МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ» Инженерная школа новых производственных технологий Направление: 22.03.01 Материаловедение и технологии материалов Обеспечивающее подразделение: Отделение электронной инженерии ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №2 Растровая-электронная микроскопия дисциплина " Методы исследования материалов и процессов" Выполнил: Студентка группы 4В91 _________________ Брюханов В.А Проверил: К.Ф.Н доцент кафедры материаловедения _________________ Панина А.А Томск – 2022 Цель работы: научиться получать изображения с помощью электронно-растрового микроскопа Теоретическая часть: В микроскопах подобного типа необходима настройка некоторых параметров, чтобы получить четкое изображение. Как эти параметры влияют на качество изображения: Ускоряющее напряжение – Повышение ускоряющего напряжения увеличивает четкость изображения и пространственное разрешение вследствие уменьшения длины волны опорного излучения. У непроводящих образцов понижение ускоряющего напряжения снимает излишнюю зарядку образца, выявляя мелкие детали Размер пучка - Уменьшение размера пучка, уменьшает энергию пучка, что приводит к неравномерному распределению освещенности внеосевых зон изображения, в дифракционноограниченных оптических системах качество изображения определяется дифракцией, причем чем меньше результирующая апертура (размер пучка), тем больше влияние дифракции, то есть ухудшается качество изображения. Расстояние до образца – У любой линзы существует фокус. Расстояние до образца влияет на то, как объект попадает в фокус Значение астигматизма – астигматизм, это асимметрия магнитного ноля объективных линз. В результате происходит перефокусировка данной точки исследуемого объекта в одном направлении и недофокусировка ее в другом. Ход работы Изображения стали, полученное с помощью: Вторичных электронов Отраженных электронов Изображения каменного образца полученных с помощью: Отраженных электронов Вторичных электронов Заключение: Получилось получить оба изображения для всех образцов. Но тем не менее изображение может не появиться по нескольким причинам: образец не был правильно подготовлен, например на неметаллы необходимо наносить тонкий слов проводящего материала, в образце осталось небольшое количество воды или в камере устройства не был установлен требуемый вакуум
