Система для проведения гальванических процессов золочения

advertisement
Система для проведения гальванических процессов золочения типа MGPL4000P , меднения и никелирования типа MCUNIPL 3000P в микроэлектронном
производстве типа (далее Оборудование) – 1 комплект.
Отличительные особенности:
Должны быть изготовлена из особо чистых материалов
Корпус должен быть из полипропилена
Одновременное покрытие 10 подложек из поликора 60х48 в специальных держателях
при толщинах 0,25 0,5 и 1 мм
Наличие датчиков протечки и датчиков в вентсистеме
Все системы управления должны быть в верхней части линии
Управление должно быть при помощи PLC контроллера
Наличие сенсорного экрана
Наличие защиты от перегрева
Наличие защиты сливной системы от перегрева
Наличие системы сушки типа SRD c кассетами под подложки 60х48
Ванны промывки должны работать по принципу QDR быстрая промывка и
опорожнение
В ваннах промывки предусмотреть датчики контроля сопротивления воды
В каждой установке должны быть «пистолеты» с подачей аргона и деионизованной
воды
Технические характеристики линии золочения типа : MGPL-4000P
Габариты (ДхШхВ)
Вытяжка
Наличие ванны подготовки
Наличие ванны
гальванического золочения
Наличие ванн улавливания
Наличие ванн интенсивной
промывки
Наличие крышек на каждой
ванне
Размер ванны интенсивной
промывки
Размер ванны подготовки
Размер ванны золочения
Объем ванны золочения
Не
более
Не
более
Не
менее
Не
менее
Не
менее
Не
менее
Не
менее
Не
более
Не
менее
Не
менее
Не
более
2120x 1350x 1900H мм
Нижнее подсоединение с
демпфером
1
1
3
2
да
200х520х300
200х200 мм
240х630х300 ( внешний)
160х520х280
( внутренний)
23 л
Требуемая комплектация Оборудования (состав 1 комплекта):
В-1 - Ванна предварительной подготовки
Химикаты смесь H2SO4 c деионизованной водой
Рабочая температура комнатная
Материал полипропилен
Размер ванны 120x520x300H, 17л
Покачивание вверх-вниз
Сливной клапан- пневматический
Слив в 20 л емкость
крышка ручная
В-2 - Ванна интенсивной промывки
Деионизованная вода
Температура комнатная
Размер ванны 200х520х300
Материал натуральный полипропилен
Слив 1 клапан в кислые стоки
Слив самотеком
Датчик сопротивления 1 –опция
В-3 - Ванна гальванического золочения
Химикаты K[Au(CN)2], (NH4)HPO4, (NH4)2HPO4, TINO3, DI
Рабочая температура 70+/-2°C
Материал PVDF
Внешний размер ванны 240х630х300
Внутренний размер 160х520х280
Объем 23 л
Покачивание вверх вниз
Сливной кран – пневматический
Слив в 20 л емкость
Крышка автоматическая
Источник питания 1 15 В 1,6 А
Циркуляция PVDF Магнитный насос
Расходомер
Фильтр 10” PVDF
В-4 - Ванна улавливания
Деионизованная вода
Ручной кран для слива
Размер ванны 120х520х300Н
Объем 17 л
Рабочая температура комнатная
Материал натуральный полипропилен
Сливной кран пневматический
Слив в 20 л емкость
Крышка ручная с замком
В-5 - Ванна улавливания
Деионизованная вода
Ручной кран для слива
Размер ванны 120х520х300Н
Объем 17 л
Рабочая температура комнатная
Материал натуральный полипропилен
Сливной кран пневматический
Слив в 20 л емкость
Крышка ручная с замком
В-6 - Ванна улавливания
Деионизованная вода
Ручной кран для слива
Размер ванны 120х520х300Н
Объем 17 л
Рабочая температура комнатная
Материал натуральный полипропилен
Сливной кран пневматический
Слив в 20 л емкость
Крышка ручная с электрическим замком
В-7 промывка
Деионизованная вода
Комнатная температура
Размер ванны 200х520х300
Сливной клапан
Материал натуральный полипропилен
Слив самотеком
Датчик измерения сопротивления
Технические характеристики линии меднения и никелирования типа : CUNIPL3000P
Габариты (ДхШхВ)
Не
более
Вытяжка
Наличие ванны подготовки
Наличие ванны гальванического
меднения
Наличие ванны гальванического
никелирования
Количество подложек в кассете
одновременно
Наличие ванн интенсивной
промывки
Наличие крышек на каждой ванне
Размер ванны интенсивной
промывки
Размер ванны подготовки
Размер ванн меднения и
никелирования
Не
менее
Не
менее
1970x 1350x 1900H мм
Нижнее подсоединение с
демпфером
2
1
1
Не
менее
Не
менее
Не
более
Не
менее
Не
менее
10
2
да
200х520х300
200х200 мм
240х630х300 ( внешний)
160х520х280
( внутренний)
Комплектация ванн:
B-1:
Тип: ванна подготовки.
Химикат: смесь серной кислоты с деионизованной водой.
Рабочая температура: комнатная.
Размер: 120х520х300; объем 17 л.
Покачивание: вверх-вниз.
Сливной клапан: пневматический.
Слив: самотеком в 20 л емкость.
Крышка: ручная.
В-2:
Тип: гальваническое меднение.
Химикаты: of CuSO4, 5H2O, H2SO4, C4H6O6, DI.
Рабочая температура: комнатная.
Материал: PVDF.
Наружные размеры ванны: 240х630х300; объем 23 л.
Внутренние размеры ванны: 160х520х280.
Покачивание: вверх-вниз.
Слив: в 20л емкость.
Наполнение: автоматическое.
Выпрямитель: 1 шт, 20 В 4 А.
Циркуляция: PVDF .
Магнитный насос .
Расходомер.
Фильтр: 10” PVDF.
B-3:
Тип: быстрая промывка и опорожнение.
Деионизованная вода.
Размер ванны: 200х520х300.
Материал: натуральный полипропилен.
Сливной клапан: в кислые стоки.
Слив: самотеком.
1 датчик сопротивления .
B-4:
Тип: ванна подготовки.
Химикаты: H2SO4 +DI.
Рабочая температура: комнатная.
Материал: полипропилен.
Размер ванны 120x520x300H.
Объем: 17 л.
Качание: вверх вниз.
Слив: самотеком в 20 л емкость.
Крышка: ручная.
В-5:
Тип: гальваническое никелирование.
Химикаты: NiSO4, MgSO4, NaSO4, H3BO3.
Рабочая: температура комнатная.
Материал: PVDF.
Внешние размеры: 240x630x300H.
Внутренние размеры: 160x520x280H; объем 23 л.
Качание: вверх вниз.
Сливной кран: пневматический.
Слив: в 20 л емкость.
Крышка: автоматическая.
1 выпрямитель 20В 3,2 А
Циркуляция: PVDF
Магнитный насос
1 Расходомер
Фильтр 10” из PVDF
B-6:
Тип: быстрая промывка и опорожнение.
Деионизованная вода
Рабочая температура: комнатная.
Размер ванны: 200х520х300.
Материал: натуральный полипропилен.
Слив: самотеком.
Сопротивление воды: 1 опция.
Система сушки SRD: 1 комплект.
Скорость вращения центрифуги – до 2500 об/мин.
Давление деионизованной воды не менее 2,5 бар.
Подача азота – наличие.
Количество подложек для одновременной сушки- не менее 25.
Общие эксплуатационные и технические требования к поставляемому
технологическому оборудованию.
 Срок гарантии должен быть не менее 12 месяцев после ввода Оборудования в
эксплуатацию. Если производитель предоставляет гарантийный срок на оборудование
более 12 месяцев, Поставщик обязан предоставить гарантийное обслуживание на срок,
равный сроку производителя.
 Оборудование должно быть поставлено комплектно и обеспечивать
конструктивную и функциональную совместимость.
 Предлагаемое к поставке технологическое оборудование должно быть
сертифицировано на территории Российской Федерации и иметь соответствующие
сертификаты.
 Поставщиком должна быть представлена информация об энергопотреблении
данного оборудования, потреблении им воздуха, воды и т.д.
 Электропитание должно быть (если не указано иное):
 – однофазным, переменным напряжением 220В;
 – максимально допустимые отклонения напряжения +5/−10%;
 – частота 50 Гц.
 За 45 дней до момента поставки Поставщик должен представить Заказчику на
русском языке информацию о требованиях: к месту установки, электрической сети,
воздушной сети, водоснабжению и т.д., необходимых для монтажа и эксплуатации
оборудования.
 Поставщиком должны быть представлены данные о сроках восстановления
оборудования, вышедшего из строя в гарантийный срок.
 Поставщиком должна быть представлена информация о возможности
послегарантийного обслуживания оборудования.
 Поставщиком должна быть представлена информация о наличии документации,
необходимой для эксплуатации и обслуживания оборудования, а также инсталляции
программного обеспечения. Документация должна быть на русском языке.
 Поставщик должен обучить специалистов Заказчика работе на поставленном
оборудовании и его обслуживанию. Материалы заявки должны содержать информацию о
возможных вариантах обучения.
 Поставщиком должна быть представлена информация о доступности в России
используемых расходных материалах (их аналогах).
 Поставщиком должна быть представлена информация о наличии ЗИП на
поставляемое оборудование.
 Поставщиком должна быть предоставлена информация, идентифицирующая
производителя инструмента, оснастки с указанием артикулярных номеров производителя.
 Поставляемое оборудование должно быть новым, не бывшим в употреблении (в
эксплуатации, в консервации), не допускается поставка выставочных образцов,
несерийного оборудования, а также оборудования, собранного из восстановленных узлов
и агрегатов.
 Дата выпуска оборудования должна быть не ранее 2012 года.
Download