Технологии изготовления МЭМС

-это новая волна
полупроводниковой
революции. МЭМС
обеспечивают
полупроводникам сверх
возможности
«думать»,возможность
«ощущать»
сообщаться и
взаимодействовать с
внешним миром.
-МЭМС в новом
веке такой же
ускоряющий
развитие фактор,
как микропроцессоры в 80-х и
Интернет в 90-х.
-потенциальные
возможности МЭМС
ограничены только
нашим
воображением
МикроЭлектроМеханические Системы
•миниатюрные детали
•микроинструменты
•микромашины
•микродатчики
Ускорение, давление,
температура,
усилие, перемещение
и тд.
Сопротивление,
емкость, индуктивность
гироскоп образца XIX века
Современный МЭМС-гироскоп
Лапка муравья на матрице из микрозеркал
Конструкционные
"Активные умные"
стекло, монокристаллический,
никель/титан, пермаллой, кварц, окись
поликристаллический, пористый
цинка, пьезокерамика, материалы группы
кремний, диоксид и нитрид кремния,
A B ,А В
3
5
4
6
полиимид, вольфрам, никель, медь,
золото, алмазо-подобный углерод
использующиеся для формирования:
использующиеся для формирования:
• несущих конструкций;
• источников движения;
• токоразводки;
• механизмов передачи движения;
• смазки.
• сенсорных и активирующих сред.
MEMS-транспортер
Самый маленький в мире паровой двигатель
Прототип щипцов для микрохирургии глаза
образец микротурбины
компании HP, Canon,
Lexmark
компания Epson