Оборудование по направлению приборостроения на

advertisement
Оборудование по направлению приборостроения на новых физических принципах, закупаемое по
программе развития Национального исследовательского университета МФТИ в 2009 г.
№
Наименование
оборудования
Характеристики оборудования
Состоит из 1VIS95, столешницы, и защитного подлокотника. Имеет автоматический
клапан выравнивания и автономный резервуар с воздухом Рабочая поверхность
может быть скорректирована до уровня в пределах от 12 мм с точностью ± 1 мм.
1
2
3
Оптические столы 1x2м
Standa 1VIS95W (3 шт.)
3-х координатные
юстировки Standa
7T38XYZ (10 шт.)
Скалыватель
оптических волокон
Fujikura CT-30
Технические и эксплуатационные характеристики:
Размер столешницы: 2000х1000 мм;
Толщина столешницы: 200 мм;
Шаг крепления: 25 мм;
Отклонение от плоскости: 0.1 мм/м2;
Собственная резонансная частота: 200 Гц;
Жесткость при приложению 100 кг нагрузки по центру: 4 мкм/м;
Система подавления вибраций: пневматическая, с обратной связью;
Вертикальная резонансная частота: 2 Гц;
Горизонтальная резонансная частота: 2 Гц;
Предел регулировки по высоте стола: 12 мм;
Точность автоматического выравнивания (каждая нога): 1мм;
Рабочее давление воздуха от 0.5- 1.9 кг/см2.
Технические и эксплуатационные характеристики:
Количество ортогональных осей – 3;
Максимальное перемещение: 15 мм;
Чувствительность: 1мкм;
Точность позиционирования: 2 мкм;
Деление шкалы; 10 мкм;
Допустимая нагрузка: 5 кг.
Технические и эксплуатационные характеристики:
Тип скалываемого волокна: одиночное;
Диаметр волокна: 125 мкм;
Диаметры защитного покрытия волокна: 250 и 900 мкм;
Средний угол скола: 0.5 градуса;
Ресурс ножа: 48 000 сколов;
Длина очищаемого от покрытия волокна:
- для волокна в 250 мкм защитном покрытии: 6-20 мм,
- для волокна в 900 мкм защитном покрытии: 10-20 мм.
Функционал
Защита измерительных оптических схем
от влияния механических вибраций.
Юстировка элементов оптической схемы
в 3-х плоскостях.
Высокоточное скалывание стандартных
волокон.
4
Система анализа
параметров оптического
волокна Photon Kinetics
2500 + 2201-2 (1310 нм) +
2201-2L1 (1550 нм)
5
Тепловой измеритель
мощности (10 мвт – 100
Вт) Coherent FieldMaxIITOP - Необходимы также
головки измерения
мощности на 10, 100 и
1000 мВт. Сенсоры: РМ2, РМ200F-19, LM-2IR
6
Суперлюминесцентные
диоды с волоконным
выходом (980нм, 1300нм,
1550нм) Superlum SLD48-HP,__SLD-57-HP,
SLD-76-HP и блок
питания для них.
В состав модуля входит:
- источник когерентного излучения на 1310 нм, 980 нм и 1550 нм с набором
соединительных кабелей;
- модуль по вводу лазерного излучения в волокно;
- два держателя волокна под диаметр 250 мкм;
- кабель питания лазера.
Система для характеризации оптических свойств волокон содержит:
- программное обеспечение. В программном обеспечении содержатся тестовые
макросы для пользователя; программный модуль для измерения спектральных
характеристик оптоволокна; программный модуль для измерения апертуры
многомодового волокна; программный модуль для измерения диаметра ядра
многомодового волокна; программный модуль для контроля частотных свойств
волокна (обеспечивает возможность использования внешних анализаторов частот);
- набор из 4-х держателей оптоволокна диаметра 250мкм;
- набор апертур для работы с многомодовым волокном, который имеет диаметр ядра
50 мкм;
-набор апертур для работы с многомодовым волокном, который имеет диаметр ядра
62,5 мкм;
- специальный инструмент для контроллера;
- цветной монитор.
В составе установки - кремниевый детектор для расширения диапазона в область
излучения 600- 800 нм.
Установка совместима со всеми тремя типами сенсоров (термопарными,
полупроводниковыми и пироэлектрическими). Предназначена для измерения и
мощности и энергии.
В составе установки - расширенный набор совместимых сенсоров, что позволяет
измерять энергию импульсов от 1 нДж до 300 Дж, при частотах до 300 Гц и
мощности в диапазоне 1 нВт-30 кВт.
Имеет компьютерный интерфейс, драйвера LabView и компоненты ActiveX DLL, а
также аналоговый выход, что облегчает разработку стандартных тестовых процедур
и упрощает интеграцию в оборудование.
Состав:
суперлюминесцентный светоизлучающий диод 8-10 мВт SLD-481-HP1-DBUT-SMPD-FC/APC – 1 шт.;
суперлюминесцентный светоизлучающий диод 8-10 мВт SLD-571-HP2-DBUT-SMPD-FC/APС – 1шт.;
суперлюминесцентный светоизлучающий диод 10 мВт SLD-761-HP2-DBUT-SMFC/APC – 1 шт.;
Контроллер тока и температуры для светоизлучающих диодов PILOT-4-AC – 2 шт.;
Держатель для модуля типа DBUT в комплекте с соединительным кабелем – 1 шт.
Характеризация одно- и многомодовых
оптических волокон с предоставлением
данных об эффективном диаметре ядра и
апертуре волокон с рабочим диапазоном
оптического сигнала от 900 до 1700 нм.
Измерение высокой мощности излучения.
Введение в исследуемое волокно
мощного сигнала на требуемой длине
волны.
7
8
Микроскоп с цифровой
камерой Nicon E 200f
Неориентированная
сварка Fujikura FSM-60S
с аккумуляторной
батареей BTR-08 и
кабелем питания DCC-14
В составе установки:
- Осветитель проходящего света, реализующий принцип Келера;
- Галогеновая лампа 6В 30Вт;
- Конденсор Аббе, NA 1.25 (масляная иммерсия).
- Встроенная апертурная ирисовая диафрагма, встроенный фильтр балансировки
цветовой температуры.
Фокусировка достигается вертикальным перемещением столика с помощью
роликового механизма (рейка и зубчатое колесо).
Грубый ход при перемещении: 36.8 мм, точный ход при перемещении: 0.2 мм,
полный ход: 25 мм.
Регулировка натяжения перемещения ручки.
Ограничитель верхнего предела подъема столика.
Состав установки:
- сварочный аппарат, шт.-1;
- жесткий кейс для переноски, шт. -1;
- сетевой адаптер/ адаптер зарядного устройства, шт. -1;
- сетевой шнур питания, шт. -1;
- запасные электроды (пара), шт. -1;
- приемный лоток, шт. -1;
- USB – кабель, шт. -1
- аккумуляторная батарея, шт. -1.
Технические и эксплуатационные характеристики:
Типы свариваемых волокон: одиночные кварцевые оптические волокна:
одномодовые (SM, ITU¬T G.652), многомодовые (ММ, ITU-T G.651), c не нулевой
смещенной дисперсией (NZDS, ITU-T G.655) и волокна для FTTx (G.657);
Диаметр свариваемого волокна: от 80 мкм до 150 мкм;
Диаметр покрытия свариваемого волокна: от 100 мкм до 1000 мкм;
Длина зачищаемых волокон:
- от 8 до 16 мм для внешнего покрытия не более 250 мм,
- 16 мм для внешнего покрытия от 250 до 1000 мкм;
Реальные средние потери на сварном соединении:
- 0,02 дБ для SM,
- 0,01 дБ для ММ,
- 0,04 дБ для DS,
- 0,04 дБ для NZDS типов волокон;
Типичное время сварки: 9 секунд для SM волокна;
Коэффициент отражения от сварного соединения: - 60 дБ;
Функция внесения потерь в месте сварки: преднамеренное внесение потерь для
создания в линии фиксированного аттенюатора, начальное значение 0,1 дБ, шаг 0,1
дБ;
Возможность оценки потерь сварки: встроенная по cердцевине и оболочке;
Контроль качества скола волокна.
Измерение профиля показателя
преломления волокна.
Сварка стандартных типов волокон.
9
Установка импринт
нанолитографии Eitre-3 c
УФ-модулем (Obducat)
Возможность просмотра места сварки: встроенная функция по осям Х и Y раздельно
и одновременно;
Увеличение места сварки:
- 300 крат для раздельного просмотра,
- 185 крат для одновременного просмотра по осям X и Y;
Возможность проверки механической прочности места сварки: встроенная функция,
настраиваемая в диапазоне 200 -230 г;
Функция термоусадки: встроенный нагреватель с программируемым нагревом;
Типы применяемых термоусадочных трубок: стандартные, длиной 60 мм или 40 мм;
Количество сварок с термоусадкой при питании от аккумуляторной батареи: 160.
Установка обладает следующими функциональными характеристиками:
- обеспечивает работу в следующих режимах: УФ импринт литография,
термическая импринт литография, одновременная УФ и термическая импринт
литография;
- обеспечивает работу с круглыми/квадратными пластинами
диаметром/диагональю от 10 мм до 77 мм;
- обеспечивает работу со штампами диаметром до 77 мм;
-обеспечивает работу с гибкими штампами на криволинейных и неровных
поверхностях;
- не использует жесткий поршень для прижима штампа к пластине;
- включает в себя компьютер с необходимым программным обеспечением для
управления и контроля импринт процесса и диагностики оборудования.
Обеспечивается максимальное давление не менее 80 бар.
Обеспечивается максимальная температура не менее 200 °С.
Точность задания температуры ± 2 градусов.
Однородность нагрева пластины в процессе литографии ± 3%.
Максимальная скорость нагрева регулируемая до 100 °K в минуту.
Максимальная скорость охлаждения 50 °K в минуту.
В процессе импринт литографии обеспечивается получение деталей с размером 10
нм.
Обеспечивается точность реплицирования структуры (относительно структуры на
штампе) не хуже ±5 нм.
Обеспечивается минимальная толщина остаточного слоя не более 15 нм.
Установка позволяет создавать и использовать промежуточные гибкие полимерные
штампы, обеспечивающие разрешение деталей на конечных структурах не более 20
нм.
Используется встроенная оптическая система совмещения, обеспечивающая
процесс совмещения пластины и штампа непосредственно на платформе, на
которой осуществляется импринт-процесс. Система совмещения обеспечивает
точность совмещения ±1000 нм.
Длина волны УФ излучения 250 нм – 1000 нм.
Мощность УФ излучения на пластине 40-100 мВт/см2.
Максимальная площадь экспонирования пластина диаметром до 152 мм.
Максимальная температура импринт процесса 200 °С.
Максимальное давление импринт процесса 80 бар.
Установка обладает следующими функциональными характеристиками:
Диапазон номинальных токов, в диапазоне: (1-300)кАrms, (1-400)кА (по
постоянному току);
Высокоуровневый выход для измерений, в диапазоне: 1 А, 4…20 мА (для любого
значения номинального тока);
Низкоуровневый выход для измерений: 200 мВ (для любого значения номинального
тока);
Односекундный ток термической стойкости: 63кАrms;
Ток динамической стойкости: 170 кА;
Класс точности, для измерений: 0.2;
Температурный диапазон петли, в пределах: -40 - +600 гр.Ц;
10
Волоконно-оптический
анализатор ВОПТ-Р-300
Состав комплектации установки:
1.
Блок обработки измерителя тока:
Полоса пропускания по уровню 3дБ, в диапазоне: от 0 до 6кГц;
Номинальное время задержки преобразования, не более: 100 мкс;
Температурный режим, в диапазоне: -5 - +40 0С при влажности до 85%;
Параметры электропитания: 220 В, 50 Гц
Время запуска, не более: 3 минут;
Ток и нагрузка на выходе: 1Аrms при 2.5 Ом и 0.9 пФ;
Конструктивное исполнение: для установки в 19” стойку
2. Мультиметр цифровой, для измерений в диапазоне: 10мкВ-1200В – 1 шт.
3. Источник питания постоянного тока диапазона: 0-18В, 50A – 1 шт.
4. Источник питания постоянного тока диапазона: 0-35В, 20A – 1 шт.
5. Оптический рефлектометр
Длина волны: 1310 ±20 нм;
Длительность импульса: 3 нс, 10, 20, 50, 100, 200, 500 нс, 1 мкс, 2, 5, 10 и 20 мкс;
Динамический диапазон, дБ: 34;
6. Источник оптического излучения лазерный компактный стабилизированный:
Длина волны: 1310 ±20 нм;
Полуширина спектра излучения, не более: 5 нм;
Уровень выходного сигнала, не менее: -7 дБм;
Режимы излучения: непрерывный, модулированный: 270 Гц, 1 кГц, 2 кГц.
Download