МЭМС структуры в системах приема

И. А. Ефремов,
Владимирский государственный университет имени Александра
Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых
контакт в состоянии покоя
на контакт и электрод
воздействует небольшая
разность потенциалов
достигнуто пороговое значение
разности потенциалов, контакт
замкнулся
0
-25
-25
dB(VoutSum)
dB(VoutSum)
0
-50
-75
-50
-75
-100
-100
0
50
100
150
200
250
300
350
400
450
freq, MHz
спектр сигнала при одном
включенном фильтре
500
0
50
100
150
200
250
300
350
400
450
500
freq, MHz
накопленный спектр сигнала в
динамическом режиме
пример переключаемых
емкостей
фильтр с использованием
переключательных емкостей
m1
freq=907.0MHz
dBm(S(2,1))=0.614
Sw=50.000000
10.003
10
0.003
0
-9.998
-10
m2
freq=1.036GHz
dBm(S(2,1))=1.078
Sw=50.000000
m2
dBm(S(2,1))
dBm(S2)
m1
-19.998
-29.999
-20
-30
-39.999
-40
-50.000
-50
0.70
-60.000
0.80
0.82
0.84
0.86
0.88
0.90
freq, GHz
0.92
0.94
0.96
0.98
фильтр с изменяемой
центральной частотой
1.00
0.75
0.80
0.85
0.90
0.95
1.00
1.05
1.10
freq, GHz
фильтр с изменяемой
шириной полосы пропускания
TRA
50
0
-50
-100
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
time, nsec
m1
time= 35.00nsec
mag(HB.out[1])=0.038
250
0.10
200
0.09
mag(HB.out[1])
TRAN.out, mV
100
50
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
time, nsec
временная
форма
m1
m2 сигнала
time= 35.00nsec
mag(HB.out[1])=0.038
time= 55.00nsec
mag(HB.out[1])=0.077
0.10
0.09
g(HB.out[1])
0.05
m1
0.02
0
0.06
0.06
0.03
-100
0.07
0.07
0.04
-50
0.08
m2
0.08
150
m2
time= 55.00nsec
mag(HB.out[1])=0.077
m2
0
10
20
30
40
50
60
70
80
time, nsec
значение уровня
огибающей сигнала
90
100
0.10
0.09
mag(out[1])
0.08
0.07
0.06
0.05
0.04
0.03
0.02
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
time, nsec
эквивалентная схема MEMS
коммутатора
результат моделирования
100