УВЕДОМЛЕНИЕ о проведении открытого запроса предложений (предложение делать оферты)

УВЕДОМЛЕНИЕ
о проведении открытого запроса предложений
(предложение делать оферты)
Запрос предложений
№ 9 от 06.02. 2011 г.
Уважаемые господа!
1.
Заказчик, являющийся Организатором открытого запроса цен — ОАО «Ижевский
электромеханический завод «Купол», расположенный по адресу: РФ, 426033, г. Ижевск,
ул.Песочная,3 (далее – Заказчик или Организатор) Уведомлением о проведении открытого
запроса предложений, опубликованным на официальном сайте ОАО «ИЭМЗ «Купол»
www.kupol.ru, объявляет о проведении процедуры и приглашает юридических лиц и
индивидуальных предпринимателей (далее — Поставщики) к участию в открытом запросе
предложений (далее – запрос предложений) на право заключении договора на поставку
оборудования для нужд ОАО «ИЭМЗ «Купол»:
Наименование и технические характеристики
Колво
1
Срок
поставки
8 месяцев
Разработка, изготовление и поставка одноместной
установки ионно-плазменной балансировки
чувствительного элемента
твердотельного волнового гироскопа
Разработка, изготовление и поставка трехместной
1
11 месяцев
Лот №2.
установки ионно-плазменной балансировки
чувствительного элемента
твердотельного волнового гироскопа
Разработка, изготовление и поставка установки
1
8 месяцев
Лот №3.
магнетронного напыления покрытий металлов на
внутреннюю поверхность чувствительного элемента
твердотельного волнового гироскопа
Условия поставки: Поставщик обязан поставить оборудование согласно требований
Технического задания (Приложение 2, 3, 4) Заказчику в течение указанного срока. При
заключении договора поставщику необходимо предоставить безотзывную банковскую
гарантию на сумму авансового платежа. В случае невозможности предоставления обеспечения
исполнения обязательств по договору – устанавливается следующий порядок расчетов: 40% авансовый платеж, 40% - по факту поставки оборудования на склад Покупателя, 20% - после
подписания сторонами Акта о вводе оборудования в промышленную эксплуатацию.
Место поставки: г. Ижевск, ул. Песочная, 3
Лот №1.
Основные требования
Качество поставляемой продукции должно соответствовать ГОСТ. Продукция должна
быть снабжена соответствующими сертификатами или другими документами на русском языке,
надлежащим образом подтверждающим качество и безопасность товара.
Структура цены
Все цены на поставляемую продукцию должны полностью включать в себя все налоги и
иные обязательные платежи, стоимость тары, стоимость всех затрат по доставке, стоимость всех
сопутствующих услуг, страховых сборов, таможенных пошлин, а также все скидки,
предлагаемые Поставщиком. Доставка должна производиться силами Поставщика и за его счет.
Стоимость доставки должна полностью включать в себя все расходы Поставщика по доставке
продукции на объект.
2. Начальная (предельная) стоимость запроса предложений: не определена.
3. Предложение должно быть подписано лицом, имеющим право в соответствии с
законодательством Российской Федерации действовать от лица Поставщика без доверенности,
или надлежащим образом, уполномоченным им лицом на основании доверенности (далее —
уполномоченного лица). Предложение также должно быть скреплено печатью Поставщика.
4. Поставщику необходимо предоставить следующие документы:

Копию свидетельства о постановке на учет в налоговом органе;

Свидетельства о внесении записи в единый государственный реестр юр. Лиц
(ОГРН);

Копии лицензий и сертификатов
деятельность лицензируется);
на
осуществление
деятельности
(если
 Анкету поставщика (Приложение №1).
5. Предложение должно быть подано на русском языке. Все цены должны быть
выражены в российских рублях.
6. Подача Поставщиками своих предложений осуществляется по E-mail:
konkurs@kupol.ru, «13» февраля 2012 г. Предложения, поданные позже указанного срока,
будут отклонены без рассмотрения по существу.
7. Не допускается подача предложений на отдельные позиции в лоте или часть объема
по какой-либо из позиций вышеуказанного задания на поставку продукции.
8. ОАО «ИЭМЗ «Купол» вправе принять предложение одного из Поставщиков
предложивших наиболее выгодные условия, а именно:
1) Условия оплаты (по уменьшению предпочтительности):
 Оплата по факту поставки на склад ОАО «ИЭМЗ «Купол»;
 Смешанная система оплаты, по предоплате.
2) Наименьшая цена предложения;
при условии соответствия самого предложения и предлагаемой продукции условиям
настоящего запроса.
9. В течение 7 календарных дней после принятия предложения одного из Поставщиков,
ОАО «ИЭМЗ «Купол» уведомит его об этом и может начать процедуру оформления Договора
поставки вышеуказанной продукции на условиях настоящего запроса и предложения данного
Поставщика.
10. Настоящий запрос предложений не является офертой или публичной офертой ОАО
«ИЭМЗ «Купол». Данная процедура запроса предложений не является процедурой проведения
конкурса. ОАО «ИЭМЗ «Купол» имеет право отказаться от всех полученных предложений по
любой причине или прекратить процедуру запроса предложений в любой момент, не неся при
этом никакой ответственности перед Поставщиками.
Приложение: форма Предложения (на 1 л.).С уважением,
Председатель конкурсной комиссии –
Заместитель генерального директора по экономике,
финансам и управлению
Ф.Г. Зиятдинов
Приложение
№1
к запросу цен от __________________ г. № ________
Анкета Поставщика
Для участия в запросе предложений от __________________ г. № _______
На поставку:
№ п/п
Наименование
1
Организационно-правовая форма и фирменное
наименование Поставщика
Свидетельство о внесении в Единый государственный
реестр юридических лиц (дата, номер, кем выдано)
ИНН Поставщика
Юридический адрес
Почтовый адрес
Филиалы: перечислить наименование и почтовые
адреса
Банковский реквизиты (наименование и адрес банка,
номер расчетного счета поставщика в банке,
телефоны банка, прочие банковские реквизиты)
Телефоны Поставщика (с указанием кода города)
Факсы Поставщика (с указанием кода города)
Адрес электронной почты поставщика
Фамилия, Имя и Отчество руководителя Поставщика,
имеющего право подписи согласно учредительным
документам Поставщика с указанием должности и
контактного телефона
Фамилия, Имя и Отчество ответственного за участие в
процедуре запроса цен лица Поставщика с указанием
должности, контактного телефона, факса, адреса
электронной почты
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
Сведения о поставщике
(заполняется поставщиком,
подающем прделожение)
______________________
________________________________________________________
(подпись, М.П.)
(фамилия, имя, отчество подписавшего, должность)



Инструкция по заполнению:
Поставщики должны заполнить приведенную выше таблицу по всем позициям. В случае
отсутствия каких-либо данных указать слово «нет»;
В графе 7 «Банковские реквизиты…» указываются реквизиты, которые будут
использованы при заключении договора;
Указанное в графе 12 «Фамилия, Имя, Отчество ответственного …» ответственно лицо и
его координаты будут использованы для уточнения полученных от Поставщика данных и
извещении о результатах проведения запроса предложений.
Приложение №2 ЛОТ №1
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
на выполнение научно-технической работы
Разработка, изготовление и поставка одноместной установки ионноплазменной балансировки чувствительного элемента
твердотельного волнового гироскопа
«КРАУДИОН-ИТ1-12/1»
1.
Назначение
1.1. Работа выполняется с целью разработки, изготовления и поставки Заказчику
опытно-экспериментальной одноместной установки «КРАУДИОН-ИТ1-12/1»
(далее
установки),
предназначенной
для
отработки
конструкции
балансировочного стенда и технологии ионно-плазменной балансировки
чувствительного элемента твердотельного волнового гироскопа (ЧЭ ТВГ).
1.2. Установка применяется при проведении работ по устранению дисбаланса
резонатора (величина допустимого дисбаланса составляет 10-8 г) для получения
номинальных размеров и геометрической формы детали при выполнении
требований приведенного чертежа ИВЦР.757846.001 (приложение №1 к ТЗ). На
установке выполняется динамическая балансировка (выравнивание собственных
частот резонатора независимо от угла возбуждения стоячей волны в резонаторе)
ЧЭ ТВГ. Балансировка резонатора проводится в вакуумной камере в среде
инертного газа ионным пучком. Возбуждение резонатора на собственную частоту,
съем информации резонатора, определение расположения избыточной массы
резонатора,
производится
блоком
управления
с
использованием
вычислительного устройства (требования к БУ в данном техническом задании не
рассматриваются).
1.3. Установка обеспечивает сокращение времени балансировки ЧЭ ТВГ и
увеличение производительности оборудования по сравнению с имеющимся у
Заказчика.
2. Конструктивные требования
Установка представляет собой рабочий стол, собранный на каркасе (раме) из с
промышленного алюминиевого профиля, с установленной на нем вакуумной
камерой. Установка не имеет отдельно стоящей стойки питания и управления:
вместо нее внутри рамы имеется отсек 19”, предназначенный для этой цели.
Управление установкой осуществляется при помощи сенсорной операторской
панели управления, закрепленной на поворотном кронштейне над рабочим
столом. Допускается размещение дополнительного блока для электроники на
рабочем столе.
3.
Функциональный состав
3.1.
В состав установки входят:
- безмасляный откачной пост с вакуумной камерой и рабочей секцией;
- ионный источник;
- устройство возбуждения и управления балансировкой резонатора
(предоставляет Заказчик);
- вычислительное устройство (предоставляет Заказчик);
- система питания и управления;
- система водяного охлаждения;
- система подготовки и распределения сжатого воздуха
3.2. Безмасляный откачной пост с вакуумной камерой и рабочей секцией
3.2.1. Откачной пост представляет собой полностью безмасляную систему
вакуумной откачки на основе турбомолекулярного насоса и сухого форвакуумного
насоса (роторного) необходимой производительности.
3.2.2. Вакуумная камера изготавливается из нержавеющей стали в форме
цилиндра, фланец которого жестко закреплен на поверхности стола установки.
Вакуумная камера имеет смотровое окно для визуального наблюдения.
3.2.3. Вакуумная камера имеет одну рабочую секцию. Внутри рабочей секции, на
ее границе и снаружи устанавливаются:
- приспособление для закрепления и балансировки детали ИВЦР.757846.001;
- датчики системы контроля температуры резонатора;
- два электрических вакуумных разъема по 16 контактов в каждом;
- ионный источник CIST-25/0.3;
- регулятор массового расхода подаваемого в вакуумную камеру рабочего газа с
газовой линейкой и отсечным электромагнитным вакуумным клапаном;
- двухдиапазонный датчик давления (Пирани/холодный катод).
3.2.4. Приспособление для закрепления и балансировки детали ИВЦР.757846.001
изготавливается с учетом имеющейся конструкторской документации Заказчика
или непосредственно по его чертежам. Для пошагового позиционирования ЧЭ ТВГ
при ионно-плазменной балансировке применяется шаговый двигатель,
располагающийся снаружи вакуумной камеры, для передачи вращения в вакуум
служит малоинерционный вакуумный ввод с магнитно-жидкостным уплотнением
(МЖУ).
3.2.5. Соединение вакуумной камеры с турбомолекулярным и сухим
форвакуумным
насосами
осуществляется
вакуумными
магистралями,
выполненными из нержавеющей стали. На магистралях устанавливаются
вакуумные клапаны с пневмоприводом, а также необходимые датчики вакуума.
3.2.6. На установке предусматривается напуск в вакуумную камеру при ее
разгерметизации воздуха или технологического газа (азот, при подключении
внешнего баллона Заказчика) через осушитель и фильтр микрочастиц (0,01 мкм)
до атмосферного давления, осуществляемый при помощи дополнительного
электромагнитного вакуумного клапана.
3.2.7. Температура внутри рабочей секции контролируется не менее, чем двумя
термоэлектрическими датчиками (термопарами), расположенными в зоне
обработки ионным пучком и в составе приспособления для балансировки ЧЭ ТВГ.
Термопары выводятся наружу через герметичный вакуумный разъем в нижнем
фланце вакуумной камеры.
3.3. Ионный источник CIST-25/0.3:
3.3.1. Применяется малогабаритный ионный источник CIST-25/0.3 с напуском
рабочего газа в разрядную щель. Ионный источник по принципу действия –
источник с холодным катодом (ускоритель с замкнутым дрейфом электронов).
3.3.2. Между источником ионов и обрабатываемым объектом располагается
диафрагма.
3.4. Устройство возбуждения и управления балансировкой резонатора и
вычислительное устройство предоставляет Заказчик; Исполнитель согласовывает с
Заказчиком их размещение и подключение к установке.
3.5. Система управления установки
3.5.1. Состав системы управления:
- система электропитания;
- система управления, регистрации и отображения информации на базе PLCконтроллера c необходимыми модулями ввода/вывода (дискретного, релейного,
аналогового);
- сенсорная операторская ЖК панель управления 15”;
- трехканальный контроллер вакуума (2 канала измерения низкого вакуума, 1
канал измерения низкого вакуума с переключением на диапазон высокого
вакуума);
- блок питания источника ионов;
- контроллер управления шаговым двигателем;
- 4-хканальный цифровой регистратор температуры
3.5.2. Система управления обеспечивает:
- автоматический режим вакуумной откачки;
- автоматический напуск рабочего газа и поддержание его постоянного расхода;
- стабилизацию параметров работы ионного источника (ток, напряжение)
- необходимые блокировки (защита от аварийных ситуаций и ошибочных
действий оператора);
- согласованный с Заказчиком протокол обмена командами управления для
взаимодействия с предоставляемыми Заказчиком устройством возбуждения и
управления балансировкой резонатора и вычислительным устройством, в том
числе для получения и исполнения сигнала о завершении процесса ионноплазменной балансировки.
3.6. Система водяного охлаждения
3.6.1. Состав системы водяного охлаждения:
- входная группа: шаровый кран и промывной фильтр с редуктором и
манометром;
- коллектор с электромагнитными клапанами;
- параллельные магистрали охлаждения (от коллектора), быстроразъемные
соединители; каждая магистраль охлаждения заканчивается настраиваемым реле
расхода воды;
- сливная панель («разрыв струи»).
3.7. Система подготовки и распределения сжатого воздуха
3.7.1. Представляет собой единый интегрированный модуль («пневмоостров») с
входным фильтром, клапаном плавной подачи воздуха и электромагнитными
клапанами, открывающими подачу сжатого воздуха к вакуумным клапанам с
пневмоприводом; управляется от PLC-контроллера системы управления установки
по шине передачи данных.
4.
Основные технические характеристики
4.1. Технические характеристики установки:
- максимальное давление внутри вакуумной камеры – 1.33×10-4 Па (1×10-6 Торр)
- время выхода откачного поста на режим - 30 мин.
- удаляемая масса материала с резонатора ионным источником - 1×10-6 ÷ 1×10-8 г.
4.2. Технические характеристики ионного источника и процесса ионной
обработки:
- рабочий газ – аргон;
- материал мишени/обрабатываемого объекта – стекло кварцевое
(ИВЦР.757846.001);
- расстояние ионный источник – мишень – 50÷100 мм;
- ускоряющее напряжение – 0.5÷2 кВ;
- рабочее давление – 10-3 ÷10-2 Па;
- максимальный ионный ток – не менее 10 мА;
- диаметр пучка – 5÷15 мм (рабочее сечение 4÷5 мм).
5.
Приемка работы
5.1. Приемка работы на соответствие техническим характеристикам
осуществляется в два этапа приемки:
1 этап приемки - на площадке Исполнителя в соответствии с программой и
методикой испытаний, согласованной с Заказчиком с оформлением протокола
испытаний.
2 этап приемки - на площадке Заказчика в соответствии с программой и
методикой испытаний, согласованной с Заказчиком.
5.2. По результатам выполнения работы составляется Акт выполнения пусконаладочных работ.
5.3. Исполнитель передает Заказчику в комплекте с установкой;
- паспорт на установку;
- техническое описание и инструкцию по эксплуатации установки;
- комплект электрических схем
Исполнитель также передает Заказчику паспорта и технические описания на
основные комплектующие изделия.
6.
Порядок изменения технического задания
6.1. Изменение и внесение дополнений в техническое задание осуществляется
в установленном порядке по согласованию сторон.
Стоимость оборудования должна быть по возможности наименьшей и включать в
себя стоимость всех необходимых опций, обучение персонала, таможенные и
транспортные расходы. Срок поставки не более 12 месяцев.
Приложение №3 ЛОТ №2
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
на выполнение научно-технической работы
Разработка, изготовление и поставка трехместной установки ионно-плазменной
балансировки чувствительного элемента
твердотельного волнового гироскопа
«КРАУДИОН-ИТ1-12/3»
1. Назначение
1.1. Работа выполняется с целью разработки, изготовления и поставки Заказчику
опытно-экспериментальной трехместной установки «КРАУДИОН-ИТ1-12/1» (далее
установки), предназначенной для отработки конструкции балансировочного
стенда и технологии ионно-плазменной балансировки чувствительного элемента
твердотельного волнового гироскопа (ЧЭ ТВГ).
1.2. Установка применяется при проведении работ по устранению дисбаланса
резонатора (величина допустимого дисбаланса составляет 10-8 г) для получения
номинальных размеров и геометрической формы детали при выполнении
требований приведенного чертежа ИВЦР.757846.001 (приложение №1 к ТЗ). На
установке выполняется динамическая балансировка (выравнивание собственных
частот резонатора независимо от угла возбуждения стоячей волны в резонаторе)
ЧЭ ТВГ. Балансировка резонатора проводится в вакуумной камере в среде
инертного газа ионным пучком. Возбуждение резонатора на собственную частоту,
съем информации резонатора, определение расположения избыточной массы
резонатора,
производится
блоком
управления
с
использованием
вычислительного устройства (требования к БУ в данном техническом задании не
рассматриваются).
1.3. Установка обеспечивает сокращение времени балансировки ЧЭ ТВГ и
увеличение производительности оборудования по сравнению с имеющимся у
Заказчика.
2. Конструктивные требования
Установка представляет собой рабочий стол, собранный на каркасе (раме) из с
промышленного алюминиевого профиля, с установленными на нем вакуумными
камерами. Установка комплектуется отдельно стоящей стойкой питания и
управления. Управление установкой осуществляется при помощи сенсорной
операторской панели управления, находящейся в стойке питания и управления.
3.Функциональный состав
3.1. В состав установки входят:
- безмасляный откачной пост с 3-мя вакуумными камерами
- ионные источники (3 штуки);
- устройство возбуждения и управления балансировкой резонатора (3 штуки,
предоставляет Заказчик);
- вычислительное устройство (3 штуки, предоставляет Заказчик);
- стойка питания и управления;
- система водяного охлаждения;
- система подготовки и распределения сжатого воздуха
3.2. Безмасляный откачной пост с 3-мя вакуумными камерами
3.2.1. Откачной пост представляет собой полностью безмасляную систему
вакуумной откачки на основе турбомолекулярного насоса и сухого форвакуумного
насоса (роторного) необходимой производительности.
3.2.2. Вакуумные камеры изготавливаются из нержавеющей стали в форме
цилиндра, фланец которого жестко закреплен на поверхности стола установки.
Каждая вакуумная камера имеет смотровое окно для визуального наблюдения.
3.2.3. Вакуумные камеры имеют возможность как совместной, так и независимой
вакуумной откачки и проведения процесса ионно-плазменной балансировки.
Внутри каждой вакуумной камеры, на ее границе и снаружи устанавливаются:
- приспособление для закрепления и балансировки детали ИВЦР.757846.001;
- датчики системы контроля температуры резонатора;
- два электрических вакуумных разъема по 16 контактов в каждом;
- ионный источник CIST-25/0.3;
- регулятор массового расхода подаваемого в вакуумную камеру рабочего газа с
газовой линейкой и отсечным электромагнитным вакуумным клапаном;
- двухдиапазонный датчик давления (Пирани/холодный катод).
3.2.4. Приспособление для закрепления и балансировки детали ИВЦР.757846.001
изготавливается с учетом имеющейся конструкторской документации Заказчика
или непосредственно по его чертежам. Для пошагового позиционирования ЧЭ ТВГ
при ионно-плазменной балансировке применяется шаговый двигатель,
располагающийся снаружи вакуумной камеры, для передачи вращения в вакуум
служит малоинерционный вакуумный ввод с магнитно-жидкостным уплотнением
(МЖУ).
3.2.5. Соединение вакуумных камер с турбомолекулярным и сухим форвакуумным
насосами осуществляется вакуумными магистралями, выполненными из
нержавеющей стали. На магистралях устанавливаются вакуумные клапаны с
пневмоприводом, а также необходимые датчики вакуума. Вакуумные камеры
могут откачиваться как совместно, так и независимо. Переход от независимой
откачки с совместной возможен в любой момент времени, кроме периода
выполнения техпроцесса ионно-плазменной балансировки в какой-либо из
вакуумных камер.
3.2.6. На установке предусматривается напуск в каждую вакуумную камеру при ее
разгерметизации воздуха или технологического газа (азот, при подключении
внешнего баллона Заказчика) через осушитель и фильтр микрочастиц (0,01 мкм)
до атмосферного давления, осуществляемый при помощи дополнительного
электромагнитного вакуумного клапана.
3.2.7. Температура внутри каждой вакуумной камеры контролируется не менее,
чем двумя термоэлектрическими датчиками (термопарами), расположенными в
зоне обработки ионным пучком и в составе приспособления для балансировки ЧЭ
ТВГ. Термопары выводятся наружу через герметичный вакуумный разъем в
нижнем фланце вакуумной камеры.
3.3. Ионный источник CIST-25/0.3:
3.3.1. Применяется малогабаритный ионный источник CIST-25/0.3 с напуском
рабочего газа в разрядную щель. Ионный источник по принципу действия –
источник с холодным катодом (ускоритель с замкнутым дрейфом электронов).
3.3.2. Между источником ионов и обрабатываемым объектом в каждой
вакуумной камере располагаются диафрагма.
3.4. Устройство возбуждения и управления балансировкой резонатора и
вычислительное устройство предоставляет Заказчик; Исполнитель согласовывает с
Заказчиком их размещение и подключение к установке.
3.5. Стойка питания и управления установки
3.5.1. Состав стойки питания и управления:
- система электропитания;
- система управления, регистрации и отображения информации на базе PLCконтроллера c необходимыми модулями ввода/вывода (дискретного, релейного,
аналогового);
- сенсорная операторская ЖК панель управления 15”;
- трехканальные контроллеры вакуума (2 канала измерения низкого вакуума, 1
канал измерения низкого вакуума с переключением на диапазон высокого
вакуума), 2 шт.;
- блоки питания источников ионов, 3 шт.;
- контроллеры управления шаговым двигателем, 3 шт.;
- 4-хканальные цифровые регистраторы температуры, не менее 2 шт..
3.5.2. Система управления обеспечивает:
- автоматический режим откачки вакуумных камер;
- автоматический напуск рабочего газа и поддержание его постоянного расхода в
каждой вакуумной камере;
- стабилизацию параметров работы ионных источников (ток, напряжение)
- необходимые блокировки (защита от аварийных ситуаций и ошибочных
действий оператора);
- согласованный с Заказчиком протокол обмена командами управления для
взаимодействия с предоставляемыми Заказчиком устройством возбуждения и
управления балансировкой резонатора и вычислительным устройством (для
каждой рабочей секции), в том числе для получения и исполнения сигнала о
завершении процесса ионно-плазменной балансировки.
3.6. Система водяного охлаждения
3.6.1. Состав системы водяного охлаждения:
- входная группа: шаровый кран и промывной фильтр с редуктором и
манометром;
- коллектор с электромагнитными клапанами;
- параллельные магистрали охлаждения (от коллектора), быстроразъемные
соединители; каждая магистраль охлаждения заканчивается настраиваемым реле
расхода воды;
- сливная панель («разрыв струи»).
3.7. Система подготовки и распределения сжатого воздуха
3.7.1. Представляет собой единый интегрированный модуль («пневмоостров») с
входным фильтром, клапаном плавной подачи воздуха и электромагнитными
клапанами, открывающими подачу сжатого воздуха к вакуумным клапанам с
пневмоприводом; управляется от PLC-контроллера системы управления установки
по шине передачи данных.
4 Основные технические характеристики
4.1. Технические характеристики установки:
- максимальное давление внутри вакуумных камер – 1.33×10-4 Па (1×10-6 Торр)
- время выхода откачного поста на режим - 30 мин.
- удаляемая масса материала с резонатора ионным источником - 1×10-6 ÷ 1×10-8 г.
4.2. Технические характеристики ионного источника и процесса ионной
обработки:
- рабочий газ – аргон;
- материал мишени/обрабатываемого объекта – стекло кварцевое
(ИВЦР.757846.001);
- расстояние ионный источник – мишень – 50÷100 мм;
- ускоряющее напряжение – 0.5÷2 кВ;
- рабочее давление – 10-3 ÷10-2 Па;
- максимальный ионный ток – не менее 10 мА;
- диаметр пучка – 5÷15 мм (рабочее сечение 4÷5 мм).
5 Приемка работы
Приемка работы на соответствие техническим характеристикам
осуществляется в два этапа приемки:
1 этап приемки - на площадке Исполнителя в соответствии с программой и
методикой испытаний, согласованной с Заказчиком с оформлением протокола
испытаний.
2 этап приемки - на площадке Заказчика в соответствии с программой и
методикой испытаний, согласованной с Заказчиком.
5.2 По результатам выполнения работы составляется двухсторонний Акт
выполнения пуско-наладочных работ.
5.3. Исполнитель передает Заказчику в комплекте с установкой;
- паспорт на установку;
- техническое описание и инструкцию по эксплуатации установки;
- комплект электрических схем
Исполнитель также передает Заказчику паспорта и технические описания на
основные комплектующие изделия
6 Порядок изменения технического задания
6.1Изменение и внесение дополнений в техническое задание осуществляется в
установленном порядке по согласованию сторон.
Стоимость оборудования должна быть по возможности наименьшей и включать в
себя стоимость всех необходимых опций, обучение персонала, таможенные и
транспортные расходы. Срок поставки не более 12 месяцев.
Приложение №4 ЛОТ №3
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
на выполнение научно-технической работы
Разработка, изготовление и поставка установки магнетронного напыления
покрытий металлов на внутреннюю поверхность чувствительного элемента
твердотельного волнового гироскопа
«КРАУДИОН-М1-12/2»
1. Назначение
1.1. Работа выполняется с целью разработки, изготовления и поставки Заказчику
опытно-экспериментальной установки «КРАУДИОН-М1-12/2» (далее установки),
предназначенной как для отработки технологии магнетронного напыления
покрытий металлов (In, Cr, Ni, …) на внутреннюю поверхность чувствительных
элементов твердотельных волновых гироскопов (ЧЭ ТВГ), так и для применения в
производстве небольших партий ЧЭ ТВГ.
2. Конструктивные требования
2.1. Установка представляет собой рабочий стол, собранный на каркасе (раме) из
промышленного алюминиевого профиля, с установленной на нем вакуумной
камерой. Установка комплектуется отдельно стоящей стойкой питания и
управления. Управление установкой осуществляется при помощи сенсорной
операторской панели управления, находящейся в стойке питания и управления.
3 Функциональный состав
3.1В состав установки входят:
- безмасляный откачной пост с вакуумной камерой;
- напылительный кластер;
- планетарная карусель;
- средства контроля;
- стойка питания и управления;
- система водяного охлаждения;
- система подготовки и распределения сжатого воздуха
3.2. Безмасляный откачной пост с вакуумной камерой
3.2.1. Откачной пост представляет собой полностью безмасляную систему
вакуумной откачки на основе турбомолекулярного насоса и сухого форвакуумного
насоса (роторного) необходимой производительности.
3.2.2. Вакуумная камера состоит из подъемного колпака и неподвижного нижнего
фланца и изготавливается из нержавеющей стали. Нижний фланец вакуумной
камеры жестко закреплен на поверхности рабочего стола установки. Вакуумная
камера имеет смотровое окно для визуального наблюдения.
3.2.3. Соединение вакуумной камеры с турбомолекулярным и сухим
форвакуумным
насосами
осуществляется
вакуумными
магистралями,
выполненными из нержавеющей стали. На магистралях устанавливаются
вакуумные клапаны и затвор с пневмоприводом, а также необходимые датчики
вакуума.
3.2.4. Для оптимизации процесса магнетронного напыления (расширения
диапазона рабочих давлений газа) в магистраль высоковакуумной откачки
встроена специальная заслонка с регулируемым положением ее закрытия и
быстродействующим электроприводом
3.2.5. На установке предусматривается напуск в вакуумную камеру при ее
разгерметизации воздуха или технологического газа (азот, при подключении
внешнего баллона Заказчика) через осушитель и фильтр микрочастиц (0,01 мкм)
до атмосферного давления, осуществляемый при помощи дополнительного
электромагнитного вакуумного клапана.
3.3. Напылительный кластер
3.3.1. Для напыления качественных покрытий металлов на установке применяется
напылительный кластер, состоящий из двух магнетронных распылительных
устройств (магнетронов) РМ1-60/1-02А-3D и источника ионов CIST-25/0.3-3D,
отличающийся реализованной в нем возможностью изменения индивидуальной
пространственной ориентации магнетронов для оптимизации условий напыления
покрытий на изделия со сложной геометрией поверхности (функция 3Dрегулирования).
3.3.2. Магнетроны РМ1-60/1-02А-3D
3.3.2.1. Конструктивное исполнение: водоохлаждаемый катодный узел с катодами
двух типов: из нержавеющей стали(1) и из меди(2), оба входят в комплект
поставки; модульная сбалансированная магнитная система на Sm-Co магнитах,
уплотнения – витон, экран и анод магнетрона из нержавеющей стали, изоляторы
– вакуумная керамика, фторопласт.
3.3.2.2. Размеры мишени магнетрона (диаметр×толщина) – Ø60×h1÷8 мм,
мощность магнетрона – 1.0 кВт, рабочее давление магнетрона - 110-3 7.510-2
мм рт. ст. (0.13÷10.0 Па); ток разряда магнетрона - 0.052.0 А; напряжение
разряда магнетрона - -400-650 В; коэффициент использования материала
мишени магнетрона – ≤40÷50%; толщина наносимых покрытий - 0.001÷1000.0
мкм; относительная неравномерность толщины слоев на подложках (40 мм) –
±5% (напыление на соосную неподвижную подложку).
3.3.2.3. Отличительной особенностью магнетрона РМ1-60/1-02А-3D является
распыление сполошных мишеней из ферромагнитных материалов, в частности,
никеля толщиной 5÷6 мм (применяется катод из нержавеющей стали).
3.3.2.4. Магнетроны имеют поворотное устройство для изменения угла наклона по
отношению к оси карусели, максимальный угол наклона 30÷45°.
3.3.2.5. Все коммуникации магнетронов (вода, высокое напряжение) находятся
внутри вакуумных металлических сильфонов, под атмосферным давлением.
3.3.2.6. Каждый магнетрон снабжен индивидуальной лепестковой поворотной
заслонкой, отслеживающей смещение и наклон магнетрона. Заслонка
управляется от быстродействующего пневмопривода.
3.3.2.7. Магнетроны поставляются в комплекте с мишенями из In (чистота не хуже
99.99%)
3.3.3. Источник ионов CIST-25-0.3
3.3.3.1. Предназначен для очистки и активации поверхности перед напылением на
нее слоя металлизации. При применении для этих целей его характеризуют
следующие параметры:
- рабочий газ – аргон, кислород или их смесь;
- расстояние ионный источник-объект обработки – 50÷100 мм;
- ускоряющее напряжение – +2÷3 кВ;
- оптимальное рабочее давление - 2×10 –25×10 –2 Па;
- максимальный ионный ток – до 30 мА;
- диаметр пучка – 5÷25 мм
3.3.3.2. Все коммуникации источника ионов (вода, рабочий газ, высокое
напряжение) находятся внутри вакуумного металлического сильфона, под
атмосферным давлением.
3.3.4. Для напуска рабочего газа предназначена двухканальная система напуска в
составе: клапаны вакуумные электромагнитные (2 шт.); регуляторы массового
расхода газов, 3.6 л/час, 2 шт.; газовые линейки (входной шаровый кран, фильтр 1
мкм; регулятор давления (тонкая регулировка) с манометром), 2 шт..
3.4. Планетарная карусель
3.4.1. Карусель представляет собой плоский диск с планетарным вращением
расположенных на нем держателей изделий. Держатель изделия представляет
собой полый цилиндр с расположенной наверху осью вращения, внутри которого
устанавливается ЧЭ ТВГ таким образом, что в отверстие цилиндра (вниз)
оказывается обращена только внутренняя запыляемая
полость ЧЭ ТВГ.
Количество держателей изделий (и напыляемых ЧЭ ТВГ) на установке – 8.
3.4.2. При вращении карусели изделия совершают планетарное движение –
совершают полный оборот относительно оси вращения карусели, многократно
оборачиваясь при этом также относительно своей оси, обеспечивая таким
обрпазом симметричное и более равномерное запыление внутренней
сферической и цилиндрической поверхностей ЧЭ ТВГ.
3.6. Средства контроля
3.6.1. Применяются кварцевые датчики толщины Inficon с индивидуальными
заслонками.
3.6. Стойка питания и управления установки
3.6.1. Состав стойки питания и управления:
- система электропитания;
- система управления, регистрации и отображения информации на базе PLCконтроллера c необходимыми модулями ввода/вывода (дискретного, релейного,
аналогового);
- сенсорная операторская ЖК панель управления 15”;
- трехканальный контроллер вакуума (2 канала измерения низкого вакуума, 1
канал измерения низкого вакуума с переключением на диапазон высокого
вакуума), 2 штуки
- блоки питания магнетронов (режим распыления постоянного тока (DC), в том
числе импульсно-периодический (DC pulsed), 1÷40 кГц), встроенное устройство
дугогашения и частотной коммутации, выходная мощность 1 кВт, выходной ток
0.05÷2.5 А, выходное напряжение -400÷-650 В), 2 шт., или 1 блок с 2-мя выходами
мощностью 1 кВт каждый;
- блок питания источника ионов (выходная мощность 500÷1000 Вт, выходной ток –
ток 0.001÷0.1 А, выходное напряжение +2000÷+3000 В)
- двухканальный кварцевый монитор толщины напыляемых покрытий Inficon
3.6.2. Система управления обеспечивает:
- автоматический режим откачки вакуумной камеры;
- автоматический напуск рабочего газа и поддержание его постоянного расхода в
каждой рабочей секции;
- стабилизацию параметров работы ионного источника и магнетронов (ток,
напряжение);
- автоматическое завершение процесса напыления по достижении заданной
толщины по сигналу кварцевых датчиков каждого магнетрона, или по времени;
- необходимые блокировки (защита от аварийных ситуаций и ошибочных
действий оператора);
3.7. Система водяного охлаждения
3.7.1. Состав системы водяного охлаждения:
- входная группа: шаровый кран и промывной фильтр с редуктором и
манометром;
- коллектор с электромагнитными клапанами;
- параллельные магистрали охлаждения (от коллектора), быстроразъемные
соединители; каждая магистраль охлаждения заканчивается настраиваемым реле
расхода воды;
- сливная панель («разрыв струи»).
3.8. Система подготовки и распределения сжатого воздуха
3.8.1. Представляет собой единый интегрированный модуль («пневмоостров») с
входным фильтром, клапаном плавной подачи воздуха и электромагнитными
клапанами, открывающими подачу сжатого воздуха к вакуумным клапанам с
пневмоприводом; управляется от PLC-контроллера системы управления установки
по шине передачи данных.
4. Основные технические характеристики
4.1. Технические характеристики установки:
- максимальное давление внутри вакуумной камеры – 1.33×10-4 Па (1×10-6 Торр);
- время выхода откачного поста на режим - 60 мин;
- количество одновременно обрабатываемых ЧЭ ТВГ – 8 шт.;
- скорость вращения карусели – 5÷15 об/мин;
- толщина напыляемых покрытий – 0.001÷1000 мкм
- скорость напыления - 1÷10 мкм/час
5. Приемка работы
5.1. Приемка работы на соответствие техническим характеристикам
осуществляется в два этапа приемки:
1 этап приемки - на площадке Исполнителя в соответствии с программой и
методикой испытаний, согласованной с Заказчиком.
2 этап приемки - на площадке Заказчика в соответствии с программой и
методикой испытаний, согласованной с Заказчиком с оформлением протокола
испытаний.
5.2. По результатам выполнения работы составляется Акт выполнения пусконаладочных работ
5.3. Исполнитель передает Заказчику в комплекте с установкой;
- паспорт на установку;
- техническое описание и инструкцию по эксплуатации установки;
- комплект электрических схем
Исполнитель также передает Заказчику паспорта и технические описания на
основные комплектующие изделия
6. Порядок изменения технического задания
6.1. Изменение и внесение дополнений в техническое задание осуществляется
в установленном порядке по согласованию сторон.
Стоимость оборудования должна быть по возможности наименьшей и включать в
себя стоимость всех необходимых опций, обучение персонала, таможенные и
транспортные расходы. Срок поставки не более 12 месяцев.