Затворы вакуумные с электромеханическим приводом

Курс «Основы вакуумной техники»
1. Физические свойства
2. Измерение вакуума
3. Получение вакуума
4. Компоненты вакуумных систем
1
Основное уравнение вакуумной техники
Быстрота откачки насоса Si в произвольном
сечении соединительного трубопровода
Si=dVi/dt
быстрота откачки объекта
S эф  dV2 / dt
быстрота действия насоса
Sн  dV1 / dt
коэффициент использования насоса
Kи 
S эф
Sн
2
Основное уравнение вакуумной техники
Для стационарного потока Q выполняется условие сплошности:
Q=p1Sн=p2Sэф=piSi ,
pi – давление в i-м объёме.
Из уравнения стационарной диффузии газа в элементе вакуумной
системы, уравнения газового состояния и условия сплошности:
1
1 1


Sэф Sн U
U – проводимость элемента вакуумной системы л/с (м3/c)
3
Быстрота откачки объекта определяется:
1
1 1


Sэф Sн U
Sн  U
Sэф 
Sн  U
При условии Sн=U получается, что Sэф=0,5Sн.
Если U, то SэффSн;
при U0 следует, что Sэфф0.
4
Зависимость быстроты действия от давления
на входе – основная характеристика насоса
5
ВАКУУМНАЯ АРМАТУРА

Клапаны вакуумные с ручным приводом

Клапаны вакуумные с электромеханическим приводом

Клапаны вакуумные с электромагнитным приводом

Клапаны-натекатели

Затворы вакуумные с электромеханическим приводом

Азотные ловушки
6
Клапаны вакуумные с ручным приводом КВР:
Наименование параметра
Проводимость в молекулярном
режиме, л/с, не менее
КВР-25
КВР-63
КВР-100
16
180
470
Наибольшая величина натекания,
лТорр/с
7,510-7
Диапазон давлений, Торр
Габаритные размеры, мм, не
более (высота/длина/ширина)
Масса, кг, не более
Средний ресурс до капитального
ремонта, цикл, не менее
Средний срок службы до
капитального ремонта
7,510-8 - 3,8103
110/80/60
215/150/120
250/185/15
0
0,65
3,8
6,5
120 000
8 лет
7
Внешний вид и чертеж клапанов типа КВР
8
Клапаны вакуумные с электромеханическим
приводом типа КВЭ (http://vacma.ru):
Наименование параметра
Проводимость, л/с,
КВЭ-25
КВЭ-63
КВЭ-100
14,2
180
470
Наибольшая величина
натекания,
7,5х10-7 лТорр/с
7,5х10-8 – 800 Торр
Диапазон давлений,
Время открывания
(закрывания), с, не более
0,3
0,5
0,8
Габаритные размеры, мм,
не более
высота/длина/ширина
270/110/75
345/155/120
450/200/150
3,2
5,2
10
Масса, кг, не более
60 000 циклов
Средний ресурс,
8 лет
Средний срок службы
Мощность
электродвигателя, Вт
25
25
60
9
Внешний вид и чертеж клапанов типа КВЭ
10
11
Клапаны вакуумные с электромагнитным
приводом типа КВМ (http://vacma.ru):
Наименование параметра
КВМ-25
КВМ-63
25
63
Проводимость (теоретическая) в молекулярном
режиме, л/с, не менее
14,2
180
Наибольшая величина натекания воздуха в
вакуумную полость клапана
7,5х10-7 лТорр/с
Диаметр условного прохода
Питание электромагнита, В/Гц
220/50
Потребляемый ток, А, не более, в открытом
состоянии
0,35
0,6
Время открывания (закрывания), с, не более
0,1
0,5
Средний ресурс до капитального ремонта, циклы
Масса, кг, не более
Масса блока питания
60 000
1,9
8,0
0,6 кг
12
Внешний вид и чертеж клапанов типа КВМ
13
ВАКУУМНАЯ АРМАТУРА

Клапаны вакуумные с ручным приводом

Клапаны вакуумные с электромеханическим приводом

Клапаны вакуумные с электромагнитным приводом

Клапаны - натекатели

Затворы вакуумные с электромеханическим приводом

Азотные ловушки
14
Клапан-натекатель КН-2М‘ (http://vacma.ru):
Наименование параметра
КН-2М
Норма герметичности, м3хПа/с (лхмкм
рт.ст./с)
2,7х10-4 (2,1х10-3)
Потребляемая мощность, Вт, не более
40
Наименьший поток напускаемого газа,
лхПа/с (мм рт.ст.)
2,7х10-4 (2,0х10-3)
Наибольший поток напускаемого газа,
лхПа/с (мм рт.ст.)
66 (0,5)
Условный проход, мм
1,2
Масса, кг, не более
1,7
15
Внешний вид и чертеж клапанов типа КВМ
16
ВАКУУМНАЯ АРМАТУРА

Клапаны вакуумные с ручным приводом

Клапаны вакуумные с электромеханическим приводом

Клапаны вакуумные с электромагнитным приводом

Клапаны - натекатели

Затворы вакуумные с электромеханическим приводом

Азотные ловушки
17
Затворы вакуумные с электромеханическим
приводом типа 2ЗВЭ (http://vacma.ru):
Проводимость в
молекулярном режиме, л/с
Время открывания
(закрывания), с, не более
2ЗВЭ-100
2ЗВЭ-160
2ЗВЭ-250
2ЗВЭ-400
2ЗВЭ-630
1300
3340
13400
46250
146000
3
4
9
27
55
200
460
50
50
110
350
Наибольшая величина
натекания, л мкм рт.ст/с )
Потребляемая мощность,
Вт, не более
7,5х10 -7
63
100
Напряжение, В
Частота, Гц
220/380
50
50
Средний ресурс до
капитального ремонта,
циклы
Масса, кг, не более
100
50
50000
17
24
46
18
Внешний вид и чертеж затворов типа 2ЗВЭ
19
20
VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag,
Switzerland
21
22
23
24
ВАКУУМНАЯ АРМАТУРА

Клапаны вакуумные с ручным приводом

Клапаны вакуумные с электромеханическим приводом

Клапаны вакуумные с электромагнитным приводом

Клапаны-натекатели

Затворы вакуумные с электромеханическим приводом

Азотные ловушки
25
Вакуумная азотная ловушка
Ловушка азотная высоковакуумная предназначена для предотвращения
проникновения паров рабочих жидкостей насосов в высоковакуумные
части вакуумных установок и снижения парциального давления паров в
откачиваемых объемах.
Основные параметры.
Охлаждающая жидкость – жидкий азот
Емкость резервуара – 1 л.
Проводимость в молекулярном режиме – не менее 15 л/с
Тип присоединительных фланцев - KF25.
Габаритные размеры 256х197х130 мм.
Материал, контактирующий с вакуумом – сталь нержавеющая 2Х18Н9Т.
26
Испарительный геттерный насос СТОН
Быстрота действия до 200 000 л/с,
Предельный вакуум 10-10 - 10-5 Торр при
охлаждении азотом.
1- корпус,
2- сосуд Дьюара,
3- электронно-лучевой испаритель с системой
подачи проволоки,
4 – азотная ловушка,
5 – диффузионный насос,
6 – охлаждаемый вкладыш.
27
Вакуумная азотная ловушка
28
Вакуумная азотная ловушка
Ловушки азотные
ЛА-100, ЛА-160,
ЛА-250, ЛА-400
29
Требования к материалам для изготовления
вакуумных систем:
Иметь давление паров (при рабочей температуре) значительно меньше
рабочего давления в вакуумном объеме;
 Иметь минимальное газовыделение при рабочей температуре и давлении;
 Обеспечивать вакуумную плотность при малой толщине;
 Быть коррозионно-стойким, иметь повышенные пределы выносливости и
текучести.
Например: серебро проницаемо для кислорода,
железо, никель, платина - для водорода,
стекло – для гелия и водорода,
резина – для гелия, водорода и азота…

30
Разъемные вакуумные соединения
Резиновые уплотнения
31
Разъемные вакуумные соединения
Металлические уплотнения
32
Разъемные вакуумные соединения
Седла запорной аппаратуры
33
Ввод вращения в вакуум
34
Ввод вращения в вакуум
35
Ввод вращения в вакуум
36
Курс «Основы вакуумной техники»
1. Физические свойства
2. Измерение вакуума
3. Получение вакуума
4. Компоненты вакуумных систем
37