67
4M2S, Canada Analytical
& Process Technologies,
2007
Установка проявления
фоторезиста GAMMA
4M, Canada Analytical &
Process Technologies,
2007
Установка соединения
пластин и подложек
Suss Microtech Substrate
bonder SB6, SUSS
MicroTec Inc., 2007г.
системы для НИОКР и пилотных производств:
 Компактная кластерная архитектура с роботом,
расположенным по центру и модулями процессов,
расположенными вокруг него.
 До трех наносящих/проявляющих модулей
 До трех температурных стеков, в каждом из которых до
шести нагревающихся/охлаждающихся пластины
 Модуль AltaSpray для нанесения по сложной топографии
 Кассета Auto-Sizing с зеромеханическим измене-нием
крепления между размерами подложек
 Круглые подложки от 2 дюймов до 200 мм и квадратные от
2 до 6 дюймов
 Параллельная потоковая функциональность даже с разными
размерами подложек для оптимального использования
мощностей системы
 Технология GYRSET – вращающийся купол для
равномерного нанесения по высокой топографии
 Покрытие квадратных подложек без сбора резиста по углам
 Очистка края
 Нанесение резиста струйным способом и спреем для
высокой равномерности распределения
Полностью укомплектована интерфейсом SECSII/GEM
Установка прецизионного двухстороннего совмещения и
экспонирования для подложек диаметром до 150 мм. Кроме
стандартной литографии с верхней и нижней сторон и
возможности прецизионного совмещения пластин для их
скрепления, установки могут применяться в области
нанотехнологий, например, для переноса рисунка со штампа
на подложку для микроконтактной печати и литографии для
получения нанооттисков. Все методы экспонирования
стандартны, включая режимы мягкого, жесткого
экспонирования, вакуумный контакт и экспонирования с
микрозазором. Для режимов вакуумный контакт и
экспонирования с микрозазором не требуется специальных
приспособлений
Прецизионная точность совмещения (до 1 мкм)
Уникальная система клиновой компенсации на воздушных
подшипниках
Верхний микроскоп с раздельной областью наблюдения с
матрицей
объективов либо с одиночным объективом
Совмещение по нижней стороне с помощью двух CCDкамер и монитора с высоким разрешением
Стандартное совмещение по верхней стороне с помощью
CCD-камер
Стандартные объективы для верхнего и нижнего
микроскопов (от х3.6 до х20)
- Оптическое с овмещение пластины с шаблоном
68
10. Лаборатория контроля
параметров
функциональных
слоев
Оптический микроскоп
Vistec INM200 UV
высокого разрешения,
Leica Microsystems
GmbH, Германия, 2007г.
Лаборатория контроля параметров функциональных
слоев
Технологическое помещение класса частоты 100 общей
площадью 25 кв.м.
Оптический микроскоп Vistec INM200 UV высокого
разрешения для визуального контроля функциональ-ных
слоев.
1. Индивидуальное эргономическое позициониро-вание по
высоте ручек настройки на резкость и управление столиком.
2. Полная симметрия ручек управления столиком и наводки
на
резкость,
что
способствует
симмет-ричному
расположению рук исследователя и дает возможность
управления всеми функциями одной рукой.
3. Быстрая смена стороны управления столиком (правого на
левый и наоборот)
4. Ультратвердая керамическая поверхность столика,
устойчивая к действию химических реактивов и абразивов.
5. Новый АББЕ-конденсор с кодированной апертурной
диафрагмой.
6. Объективы со сбалансированным светопропус-канием, не
требующие изменения освещенности при их смене.
Лаборатория
проектирования
СБИС
Высокопроизводительна
я вычислительная
техника, аппаратная
платформа современных
средств САПР.
Вычислительные
мощности на основе
сервера Sun V890.
Sun Microsystem, США,
2007.
Лаборатория проектирования СБИС
Учебно-лабораторное помещение общей площадью 180 кв.м,
более 70- рабочих мест.
Мощнейший, в своем классе, вычислительный кластер для
сверхресурсоемких приложений компа-ний Cadence, Agilent и
Synopsys. Sun V890 представ-ляет собой 16-ти процессорный
сервер с 32-мя Гб оперативной памяти и распределенной
дисковой системой с возможностью резервирования и
горячей замены носителей. Благодаря использованию этого
инструментария повышается эффективность и сни-жаются
сроки и риски разработки, за счет ускорен-ного проведения
физической верификации, как наиболее требовательного к
вычислительным ресурсам этапа
Современная аппаратная платформа для ресурсоемкого
программного обеспечения компаний Cadence, Agilent и
Synopsys. HP Proliant 350 представляет собой 2-х
процессорный 8-ми ядерный
(3ГГц) сервер с оперативной памятью 16Гбайт и
высокоскоростной дисковой подсистемой. Благодаря
использованию этого инструментария повышается
эффективность и снижаются сроки разработки, за счет
проведения высокоскоростных вычислительных операций и
итераций процесса проектирования.
Проектирование систем на кристалле и систем в корпусе с
топологическими нормами до 45 нм. Компания Cadence
является лидером на рынке САПР микроэлектронных
изделий. Методологиями проек-тирования компании Сadence
пользуютя ведущие производители микроэлектронных
изделий (Intel, IBM, FreeSacle и т.д.). Сотрудничество
организации участника конкурса с компанией Cadence
способст-вует лицензионному доступу к новейшим
технологиям и методологиям проектирования, включая
11.
Вычислительные
мощности на основе
сервера HP Proliant 350.
HP, США, 2007.
Вычислительная
техника компании HP
50 рабочих станций на
основе Intel Xeon 3 ГГц,
HP, США, 2007.
ПО САПР ведущих
компаний в области
автоматизации
проектирования ИС
САПР Cadence
САПР Synopsys
САПР Mentor Graphics
Программный комплекс
экстракции параметров
69
п/п приборов Agilent
85190L (Agilent Tech,.
США, 2007)
12.
Лаборатория
автоматизированного
функционального и
параметрического
контроля СБИС
Установка тестирования
микросхем Ultra Flex
Teradyne, Teradyne, Inc.,
2007г.
Современный
многоцелевой
автоматизированный
комплекс по
электрофизической
верификации и
методоло-гию параметризации и энергетической
оптимизации цифровых компонентов. Сотрудничество
организации участника конкурса с компанией Cadence
способствует лицензионному доступу к новейшим
технологиям и методологиям проектирования.
Приборно - технологическое моделирование изделий микро и наноэлектроники, Проектирование систем на кристалле и
систем в корпусе. Построение моделей работы
полупроводниковых структур библиотечных элементов с
учетом распределения концентраций примеси, распределения
потоков подвижных носителей в интегральной
полупроводниковой структуре и с использованием наиболее
современных методов численного моделирования
повышенной точности.
Проектирование систем на кристалле и систем в корпусе,
проектирование печатных плат. Физическая верификация с
допусками до 45 нм.
Автоматизированная экстракция параметров
полупроводниковых приборов с технологическими нормами
до 45нм. Комплекс обеспечивает высокую
производительность обработки большого количества
статических характеристик полупроводниковых приборов и
позволяет обеспечить определение параметров создаваемой
наноэлектронной элемент-ной базы со сверхмалым
энергопотреблением.
Лаборатория автоматизированного функционального и
параметрического контроля СБИС
Учебно-лабораторное помещение общей площадью 150 кв.м,
более 30 рабочих мест.
FLEX – новое поколение тестеров, расширяющее
возможности великолепно зарекомендовавших себя на рынке
систем Integra (J750). Оригинальная архитектура систем
позволяет подключать к любому выводу тестируемой
микросхемы все имеющиеся инструменты: цифровой вводвывод, источники сигналов постоянного и переменного тока,
блоки питания, модули параметрического контроля, генераторы, формирователи и измерители временных параметров.
FLEX удовлетворяет требованиям по тестированию
практически всех существующих устройств, от обычной
цифровой логики и операционных усилителей до
сложнейших современных БИС, включая System-On-Chip
(SOC) до System In Package (SIP). Тестеры FLEX с успехом
могут использоваться как для готовых микросхем при
входном/выходном контроле, так и для проверки
полупроводниковых пластин. Время тестирования полностью
ограничено скоростью работы тестируемых микросхем, а не
возможностями тестера.
Служит для электрического соединения полупроводниковых
кристаллов со структурами библиотечных элементов на
основе МОП структур в составе пластин с прибором для
измерения вольтамперных характеристик разрабатываемых
полупроводниковых приборов. Широко распростра-ненное
средство для надежного контактирования с проводящими
70
функциональному
контролю изделий
микро- и
наноэлектроники.
Высокочастотная
полуавтоматическая
зондовая установка
Cascade Microtech
Summit 11500. до
40ГГц., США, 2007г.
Осциллограф TDS6124С Tektronix., США,
2007г.
Прибор наблюдения
характеристик
полупроводни-ковых
приборов фирмы Agilent
Tech B1500, США,
2007г.
Модульный генератор
сигналов Tektronix DTG
5274
В составе комплекса
входят более 100
позиций приборов
следующего класса:
 Универсальный
2каналь-ный генератор
стандартных сигна-лов
фирмы
Tektronix
AWG5012, США, 2007г.
 Модульный генератор
микроплощадками в составе микроэлектронных схем.
Обеспечивает измерения в широком частотном диапазоне с
минимальными вносимыми измерительными погрешностями
и помехами, позволяет проводить температурные измерения
Диапазон частот: до 40ГГц
Диаметр пластин: до 200мм
Наличие вакуумной камеры
Диапазон температур термокамеры: 0 до 200 *С
Полуавтоматический и ручной режим работы
Выкатываемая платформа для удобного и простой загрузки
пластин
Программное обеспечение для калибровки WinCal 2006
вместе с новым калибровочным комплектом eLRRM и
компенсации индуктивностей повышают точность измерений
Калибровка относительно NIST
Полная совместимость с оборудованием Agilent
Модернизируемость до 325ГГц
Модернизируемость оборудования - система может быть
модернизирована на месте с помощью МикроКамеры,
термоплатформы и такими системами, как AttoGuard, 8"
chuck & PureLine.
Визуализация, электрические и временные измерения
параметров изделий микро- и наноэлектроникик.
Осциллограф имеет характеристики:
Полоса пропускания 12 ГГц; 4 канала;
 Цветной или монохромный ЖК-дисплей;
 Меню автоустановки с выбором типа сигнала;
Функция «мастер настройки щупов» для проверки
согласования импеданса и коэф. деления пробников;
 Контекстно-зависимая подсказка на экране;
 Двойная горизонтальная развертка;
 Расширенная синхронизация;
 25 автоизмерений;
 Запоминание осциллограмм и установок.
Служит для измерения вольтамперных и вольтфа-радных
характеристик разрабатываемых интеграль-ных
библиотечных элементов на основе МОП структур,
расположенных как в составе кристаллов на пластине, так и в
виде отдельно смонтированных в корпус образцов. Прибор
обеспечивает высокую надежность и высокую степень
автоматизации измерения статических характеристик
полупровод-никовых приборов, с сохранением уровня
точности.
На базе стандартного контрольно-измерительного
оборудования построен учебно-исследовательский
контрольно-измерительный комплекс, предназна-ченный для
проведения лабораторных практикумов, НИР и НИОКР в
облясти физики полупроводниковых
приборов, микро- и наноэлектронике и методам измерений в
микро- и наноэлектроники. Комплекс представляет собой
систему современного контрольно-измерительного
оборудования компаний Tektronix и Agilent, состоит из
осциллографов смешанного сигнала, различных генераторов,
71




13.
им-пульсов и цифровых
после-довательностей со
встроен-ным ПК на базе
WINDOWS
фирмы
Tektronix
DTG5274,
США, 2007г.
Логический
анализатор
на
134
канала фирмы Tektronix
TLA5204, США, 2007г.
Осциллограф
4канальный
циф-ровой
запоминающий
с
аналоговой
полосой
пропус-кания не менее 4
ГГц на всех каналах
одновременно
фирмы
Tektronix
MSO4000
США, 2007г.
Высокочастотный
измеритель LCR на
частотах до 30 МГц
фирмы Agilent Tech.
4285A, США, 2007г.
Источник
питания
постоян-ного
тока
фирмы Agilent Tech.
N6000 США, 2007г.
Цифровой мультиметр
фирмы Agilent Tech.
Нановольтметр/микроо
мметр, 7.5 digit,
Центр эксплуатации и
технической
диагностики
специализированных
инженерных
комплексов:
Газоизмерительный
комплекс “Система
мониторинга токсичных
газов SATELLITE”,
HoneyWell, США,
2007г.
Климатический
комплекс
Нагреватель
деионизированной воды
Lufran250W SCR,
Process Technology,
США, 2007
мультиметров и источников питания чув100пВ/100нОм.
фирмы Agilent Tech. 34420A,США, 2007
Центр эксплуатации и технической диагностики
специализированных инженерных комплексов
Зона класса частоты 100 в технологическом помещении
общей площадью 180 кв.м
Газоизмерительный комплекс “Система мониторинга
токсичных газов SATELLITE” представляет собой
интеллектуальный передатчик параметров детектирования
газов, который использует уникальный электрохимический
сенсор для обнаружения токсичных, коррозионных и
горючих газов. Прибор Satellite является расположенным на
"месте использования" монитором, который обычно
установлен на или вблизи места потенциального источника
газа. Широкий диапазон датчиков для обнаружения
токсичных, коррозионно опасных и горючих газов.
Постоянный мониторинг в режиме реального времени.
VRV и VRF системы кондиционирования представ-ляют
собой совокупность агрегатов, обеспечиваю-щих
кондиционирование и вентиляцию крупных зданий (в том
числе многоэтажных), имеющих большую площадь
остекленения и большое коли-чество помещений.
Электронный терморегулирующий вентиль непрерывно
регулирует расход хладагента в соответствии с изменениями
72
Система нейтрализации
выбросов CT-BW с
модулями TwinK3 и K4
Установка гидродинамической отмывки
пластин EVG320, EVG
Group, Австрия, 2007
нагрузки внутренних блоков. Таким образом, позволяет
поддерживать практически постоянную комфортную
темрера-туру воздуха. Применение специализированной
системы контроля гарантирует, что отклонение температуры
воздуха не привысит ±0,5С°.
 Не происходит аварийной остановки всего оборудования
 Объединение внутренних блоков в логические группы для
удобства управления
Задание режимов работы внутренних блоков — включение /
выключение; установка желаемой температуры в помещении;
разрешение / запрет управления блоком с автономного пульта
(отдельно на включение / выключение / установку требуемой
температуры); задание направления воздушного потока
(шесть положений) для низкой и высокой скорости
вентилятора
Оптимизация и подсчет затрат на электроэнергию с
возможностью задания дневного и ночного тарифов
Нагреватель деионизированной воды:
- единый модуль-колонна;
- температура - max 95c;
- потребляемая мощность 65kw;
- рабочее напряжение 480v;
- количество питающих фаз 3;
токовая нагрузка до 78А.
Система нейтрализации выбросов CT-BW с модулями
TwinK3 и K4
Подходит для всех CVD и многих процессов травления.
Каждый вход может быть сконфигури-рован для обеспечения
высокого уровня очистки ото всех перфторуглеродных газов,
вызывающих
глобальное потепление, фтора, ClF3. TPU может работать
со входными потоками до 280 ст. л/мин.
Очистка выбросов процессов травления. Обеспечивает
химическую переработку широчайшего диапазона газов от
галогенов и кислот до ClF3, NF3, SF6 и других галогенных
травителей до устойчивых инертных солей. Сдвоенная
газовая реакционная колонна D150 обеспечивает работу
с двумя сменными модулями, минимизируя, таким образом,
эксплуатационные затраты за счет возможности непрерывной
работы
Установка гидродинамической отмывки полупро-водниковых
пластин EVG320 предназначена для мойки струей воды,
смешанной с воздухом, и сушки пластин после резки ее на
кристаллы.
В установке используется способ струйной
гидродинамической очистки, заключающийся в подаче на
очищаемую поверхность водяной струи,
смешанной со сжатым воздухом. Имеются три режима
работы установки: мойка; сушка; автоматический –
мойка+сушка.
В качестве моющего раствора используется деиони-зованная
вода. Сушка производится в струе очищенного подогретого
сжатого воздуха или инертного газа за счет центробежного
эффекта с раскручиванием пластины до 3000 об/мин. В
73
14.
Мультимедийные
лекционные
аудитории
(9 аудиторий)
15.
Мультимедийный
конференц-зал
зависи-мости от режима работы управляющий контроллер
выдаёт аналоговое задание скорости вращения центрифуги, а
также обеспечивает заданные скорость и ускорение.
Программируемый режим перемещения сопла высокого
давления позволяет осуществлять качест-венную очистку
широкого диапазона типоразмеров кристаллов. Движение
сопла может проходить по трём разным траекториям – по
радиусу, по диаметру и смешанный.
Для исключения аварийных ситуаций и повреждения
отмываемых пластин управляющий контроллер отслеживает
наличие в системе воды, вакуума и воздуха.
Лекционные аудитории на 1400 посадочных мест общей
площадью 370 кв.м с уникальными мультимедийными
комплексами обратной проекции Медиавизор Mobile Touch
от 67” до 134” , имеющие системы звукоусиления,
подключенные к Интернет, кабельному и IP-телевидению
Аудитория для совещаний, оснащенная мультиме-дийной и
вычислительной техникой, системой звукоусиления,
комплексом видеоконференцсвязи Polycom 7000
74
3.9. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным
образовательным
учреждением
высшего
профессионального образования «Томский государственный университет
систем управления и радиоэлектроники» (ТУСУР) для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в
области производства конкурентоспособной продукции наноэлектроники на
основе наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ
диапазона длин волн и дискретных полупроводниковых приборов.
По заказу: ООО «Субмикроннные технологии», ЗАО «НПФ «Микран», ID 481.
Основные характеристики программы
Программа начинается во втором полугодии 2010 года и завершится до конца года.
Формат обучения: дневная форма работы, 1 день в неделю, вечерние занятия – 1 раз в
неделю, консультации – 2 раза в неделю, проведение двух интенсивных сессий на выезде
в г. Новосибирск (НГУ, ИФП СО РАН), г. Москва (МИЭТ (ТУ).
Слушателями программы являются работники компании (главным образом,
инженеры-технологи) и аспиранты ТУСУРа, которые в дальнейшем будут трудоустроены
в компании. Всего планируется переподготовить 15 человек, все выпускники будут
работать в компании.
Краткое описание содержания программы
Базовые подходы, положенные в основу программы:
- переподготовка кадров применительно к данной образовательной программе –
это решение задачи формирования у обучаемых нового инновационного
мировоззрения, новой технологической культуры и творческого подхода,
основывающиеся на получении и освоении новых технических знаний,
формировании умений и навыков;
- предусмотрен частичный отказ от классической схемы «академического»
образования с максимальной ориентацией на задачи проектных компаний
Томской области, реализующих инвестиционные проекты в области
производства конкурентоспособной продукции наноэлектроники на основе
наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ диапазона длин
волн (ООО «Субмикронные технологии», ЗАО «НПФ «Микран» и др.), и
целевую подготовку необходимых кадров для современного производства
наногетероструктур и СВЧ монолитных интегральных схем на их основе;
- важным представляется обеспечение междисциплинарного характера
образования специалистов в различных областях фундаментальной и
прикладной науки и техники, вовлечение в образовательный процесс
представителей различных областей знаний из научной, образовательной,
производственной и бизнес среды.
75
Структура образовательной программы предполагает реализацию двух основных
специализаций: "Технология СВЧ МИС" и "Проектирование СВЧ МИС". Программу
будут вести штатные преподаватели и привлекаемые специалисты: доктроров наук,
профессоров – 9, кандидатов наук, доцентов – 11, специалистов предприятий – 6,
иностранных специалистов – 6.
Участие проектной компании в разаработке и реализации программы
Компания принимает участие в разработке и реализации программы на всех этапах
выполнения проекта, основные формы – проведение рабочих совещаний, проведение
семинаров и участие в координационном совете.
Управление программой
Создан Совет программы в следующем составе:
№
Фамилия, имя, отчество
п/п
1.
Шурыгин Юрий Алексеевич, председатель
2.
Шелупанов Александр Александрович, зам.
председателя
3.
Малютин Николай Дмитриевич, координатор
проекта
4.
Кагадей Валерий Алексеевич
5.
Плутенко Андрей Долиевич
6.
7.
Бабак Леонид Иванович
Гюнтер Виктор Яковлевич
8.
Гаврилов Сергей Александрович
9.
10.
Толбанов Олег Петрович
Троян Павел Ефимович
Организация
ТУСУР, ректор
ТУСУ, проректор по НРР
ТУСУР, директор НОЦ
ООО «Субмикронные
технологии, директор
ГК «Роснанотех», куратор
проекта
ТУСУР, доцент
ЗАО «НПФ «Микран», ген.
директор
МИЭТ (ТУ), проректор по
НР
ТГУ, профессор
ТУСУР, профессор, зав.
каф. ФЭ
Используемое оборудование
№
п/п
1
1
Наименование
учебных аудиторий,
лабораторного и
технологического
оборудования
2
Научнообразовательный
центр по направлению
Описание аудиторного фонда, лабораторного и технологического
оборудования
3
НОЦ НТ размещен по адресу г. Томск, ул. Вершинина, 76/1.
Общая площадь 300 кв. м. Состав НОЦ НТ:
1.
Участок электронной литографии на базе электронного
76
«Нанотехнологии»
ТУСУРа (НОЦ НТ)
микроскопа серии Zeiss Supra 55 с блоком для электроннолучевого экспонирования Raith 150, обеспечивающего разрешение
до 20 нм и позволяющего проводить исследования и реализовать
технологию электронной литографии наногетероструктурных
материалов и элементов монолитных интегральных схем СВЧ и
миллиметрового диапазонов.
2.
Дизайн-центр
и
участок
измерения
параметров,
содержащий следующее основное оборудование и программное
обеспечение: стенд для выполнения СВЧ измерений мощности и
коэффициента шума монолитных интегральных схем на
подложках в импульсном и режиме и в диапазоне частот до
50 ГГц на основе зондовой станции Cascade для характеризации
параметров наногетероструктурных транзисторов и интегральных
схем; программное обеспечение – профессиональная версия
Microwave Office, интеллектуальная среда проектирования
радиоэлектронных устройств «Intelligent Design System» (гос.
регистрация программы для ЭВМ № 2008612128 от 29 апреля
2008 года), позволяющее проводить моделирование и
проектирование монолитных интегральных схем в диапазоне
частот до 40 ГГц с последующей отработкой ПО под имеющиеся
технологии.
3.
Участок инженерного обеспечения чистых помещений.
Основное оборудование НОЦ:
3.1. Электронный микроскоп серии Zeiss Supra 55 с блоком для
электронно-лучевого экспонирования Raith 150
Разрешение на менее 20 нм; термоэмиссионный автоэмиссионный
катод типа Schottky; свободный от кросоверов пучок с высокой
плотностью тока; цифровая электронная оптика с энергией пучка
100 eV - 30 keV.
3.2.
Ввакуумная камера со смотровым окном; безмасляная
система откачки (безмасляный спиральный насос со скоростью
откачки не менее 30 м3/час и криогенный насос со скоростью
откачки по азоту не менее 2500 л/с); расположенный по центру
камеры электронный луч TFI TELEMARK; съемный
вращающийся нагреватель на 6 тиглей.
3.3. Установка отмывки пластин OPTIwet SB30.
Возможность обработки пластин до Ø 300 мм и образцов до
225x225 мм; 2 роботизированные руки с программируемой
скоростью передвижения и положением.
3.4. Установка нанесения ФР OPTIspin SB20
Система центрифугирования для нанесения резистов с
универсальной рабочей емкостью с анти-брызговым кольцом;
скорость: от 1 до 10 000обр/мин с шагом 1обр/мин.
3.5. Установка допроявления ФР YES-G500
Отображение параметров обработки в реальном времени.
ВЧ генератор мощностью 40 кГц 100-500 Вт с перестройкой
частоты для оптимизации согласования нагрузки; датчик давления
на 0.001-1000 тор; вместимость - 1 пластина: 50, 75, 100, 125, 150
или 200 мм.
3.6. Микроскоп Vistec (Leica) INM100 UV
Контроль пластин и фотошаблонов в видимом и УФ диапазонах
излучения; микроскоп оснащен цветной цифровой камерой;
оснащен объективами с увеличением 5х, 10х,50х и 100х, а также
УФ объективом с увеличением 150х; оснащение программным
обеспечением для измерения линейных размеров элементов,
77
обработки и сохранения изображений.
Центр коллективного
пользования (ЦПК) по
диагностике
наноструктур
методами электронной
и молекулярной
спектроскопии на базе
кафедры «Физическая
электроника.
Микроскоп Электронный ТМ-1000.
Растровый микроскоп «Hitachi TM-1000», программный комплекс
«Hitachi TM-1000». Снимки поверхности образца с разрешением
до 100 нм с возможностью указания на снимке точных размеров
интересующих областей. Ускоряющее напряжение: 15 кВ.
Степень увеличения: от 20 до 10000 (настройка степени
увеличения
изображения
в
52
этапа).
Максимальная
просматриваемая область: 3,5х3,5 мм. Степень разрежения в
электронной пушке: свыше 0,05 Па. Степень разрежения в камере
для образца: 0,05 Па, 50 Па. Размеры образца: диаметр 70 мм,
толщина не более 20 мм.
Рамановский спектрометр AVA-Raman-532 TEC.
Рамановский спектрометр AvaRaman-532ТЕС, программный
комплекс AvaSoft-Raman. Рамановский спектрометр предназначен
для снятия спектров комбинационного рассеяния, локального
качественного и количественного анализа микро- и нанообъектов,
исследования спектров фотолюминесценции, определения
размеров наночастиц, определения структуры молекул.
Спектрометр USB 2000, программный комплекс «OOIBase32».
Возможность контроля оптических параметров материалов и
толщин пленочных структур на любом этапе производства
микроэлектронных и оптических компонентов. Соотношение
сигнал/шум: 250:1 (при полной мощности сигнала); спектральный
диапазон: 200-1100 нм.
Фурье-Спектрометр «Инфралюм ФТ-801», программный
комплекс «ExpertPro801» с приставкой зеркального и
диффузионного отражения.
Спектрометр предназначен для спектрального анализа в ближней
и средней ИК области, для получения спектров пропускания и
поглощения твердых, жидких и порошкообразных веществ с их
последующей идентификацией, а так же для качественного и
количественного анализа смесей, содержащих несколько
компонентов. Рабочий спектральный диапазон: 550-5500 см-1,
отношение сигнал/шум: 10000:1.
78