The review рынока трифторида nitrogen
advertisement
Мировой рынок трифторида азота. Содержание. Введение 3 1. Мировое производство ТФА 1.1. Производители. 5 1.2. Поставщики. 9 1.3. Характеристики выпускаемой продукции. 13 Общие свойства. 13 Упаковка и транспортировка. 14 1.4. Оценка мирового объема производства. 18 1.5. Ценовая ситуация. 19 2. Оценка объемов потребления и спроса по странам 21 2.1. Производство полупроводников. 21 2.2. Производство жидкокристаллических панелей. 23 2.3. Потенциальные потребители. (Реквизиты крупнейших фирм – потенциальных потребителей ТФА). 24 3. Динамика и прогноз мирового рынка ТФА. 33 3.1. Динамика и прогноз основных показателей на 10-15 лет. 33 3.2. Поведение крупнейших участников рынка. 38 Источники информации 41 Приложения. Годовые отчеты фирм-производителей ТФА. Air Products Mitsui Chemicals Central Glass 2 Введение. С 1960х в полупроводниковой промышленности стали широко использоваться перфторкомпаунды (ПФК), в 1980х они были признаны эффективными материалами в процессах плазменной очистки поверхности и плазменного травления тонкого слоя полупроводниковых кристаллов. Однако известно, что использование в технологических процессах этих газов влечет за собой их эмиссию, что вносит существенный негативный вклад в процесс глобального нагревания атмосферы Земли, так называемый парниковый эффект. Поэтому, начиная с 1990х, наиболее экологически сознательные представители крупнейших полупроводниковых компаний и ведущие ученые мира стали активно исследовать возможности уменьшения эмиссии используемых в технологии газов путем оптимизации процесса, рециркуляции и поиска новых альтернативных материалов. Цель снижения эмиссии парниковых газов была сформулирована Всемирным Советом Полупроводниковой промышленности (World Semiconductor Council), членами которого являются представители стран, репрезентирующих 90% всего мирового производства полупроводников. Весомый аргумент в пользу поиска более экологичных материалов – это рекомендации Киотского протокола (1997) по снижению уровня выброса парниковых газов в атмосферу. Протокол был подписан в Киото (Япония) в декабре 1997 года на Конференции Сторон Рамочной Конвенции ООН по изменению климата. В соответствии с рекомендациями Киотского протокола страны-участницы этого форума обязались обеспечить сокращение выбросов парниковых газов в атмосферу к 2008-2012 г. в среднем на 7% по отношению к уровню 1990 года. Параллельно с принятием решений на международном уровне принимались решения о добровольных обязательствах к снижению эмиссии ПФК со стороны производителей полупроводниковых компонентов, использующих ПФК в технологических процессах. Так, в 1996 году в США было образовано партнерство по добровольному снижению эмиссии парниковых газов (US EPA Semiconductor PFC Voluntary Partners), которое вошли фирмы: Advanced Micro Devices American Microsystems Burr-Brown Cherry Semiconductor Digital Equipment Dominion Semiconductor Eastman Kodak Hewlett-Packard Hitachi Semiconductor IBM Intel LSI Logic Lucent Technologies Micron Technology Motorola National Security Agency National Semiconductor NEC Electronics Philips Electronics Rockwell Semiconductor Systems Sony Semiconductor ST Microelectronics Texas Instruments VLSI Technology Позднее подобные партнерства были образованы в Японии и Южной Корее. В марте 1998 года правительство Японии опубликовало государственный план по снижению эмиссии 3 ПФК в атмосферу, а в октябре 1998 о первых успехах в снижении эмиссии ПФК доложили представители корпорации IBM, в 1999 году о том же доложили представители Motorola. В апреле 1999 года Международный Совет Полупроводниковой промышленности (World Semiconductor Council) выпустил документ, в котором была сформулирована цель – уменьшение абсолютной эмиссии ПФК в технологических полупроводниковых процессах на 10% или более к 2010 году. Документ также предписывал продолжать усилия по поиску жизнеспособных и рентабельных альтернатив, которые бы позволили уменьшить эмиссию ПФК, не препятствуя при этом промышленному и технологическому росту отрасли. В качестве такой наиболее оптимальной альтернативы производителями с середины 1990х рассматривается трифторид азота (ТФА). ТФА - также как и перфторуглероды относится к перфторированным соединениям –перфторкомпаундам, и также его относят к парниковым газам. Но уникальная структура ТФА позволяет получать в технологическом процессе более высокую степень переработки, что позволяет уменьшать поток эмиссии до 90% против других ПФК. ТФА также позволяет увеличить скорость процессинга полупроводников (от 4 до 12 раз по сравнению с фторуглеродами). Поэтому наряду с экологической целесообразностью налицо и коммерческая выгода использования в производстве полупроводниковых микрокомпонентов этого газа. В соответствии с последними решениями авторитетных международных и национальных экологических организаций производители оборудования для полупроводниковой отрасли стали выпускать для производства последнего поколения полупроводников новые серии производственных установок, предполагающие использование ТФА в техпроцессе. Таким образом, изложенные выше обстоятельства обусловили бурный рост спроса на ТФА в 2000е годы. 4 1. Мировое производство ТФА 1.1. Производители. Мировым лидером в производстве ТФА является американская фирма Air products and Chemicals, Inc. (APC), основанная более 60 лет назад. В настоящее время (2002) APC держит в своих руках не менее половины мирового рынка ТФА, оставаясь лидером также и в поставках других газов и химикатов для электроники и для химической промышленности. Фирма продолжает выпускать другие перфторкомпаунды, предназначенные для производства полупроводников, но при этом непрерывно наращивает объем производства ТФА, следуя росту потребностей мировых производителей электроники. Объем продаж АРС в 2001 году составил 5,7 млрд. долларов, из которых 3,9 млрд. долларов приходились на индустриальные газы, а остальное на химикалии и спецоборудование. Поскольку основные покупатели продукции АРС – фирмы, производящие микроэлектронику, колебания конъюнктуры, характерные для рынка электроники и полупроводников отражаются и на динамике годовых продаж АРС. Так, объем продаж продукции компании в первые три месяца 2002 года составил 1,313 млрд. долларов, что меньше по сравнению с 1,534 млрд. долларов, полученными от продаж за аналогичный период 2001 года. Головной офис АРС находится в штате Пенсильвания (США), а дополнительные офисы и производственные структуры в более чем 30 странах мира. Общая численность сотрудников АРС 17500 чел. 50% продукции АРС продается в своем регионе (США), 25% - в Европе, 7% - в Канаде и Латинской Америке, 17% приходится на все остальные регионы. ТФА выпускается на основной мощности АРС в США в местечке Hometawn (Пенсильвания), где работает 370 служащих. По итогам рейтинга американского издания Industry/Weeks этот завод признан одним из 25 лучших промышленных предприятий Северной Америки в 2001 году. Одним из критериев высокой оценки послужили хорошо продуманные и реализованные программы утилизации отходов на заводе. Кроме того, АРС имеет партнерские и дочерние предприятия по отгрузке (transfill transfill) ТФА за пределами США. Это – заводы в Amagasaki (Япония), Tainan (Тайвань), Shihwa (Ю.Корея), Keumiee (Бельгия). В 1999 году суммарные мощности по производству ТФА на АРС составляли 988 тыс. фунтов (примерно 450 тонн) в год. Уже к середине 2001 года по данным компании они должны были составить 2400 тыс. фунтов (примерно 1100 тонн) в год, а в первой половине 2002 года 2775 тыс. фунтов (1260 тонн) в год. Air Products and Chemicals, Inc. 7201 Hamilton Boulevard Allentown, PA 18195-1501 Phone (800) 654-4567 Fax (800)880-5204 Основные конкуренты АРС на рынке ТФА - японские фирмы КДК (Канто Денка Когё), Мицуи Хемикал Инк. и Central Glass Co., Ltd. На их доли в последнее время приходилось 30- 40% рынка. Наиболее известная из них на Западе - Мицуи Хемикалс Инк. (Mitsui Chemicals, Inc.) – крупнейшая японская химическая компания, основанная в 1947 году, имеющая свои офисы и производственные подразделения в Европе, Китае, Южной Корее, США и странах Тихоокеанского региона. Количество служащих в корпорации составляет 12,8 тысяч. Объем продаж фирмы непрерывно растет. По итогам года, заканчивающегося 31 марта 2001, оборот фирмы составил 940 млрд. йен, из которых 190 млрд. пришлось на продажи вне Японии. Основные зарубежные покупатели продукции фирмы (более 60%) – страны Тихоокеанского региона. 5 ТФА производится на двух предприятиях: в Японии в Симоносеки (Shimonoseki Mitsui Chemicals, префектура Yamaguchi) и в США в Адриане (Anderson Development Co., штат Мичиган). Производство в Адриане началось с 1997 года, когда компания Мицуи предоставила своим американским партнерам технологию. По итогам 2001 года мощности Мицуи Хемикалс позволяли вырабатывать 400 тонн ТФА в год. Запланированные на 2002 год мероприятия по наращиванию мощностей на обоих предприятиях должны позволить увеличить этот показатель до 600 тонн в год. Mitsui Chemicals, Inc. Kasumigaseki Bldg., 2-5, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-6070, Japan, Tel. 81-3-3592-4060 Fax 81-3-3592-4211 Anderson Development Company 1415 E. Michigan Street Adrian, MI 49221-3499 Phone: (517) 263-2121 Fax: (517) 263-1000 President Larry Dickinson Director of Marketing Jack Georgal jack.georgal@anddev.com Канто Денка Когё – японская химическая фирма, специализирующаяся на фторорганике, а также выпускающая широкий ряд органических и неорганических химикатов. Традиционно среди продукции фирмы заметное место занимали такие продукты как каустик-сода, порошки железа. Годовые объемы продаж продукции этой фирмы составляли в последние годы 20-22 млрд. йен. Однако, несмотря на постоянно растущий спрос на ТФА, компания испытывала, начиная с 1999 года, стойкое падение доходов, что заставило менеджмент вплотную заняться реструктуризацией производственной программы фирмы. Наращивание объемов выпуска ТФА остается одним из главных приоритетов компании. В 2001 году производственные мощности по ТФА составляли около 400 тонн в год. KANTO DENKA KOGYO CO., LTD. Tokyo Kaijo Bldg. Shinkan, 1-2-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 Japan Phone (03)3216-4561 Fax Phone (03)3216-4581 http://www.kantodenka.co.jp/index2e.htm Central Glass Co., Ltd. (CG) основана в 1936 году. Со временем наряду со стеклом и стеклоизделиями стала выпускать также удобрения, соду, органические и неорганические фторированные соединения. Капитал фирмы оценивался в 2001 году в 18,1683 млн. йен. Представительства фирмы есть на Тайване, в Тайланде, Вьетнаме, Китае и США. Компания располагает тремя заводами (все в Японии), на одном из которых было освоено производство ТФА. По сведениям из пресс-релизов следует, что фирма планировала увеличить проектную мощность ТФА со 100 (1999) до 200 тонн в год. В материалах годового отчета (2001) компании утверждается, что CG – единственная в мире фирма, использующая технологию получения ТФА из фтористой кислоты (HF). Central Glass Co., Ltd. Kowa-Hitotsubashi Building, 7-1 Kanda-Nishikicho, 3 chome Chiyoda-ku, Tokyo 101-0054, Japan Phone No. (03) 3259-7111 6 Fax No. (03) 3259-7883 Все остальные фирмы, производящие ТФА, пока находятся в стадии освоения технологии и в силу разных причин иногда сталкиваются с проблемами. Наиболее известными из компаний «второй линии» мирового ТФА-бизнеса являются Advanced Specialty Gases (ASG, США) и Pelchem (ЮАР), химическое подразделение NECSA, которое организовало производство ТФА в альянсе с BOC Edwards , известным как поставщик интегральных решений в полупроводниковой отрасли. Эти производители каждый в свое время ввели в действие мощности по выпуску ТФА, но в силу разных причин сталкиваются с проблемами. Advanced Specialty Gases (ASG) – американская фирма, имеющая завод в Дайтоне (Dayton), на котором в конце 90-х было запущено производство ТФА с проектной мощностью 100 тыс. фунтов (50 тонн) в год. Однако 30 июля 2000 года на заводе произошел взрыв, в ходе которого произошла утечка примерно 100 кубических футов ТФА. В настоящее время ASG предлагает к продаже специальные газы, в т.ч. и ТФА. Однако, в то же время есть указания на внешнее, в частности, российское происхождение части реализуемой продукции, в т.ч. и ТФА. (http://www.business.com/directory/chemicals/gases/) Advanced Specialty Gases 280 B Coney Island Dr. Sparks, NV 89431 PH: 775-356-5500 FAX: 775-356-5571 asg@advancedspecialtygases.com Pelchem-NECSA . Технология производства ТФА была приобретена BOC Edwards у АРС. В 2000 году был широко анонсирован старт производственного процесса по выпуску ТФА на предприятии Pelchem-NECSA в ЮАР. В проектировании производства участвовала фирма Main Line Engineering (MLE).Функции маркетинга и реализации продукции, как предполагалось, на себя полностью возьмет BOC Edwards. Планировалось начать производство с четвертого квартала 2000 года, проектная мощность составляла 250 тонн в год. Но сообщение о запуске производственной линии ТФА было опубликовано только в сентябре 2001 года. В сообщении говорилось, что производство в действии и есть все необходимые условия для вывода его на проектную мощность. В пресс-релизах и предложениях для продажи BOC Edwards по-прежнему практически не упоминается такой продукт как ТФА. Хотя на сайте предприятия Pelchem выставлено предложение о продаже ТФА, но на обращения извне с просьбами уточнить стоимость и условия его поставок менеджеры завода отсылают потенциальных покупателей к BOC Edwards. Pelchem- NECSA Postal Address: P.O Box 582Pretoria 0001 South Africa Physical Address: Pelindaba Church Street Extension West Pretoria South Africa +27-12-305 4550 Tel: +27-12-305 4557 e-mail: cheminfo@aec.co.za BOC Edwards One Edwards Park 301 Ballardvale Street Wilmington, MA 01887-1075 United States 7 Phone: .978.658.5410 Fax: .978.658.7969 Web Site: http://www.bocedwards.com Main Line Engineering Tel: (610) 594-9310 Fax: (610) 594-9311 211 Welsh Pool Rd Suite 120 Exton PA 19341 В России мощности по выпуску ТФА были недавно установлены на опытном заводе ГИПХ в п.Кузьмолово Ленинградской области. Технология разработана в России и продукт стандартизован по ТУ 6-02-2-852-85 . Возможные текущие объемы поставок составляют 10 тонн в год, возможные перспективные 15 тонн в год. ФГУП РНЦ "ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ" Опытный завод 188663, п.о. Кузьмолово, Ленинградская область Факс (812) 327-48-21 Тел. (812) 534-90-89 Еще один новый азиатский производитель появился в 2002 году в Китае. Линия по производству ТФА была запущена в зоне приоритетного научно-технологического развития Чэнду-Вэньцзян (Chengdu-Wenjiang) в провинции Сычуань (Sichuan province) на базе действующего предприятия China Nuclear Honghua Specialty Gases Co., Ltd., которое является крупнейшим в Китае производителем неорганических фторидов. Завод входит в корпорацию Honghua Industries Corp., которая расположена в той же зоне и занимает площадь в 6.95 гектаров. Стоимость активов компании - 234 миллиона юаней (32,2 миллиона Евро), она производит высокочистые газы - гексафторид серы (1400 тонн – 70% внутреннего рынка КНР), фтор, четырехфтористый углерод. В реализации проекта участвует правительство зоны Чэнду. Рeализация проекта потребует инвестиций в размере 140 миллионов юаней (19,3 миллиона Евро), а стоимость выпускаемой продукции может достичь 200 миллионов юаней в год (27.6 миллиона Евро). В мае 2002 между руководителями китайской корпорации и фирмой Дюпон было подписано соглашении об инвестировании последней во вновь созданное производство ТФА (Chengdu Beyond Chemicals), которое должно позволить к концу 2003 года нарастить мощности по выпуску ТФА до 150 тонн. China Nuclear Honghua Specialty Gases Co., Ltd. Liulin Road, Chengnan Economic Development Zone, Wenjiang, Chengdu, China PostCode: 611130 Tel: 0086-28-2687885 2687870 2687871 Fax: 0086-28-2687792 hhgasjjz@mail.sc.cninfo.net http://www.honghuagas.com Chengdu Beyond Chemicals Co.,Ltd. 610041,Tianxinyuan,No.18,North HongPaiLou St. Chengdu, Sichuan, China Tel: 0086-28-85060355 Fax: 0086-28-85082015 8 1.2. Поставщики трифторида азота. Поставщики ТФА играют заметную роль на мировом рынке в условиях малочисленности производителей. Крупные производители (такие как АРС) предпочитают напрямую работать только с крупнейшими потребителями, для остальных существуют сети поставщиков. Среди поставщиков можно выделить как группу предприятий, выступающих от имени производителя и непосредственно входящих в его производственно-сбытовую структуру («вторичные производители»), так и независимые предприятия, зачастую занимающиеся сбытом продукции нескольких производителей. К первым относятся упоминаемые также в п.3.2. и 1.1. четыре дочерних завода АРС, расположенные в Бельгии и трех странах ТОР. Наибольшее число независимых поставщиков находится в США, где ТФА больше всего производится и потребляется. При этом американские поставщики работают не только на свой регион, они охотно устанавливают связи и потребителями из других регионов, в т.ч. из стран СНГ. Advance Research Chemicals, Inc. – американская компания, головное отделение которой находится в штате Оклахома, специализирующаяся на различных органических и неорганических соединениях фтора. Располагает двумя заводами в США, имеет офисы в Великобритании. С момента основания (1987) занимается как производством различных химических соединений, так и предлагает услуги по расфасовке и упаковке химических изделий других производителей, в том числе является поставщиком трифторида азота. Advance Research Chemicals, Inc. Tanumal Chemical Complex Bldg., 1110 W. Keystone Ave. Catoosa, OK 74015 USA Tel:(918)266-6789 Fax:(918)266-6796 http://www.fluoridearc.com/ Ozark Fluorine Specialties, Inc. – американская компания, принадлежащая LithChem International, одному из отделений Toxco Inc., крупнейшей компании, занимающейся переработкой литиевых батарей (головной офис компании расположен в Калифорнии, США, также есть офисы в Великобритании и Канаде). Созданная поначалу для производства различных кислот, в 50-е годы компания была полностью была перепрофилирована на производство и продажу различных фторсоединений, как органических, так и неорганических. Ozark Fluorine Specialties, Inc. Dale Fisher, Technical Marketing Specialist 5101 W. 21st St. Tulsa, OK 74107-2230 Tel:(918)586-4079 Fax:(918)586-4083 sales@ozarkfluorine.com Dr. Philip E. Rakita New Business Development Manager Phone: 215-729-6850 prakita@ozarkfluorine.com Scott Specialty Gases – производитель и поставщик широкого ассортимента газов и газовых смесей, применяемых в электронной и нефтехимической промышленности, медицине, а также газов высокой степени очистки для научных и лабораторных исследований. Также специализируются на поставках различного газобалонного оборудования. Трифторид азота предлагают двух степеней очистки 99,99% - для 9 плазменного травления и 99,9% - для очистки в 44, 16 и 7-литровых баллонах. Компания имеет два головных офиса - в Филадельфии (Пенсильвания, США) и в Европе (Нидерланды), и четыре специализированных (по направлениям бизнеса), расположенными в США, офисы продаж открыты по всему миру. Scott Specialty Gases Corporate Headquarters (Philadelphia Area) 6141 Easton Road Box 310 Plumsteadville, PA 18949 Tel.: (215) 766-8861 Fax: (215) 766-0320 European Headquarters & Production Facility Takkebijsters 48 4817 BL Breda the Netherlands Tel.: (31) 76 571 18 28 Fax: (31) 76 571 32 67 Scott Semiconductor Gases – специализированный офис по полупроводниковым газам 5121 Brandin Court Fremont, CA 94538 Tel.: (510) 659-0162 Fax: (510) 659-9156 Wesco Redwood Inc. – американская компания, занимающаяся поставками трифторида азота от Air Products. Wesco Redwood Inc. Redwood City, CA., USA Tel.: (650) 368-2821 CATALOGS@wesco-gas.com Praxair - крупнейший американский производитель и поставщик газов в мире. Осуществляет продажи в Сев. Америке (70%), Ю.Америке (14%), Европе (11%), Азии (5%). Офисы в США, Мексике, Канаде. В 2001 году объем продаж составил $5158 млн., что на 2% больше по сравнению с 2000 годом. Количество служащих на 31 декабря 2001 года составляло 24271. Praxair, Inc. Worldwide Headquarters 39 Old Ridgebury Road Danbury, CT 06810 USA Tel.: 1-716-879-4077, Tel: 800-PRAXAIR (772-9247) Fax 1-716-879-2040 SOXAL (Singapore Oxygen Air Liquide Pte Ltd.) – сингапурская компания, принадлежащая Air Liquide (Франция) и BOC Group (Великобритания), занимающаяся производством и поставками различных газов для промышленности, производства и медицины. SENOKO 53 Senoko Road Cylinder Gas Depot Ultra High Purity Hydrogen Plant J1 (16 Tanjong Kling) Customer Service Unit - Tel: (65) 62654555 Fax: (65) 62660224 J2 (16 Jalan Buroh) Head Office - Tel: (65) 62653788 Fax: (65) 62651441 J3 (24 Jalan Buroh) Special Gases Centre - Tel: (65) 62623788 Fax: (65) 62659903 10 Другие поставщики ТФА приведены в таблице 1.1. Таблица 1.1. Компании-поставщики ТФА азота. № 1 Компания Messer Griesheim GmbH (Германия) 2 Toll Gas & Welding Supply (США) 3 Mil-Spec Industries Corp. (США) 4 NISSAN IOI BERHAD (Япония) 5 Linde Gas Ltd (Великобритания) 6 Q 8 Petroleum Ltd (США) 7 Matheson-tri-gas (США) Координаты Berlin Ludwig-Boltzmann-Straße 3 12489 Berlin Tel. (030) 6 70 093 Fax (030) 67 00 9 5090 Bielefeld (Industriegase Deutschland) Messer Griesheim GmbH Altenburger Straße 9 33699 Bielefeld Tel. (0521) 9 24 77 30 Fax (0521) 9 24 77 40 3005 Niagara Lane Minneapolis, MN 55447 USA Tel: 877-865-5427 Fax: 763-551-5335 info@tollgas.com sales@tollgas.com 10 Mineola Ave. Roslyn Heights, NY 11577 USA Tel: 516-625-5787 Fax: 516-625-0988 Hicom Head Office Lot 2, Persiaran Sabak Bernam, Section 26, Hicom Sector B, PO Box 7077, 40702 Shah Alam, Malaysia. Tel: 603-511 2959 (6Lines) Fax: 603-511 2835 (General) 603-512 1701 (Marketing) Shah Alam Jalan Pengisir 15/9, Off Jalan Utas 15/7, PO Box 7077, 40702 Shah Alam. Malaysia. Tel: 603-559 1006 / 1059 Fax: 603-559 3728 Penang Plot 90, Bukit Minyak Industrial Park, 14100 Seberang Perai Tengah, Pulau Pinang, Malaysia. Tel: 604-507 0684 / 0642 Fax: 604-507 5442 Ipoh No 2, Jalan President Kennedy, Off Lahat Road, 30200 Ipoh, Malaysia. Tel: 603-559 1006 / 1059 Fax: 603-559 3728 Johor Bahru28, Jalan firma 1/5, Tebrau Industrial Estate, 81100 Johor Bahru, Malaysia. Tel: 607-335 2344 / 2345 Fax: 607-355 2346 Johnsons Bridge Rd, Church La, West Bromwich, W. Midlands, B71 UK Tel: 0121-500 1000 Fax: 0121-500 1111 Burgan Ho, The Causeway, Staines, Middx, TW18 3PA GB Tel: (01784) 467788 Fax: (01784) 419158 General enquiries ijr@kpgb.q8.co.uk Specialty Gas Division 11 8 United Fluoride(США) 9 Korea Specialty Gases Co.,Ltd. (Корея) 10 DAIDO AIR PRODUCTS ELECTRONICS, INC. (Япония) San Fu Chemical Co., Ltd. (Тайвань) 11 12 AIR PRODUCTS KEUMIEE (Бельгия) 13 PanGas (Швейцария) 14 AIR LIQUIDE GmbH (Германия) 15 SPECIALTY GASES OF AMERICA (THE AMERICAN GAS GROUP)(США) 16 AGA GAS, Inc. (США) 17 Showa Denko K.K. (Япония) 18 Korea Standart Gas (Корея) Equipment Technology Center 166 Keystone Drive Montgomeryville, PA 18936 Phone: 215-641-2700 International 6775 Central Avenue Newark, CA 94560 Phone: 510-793-2559 Fax: 510-790-6241 Email: mtgnewark@matheson-trigas.com info@matheson-trigas.com onlinequotes@mathesongas.com 2/F, 136-08, 35 Avenue, Flushing, NY 11354, USA Tel: (718)886 5318 Fax: (718)886 2688 http://uf-chem.com/formmail.htm (заказ) Head Office & Factohry : 1238-3, Jeongwang-dong, Shieungcity, Kyungki-do, Korea (Tel : 31-433-3070 / Fax : 31-433-3079) Sales Office :Tel) 31-433-3070 President :Lee, Jun-Youl Nihon Seimei Midosuji Building 6F, 4-2-4, Minami-semba, Chuo-ku, Osaka City, Osaka 542-0081 5th Fl., No.21 Chung Shan N. Rd. Sec. 2 Taipei 104 Taiwan R.O.C. Tel:886-2-25214161 Fax:886-2-25818359 Email:info@sanfu.com.tw B-5140 KEUMIEE Tel 071/82.22.76 - 82.22.54 Fax 071/81.65.99 e-mail kalogegd@apci.com Industriepark 10 CH-6252 Dagmersellen TelefonZentrale 062 748 15 00 Fax Zentrale 062 748 15 55 Telefon Contact Center 0844 800 300 Fax Contact Center 0844 800 301 contact@pangas.ch Hans-Günther-Sohl-Straße 5 D-40235 Düsseldorf Germany Tel. (0211) 66 99 0 Fax (0211) 66 99 222 6055 Brent Road Toledo, OH 43611 (419) 729-7732 конт. лицо JIM AVOLT: THEGASGODS@AOL.COM (800) 471-7013 (419) 470-0267 6055 Rockside woods Blvd P.O. Box 94737 Cleveland, OH 44101-4737 Tel. (216) 642-66-00 Gases & Chemicals Division Phone:81-44-329-0707 81-44-329-0760 Fax:81-44-329-0797 Tel: 053-582-4148/9 Fax: 053-585-3205 12 1.3. Характеристика продукции. Общие свойства. ТФА представляет собой токсичный, неогнеопасный, бесцветный газ, не обладающий запахом. Основная область применения – используется в полупроводниковой промышленности в процессе очистки и плазменного травления кремниевых пластин. Является альтернативой перфторуглеродам, использующимся для этих же целей. Обладает рядом преимуществ, которые определяют постепенный отказ в последние годы от перфторуглеродов, главное из которых состоит в его большей экологической безопасности. ТФА представляет минимальную опасность для окружающей среды, вследствие своей инертности и низкой растворимости в воде при нормальных условиях. Также он не представляет такой опасности для озонового слоя земли, как другие применяющиеся для таких же целей вещества. Поскольку ТФА с водой при нормальных условиях не реагирует, а также очень плохо растворяется, то опасность загрязнения водных ресурсов, в случае его утечки при отгрузке минимальна. Однако при повышенных температурах (более 3000 С) ТФА диссоциирует в реактивную разновидность фтора, которая реагирует с большинством материалов. В таблице 1.2. приведены общие физические и химические свойства ТФА. Таблица 1.2. Физические и химические свойства ТФА. Характеристика Температура кипения Температура замерзания Молекулярная масса Критическая температура Критическое давление Растворимость в воде Плотность газа (1 атм, 700 F) Плотность жидкости (1 атм, - 200,20 F) Стандартная энтальпия образования при 0 К Стандартная энтальпия образования при 298 К Энергия образования Гиббса при 298 К Значение - 200,20 F (- 1290 C) - 340,20 F (- 206,80 C) 71,002 - 38,50 F (- 39,30 C) 44,02 атм (4,46 Mpa) 1,43 x 10-5 моль (1 атм/220С) 2,95 кг/м3 1554 кг/м3 - 28,43 ккал/моль - 29,8 ккал/моль - 21,4 ккал/моль ТФА выпускается разной степени очистки. В микроэлектронном производстве, при плазменном травлении кремниевых подложек применяется ТФА, степень чистоты которого не менее 99,99%. ТФА, содержащий большее количество примесей, применяют на начальной стадии очистки кремниевых пластинок. Таблица 1.3. Степень чистоты ТФА, заявляемая поставщиками и производителями. Компания Anderson Development Company (Mitsui Chemicals) Air Products Kanto Denka Kogyo co., ltd Praxair Пр/По* Пр Пр Пр По* Чистота ТФА, % 99.999 99.99 99.995 99.9 99.5 99,0 99.99 99.99 99.7 13 Scott Semiconductor Gases По* Korea Standart Gas Matheson-tri-gas По* По* Speciality Gases of America Пр 99.99 99.9 99.998 99.995 99.99 99.9 99.999 99.7 Упаковка и транспортировка. является токсичным веществом, поэтому при его хранении и транспортировке выполняется ряд требований. Наиболее распространены семь типов контейнеров высокого давления, которые используются основным производителем АРС для перевозки ТФА, включая тубы и тубодержатели, позволяющие транспортировать до 4300 тонн продукта. Материалы изготовления – различные виды стали, никелевые сплавы. Баллоны комплектуются различными типами клапанов, сильно различающимися по цене (например, CGA 330 ~ 40$, CGA 640 ~ 300$). ТФА Таблица 1.4. Классификация баллонов в зависимости от размеров (рабочее давление 100 бар). Характеристика Y A B C D-1 D Размеры, дюйм 24 x 90 9 x 55 9 x 51 7 x 33 7 x 19 4 x 17 Размеры, см 61 х 229 23 х 140 23 х 130 18 х 84 18 х 48 10 х 43 Максимальный объем 71,6 7,6 7,3 2,8 1,2 0,5 ТФА*, м3 Масса NF3, кг 195,45 22,73 20,0 7,33 3,18 1,36 *рассчитано для газа, находящегося под давлением 1 бар и температуре 15С. Существуют и другие по размерам баллоны, рассчитанные на другое давление . Например, ТФА от фирмы Messer (Германия) предлагается в баллонах под давлением 52 и 43бар. Кроме того фирмы, не являющиеся производителями ТФА, но участвующие в процессе заполнения баллонов под давлением, часто имеют собственную систему маркировки этих баллонов. Компании, работающие с АРС как дочерние transfill-предприятия (заполнение емкостей под давлением, анализ и сертификация продукции), также могут использовать свои баллоны и соответственно свою их маркировку. Например, Showa Denko K.K. использует заполнения ТФА баллоны 10 и 47 литров с размерами 14х85 и 23,2х137 мм. Торговые названия ТФА как таковые присутствуют только у АРС. Основной производитель предлагает следующие торговые названия в зависимости от степени чистоты ТФА : CP (99,0), Electronic (99,5%), VLSI (99,9%), Megaclass (99,995%). Упакованному продукту соответствует номер спецификации, в котором первые 6 цифр идентифицируют степень очистки газа, а следующие за ним буква или буква и цифра обозначают тип используемого баллона. Например, спецификациооный номер 430600D1 у АРС обозначает сжиженный при 100 бар ТФА с чистотой 99,995% (Megaclass) в баллоне типа D1 (Cм. Табл.1.4.). Западные поставщики ТФА чаще всего упоминают продукцию степени чистоты, соответствующей Electronic и Etchant . Это, например, собственно Electronic и Etchant у Scott Semiconductor Gases (но несколько ниже чем у АРС показатели примесей – см. табл. 1.6) или спецификации N30 и N40 у Air Liquide. Поставщики в странах ТОР – степени чистоты Electronic и VLSI (часто обозначают ULSI). 14 Но обычно поставщики и остальные производители не используют никаких торговых названий, ограничиваясь спецификационными номерами. Например, ТФА производства японской фирмы CG имеет спецификационный номер 306С, а поставляемый фирмой Praxair – С57. Однако спецификационные номера – это внутренний учет каждой фирмы, они не являются торговыми марками или торговыми названиями, и при заказе ТФА ссылка покупателя на них обычно не обязательна. Пока на рынке мало производителей, ТФА чаще всего в каталогах обозначен своим обычным химическим названием. Таблица 1.5. Торговые марки и их характеристики для ТФА, предлагаемого Air Products. Марка\Степень чистоты\ спецификационный номер CP 99,0% 40004 Electronic 99.5% 40010 VLSI 99.9% 40034 Megaclass 99.995% 40090 Примеси Мах концентрация Компонент (ppm)* CF4 5000 CO 50 CO2 50 H2O 5 N2 3000 N2O 200 O2 + Ar 5000 SF6 200 O2 700 N2 700 CO 25 CO2 25 CF4 1500 H2O 1 N2O 50 SF6 50 HF 0.3 O2 50 N2 50 CO 10 CO2 10 CF4 700 H2O 1 N2O 10 SF6 50 HF 0.3 O2 + Ar 6 N2 10 CO 0.5 CO2 4 CF4 25 H2O 1 N2O 2 SF6 1 HF 1 Таблица 1.6. Показатели чистоты ТФА, предлагаемого Scott Semiconductor Gases(ppm) Electronic 99.9% Etchant 99.99% <635 < 50 < 50 < 10 <1 < 0.3 < 50 <2 < 2.5 <2 < 0.25 < 1.5 Примеси CF4 N2 O2 + Ar CO2 H2O HF 15 < 50 < 10 < 10 SF6 N2O CO < 20 <3 - Таблица 1.7. Показатели чистоты ТФА, предлагаемого Chengdu Beyond Chemicals Примеси CO2 CO CF4 N2 N2O O2 SF6 H2O (Степень очистки 99,8%) Содержание, макс.,ppm 80 130 500 100 80 100 25 1 Информация о ТФА со степенью чистоты менее 99% обычно не размещается зарубежными производителями в каталогах. Степень очистки российского ТФА, производимого на опытном предприятии ГИПХ в пос.Кузьмолово – 98,5%. Ниже приводятся технические требования и другая информация производителя об этой продукции. 1. Наименование продукции Азорит Химическая формула: NF3 (трифторид азота) 2. Область применения Трифторид азота применяется для плазмотравления, в микроэлектронике. При заказе указывают: Трифторид азота по ТУ 6-02-2-852-85 3. Технические характеристики 1. Технические требования Трифторид азота газообразный представляет собой бесцветный газ, не обладающий запахом, с массовой долей не менее 98,5%. Молекулярная масса (по международным атомным массам 1985 г.) – 71 Плотность газа – 3,17 кг/м3 Температура кипения – минус 129оС Температура замерзания – минус 206,8оС По физико-химическим показателям трифторид азота должен соответствовать требованиям и нормам, указанным в таблице: Наименование показателя 1. Объемная доля трифторида азота, %, не менее 2. Объемная доля примесей азота и кислорода, %, не более Норма 3. Объемная доля воды, %, не более 0,008 98,5 1,5 2. Требования безопасности 2.1. Трифторид азота при нормальной температуре является не горючим токсичным газом. Предельно-допустимая концентрация трифторида азота в воздухе зоны производственных помещений 0,5 мг/м3. Трифторид азота относится ко 2 классу опасности по ГОСТ 1.1.005-88. 2.2. Трифторид азота очень опасен при вдыхании, поэтому необходимо создать полную герметичность аппаратуры, а все работы с ним проводить в помещениях с действующей приточно-вытяжной вентиляцией. 16 2.3. Заметное взаимодействие трифторида азота с металлами начинается при температуре свыше 350 оС. Газовые смеси трифторида азота с водородом, парами воды, метанолом, аммиаком и другими газами, которые могут окисляться, взрывоопасны при инициировании (искра, открытый огонь). В помещении, где проводят работы с трифторидом азота, запрещается курить и проводить огневые работы. 3. Правила приемки 3.1. Трифторид азота поставляют партиями. Партией считают 1-10 баллонов, заполненные одновременно, однородного по качеству продукта, оформленные одним документом о качестве – паспортом. Паспорт должен содержать: - наименование завода-изготовителя или его товарный знак; - наименование продукта; - номер партии; - номер баллона; - массу нетто; - дату изготовления; - дату проведения анализа; - показатели качества продукта по результатам проведенных анализов или подтверждение о соответствии качества продукта требованиям настоящих ТУ; - обозначение настоящих ТУ. 3.2. Для проверки качества продукта на соответствие его показателей требованиям настоящих ТУ отбирают среднюю пробу партии. 3.3. При получении неудовлетворительных результатов анализа партии бракуют и производят дополнительную очистку. 4. Упаковка, транспортирование и хранение 4.1. Трифторид азота закачивают в баллоны по ГОСТ 949-73 вместимостью 5-40 дм3 и максимальным рабочим давлением до 11 МПа. 4.2. Баллоны перед заполнением должны быть вымыты и высушены горячим азотом при температуре 70-100оС, а затем отвакуумированы. 4.3. Трифторид азота транспортируют мелкими отправками автомобильным транспортом предприятияпотребителя. 4.4. Баллоны с газообразным трифторидом азота хранят в вытяжных шкафах или в вентилируемых боксах. 5. Гарантии изготовителя 5.1. Изготовитель гарантирует соответствие продукта требованиям настоящих ТУ при соблюдении потребителем условий применения, транспортирования и хранения, установленных настоящими ТУ. 5.2. Гарантийный срок хранения трифторида азота устанавливается 5 лет со дня изготовления. 4. Возможные объемы поставок: существующие – до 10 тонн/год потенциальные – до 15 тонн/год 17 1.4.Оценка мирового объема производства. Исходя из опубликовавших данные о производственных мощностях и об объемах потребления ТФА, можно оценить текущий мировой объем производства в 1,2 – 1,6 млн. тонн. Оценка произведена, исходя из следующих посылок. Суммарные мощности всех производителей ТФА в мире в 1999 году составляли 1990000 фунтов (900 тонн). Прогноз развития мощностей на 2001 год был приведен осенью 2000 г. на одной из конференций The Information Network, он составила 5582000 фунтов (2,5 млн.тонн) (См. таблицу 1.8. ) . Однако на реальные объемы производства, очевидно, все же оказал влияние небывалый спад на рынке полупроводников, произошедший в 2001 году. (См. также п.3.1) Так, например, об АРС было отмечено в прессе, что к марту 2001 года он выпускал 1,35 млн. фунтов (615 тонн) ТФА, что примерно в 1,8 раза менее запланированной на середину этого года мощности. Кроме того, есть сомнения в освоении мощностей такими производителями как Advanced Specialty Gas, BOС и китайским производителем. Относительно производителя из России известно, что мощность по азориту (марка ТФА) составляет сейчас 10 тонн. Это также менее, чем проставленные в таблице 23 тонны. Ориентировочный объем загрузки имеющихся мощностей оценивался примерно в 80%. Кроме того, данные по мощностям были посчитаны авторами, исходя из заявлений в прессе, в устных интервью и на совещаниях представителей самих предприятий, в то время как оценка реального потребления исходила из статистики продаж нового оборудования, предоставляемой ответственными ведомственными структурами. Таблица 1.8. Производственные мощности по выпуску трифторида азота (1999-2001) (The Information Network) Производитель Страна Air Products Advanced Specialty Gas BOС Central Glass Konto Denka K. Mitsui Chem. Ministry of Nuclear Departament ГИПХ Итого США США Ю. Африка Япония Япония Япония/США Китай Россия 1999 фунтов тонн 988000 450 100000 45 0 0 220000 100 352000 160 330000 150 - 2001 год фунтов тонн 2400000 1090 180000 80 550000 250 440000 200 880000 400 880000 400 200000 90 > 11000 1990000 50000 5582000 >5 910 23 2533 18 1.5.Ценовая ситуация. С момента выхода на мировой рынок и до 2002 года цены на ТФА или поднимались или сохраняли свой уровень, но снижения не наблюдалось. Это характерно для рынка продавца, каким и является сегодня мировой рынок ТФА. На рынке присутствуют многие сотни потребителей, и их количество постоянно увеличивается вместе с уровнем совокупного спроса в то время, как производителей пока очень мало – менее десятка. Средние цены на ТФА с высокой степенью очистки (99,99 и 99,999%) в 1998/99 годах составляли $100-120 за фунт (0,454 кг), далее они непрерывно росли до $200 в 2000-м, $250 в 2001-м и $270 – в первой половине 2002 года. (См таблицу 1.9.) Это те цены, которые платят конечные потребители продукции - предприятияпроизводители полупроводников и ЖКП. При этом объемы потребления разными предприятиями могут значительно различаться. Но поскольку среднегодовой расход ТФА одной среднестатистической установки плазмохимического травления обычно не превышает 700 кг, то, очевидно, вряд ли годовые объемы закупок большинства предприятий, выпускающих микроэлектронную продукцию, выходит за рамки тонны. Крупнейшие предприятия-потребители (такие как IBM) и крупные фирмы-посредники совершают сделки на более крупные объемы ТФА. Однако сведения о таких сделках далеко не всегда попадают в статистику (или попадают с искаженной информацией), кроме того, условия таких поставок могут учитывать партнерские или дочерние-материнские отношения фирм, обмен технологиями, оборудованием и т.п. Влияние степени чистоты ТФА на цену продукта ощутимо. Разница в цене между ТФА со степенью очистки 99,99% и 99,9% составляет порядка 15%, между ТФА со степенью очистки 99,999% и 99,99% примерно 25%. Продукция со степенью очистки 70% практически нигде не упоминается как товарная. Цены на реализуемый потребителям ТФА также очень зависят от объема, расфасовки продукта и используемой тары. Например, стоимость мелкорасфасованных порций ТФА, исчисляемых граммами (используются для некоторых приборов как стандартный газ), может превышать в 3-5 раз цену того же продукта, реализуемого в 44литровом баллоне. Стоимость баллона также существенно влияет на конечную цену продукта, особенно стоимость конкретной марки запорного вентиля. ТФА пока еще не является биржевым товаром в обычном понимании этого слова, т.е. не существует открытых котировок его продаж на биржах. Сделки между поставщиками и покупателями заключаются в ходе двусторонних переговоров и цена часто является предметом торга. Поэтому, хотя небольшая часть предложений попадает в каталоги (табл.1.12) и часть во внешнеэкономическую статистику, эти сведения все равно не позволяют вывести т однозначных котировок текущих цен. Таблица 1.9. Данные о ценах на ТФА из прайс-листа Scott Semiconductor Gases (июль 2002). Баллоны: (емк.в л) A (44 l ) TB (16 l ) C (7 l ) Содержание, lbs. 44 16 7 Давление при 70 oF, psig/бар 1,45/0,1 1,45/0,1 1,45/0,1 A TB C Тип газа Степень чистоты 19 Electronic Etchant 99.9% 99.99% $12,160.00 $14,190.00 $5,680.00 $3,960.00 $4,630.00 Примечание к разделу 1.5. По конфиденциальным сведениям, полученным от российского разработчика ТФА (ПИМ-инвест), ему были предложены следующие цены за промышленные партии ТФА с уровнем чистоты 98,5%: $200/кг (Hannywell, США) $120-140/кг (Daikin, Япония) $160-179/кг (Samsung, Ю.Корея) 20 2. Оценка объемов потребления и спроса по странам. 2.1. Производство полупроводников. Мировой рынок газов для производства полупроводников принято делить на два сектора – электронные газы и специальные. К первым относят, в основном газы транспортировки – азот, жидкий азот, водород и другие. Вторая категория включает газы, участвующие в процессах чистки, формирования тонких слоем, нанесения масок и т.д. как непосредственные реагенты. Специальные газы используются в меньшем количестве, но в то же время имеют более высокие цены из-за особых требований к их чистоте. ТФА наряду с другими перфторкомпаундами входит в категорию специальных газов. В середине 1990х годов, когда еще только готовились основные международные соглашения по экологическим требованиям к выбросу парниковых газов и когда далеко не все производители полупроводниковых микроэлементов были осведомлены о наличии эффективной альтернативы использующимся перфторкомпаундам в процессах плазменной обработки кремниевых пластин, мировой спрос на ТФА оценивался в 40-50 тонн в год. Причем формировался он в первую очередь за счет крупнейших фирм-производителей с мировым именем, традиционно занимающих лидирующую позицию в вопросах внедрения новых технологий. Так, известная американская фирма IBM активно использовала ТФА в смеси с гелием в производстве микроэлектронных элементов памяти и логики на своем заводе в Essex Jct., VT еще в 1995 году, в результате чего наряду с экологическим выигрышем смогла добиться еще общего снижения себестоимости процесса изготовления микроэлементов почти в 3 раза на единицу поверхности кремниевой пластины. Сейчас спрос на ТФА резко растет вверх, несмотря на неустойчивость рынка полупроводников в целом (См. также п.3.1.) Газовый сектор был в последние три года году единственным, имеющим ежегодную прибыль в сфере полупроводникового бизнеса. Объем мирового газового рынка в 2001 году составил 2,3 млрд. долларов, по предварительным прогнозам объем этого рынка в 2002 году должен составить 2,7 млрд. долларов, из которых 1,63 млрд. долларов, как ожидается, должны приходиться на специальные газы. В количественном выражении объем потребления ТФА на в производстве полупроводников в 2001 году составлял около 850 тонн, в 2002 году он должен будет составить порядка 1-1,2 млн. тонн. Основные потребители ТФА – заводы по выпуску полупроводниковых микроэлементов (fabs) и предприятия, занимающиеся производством жидкокристаллических дисплеев. Соответственно, территориальное распределение потребителей отвечает географии расположения производственных мощностей по выпуску этой продукции. В настоящее время в мире насчитывается порядка тысячи заводов или четыре с половиной тысячи производственных линий, использующих кремниевую технологию в производстве микроэлементов. По оценке западных аналитиков примерно 40% из них используют в техпроцессах ТФА в качестве специального газа. Причем этот показатель непрерывно растет, в первую очередь за счет производителей, использующих наиболее современную технологию на кремниевых пластинах 300мм. Основной бум ввода новых мощностей по производству интегральных микросхем и других видов микроэлектронных компонентов приходится на страны Тихо-Океанского региона (ТОР). Так, за период, прошедший с середины 2001 года инвесторами было проанонсировано открытие в ближайшие сроки 84 заводов, из которых 52 располагаются в странах ТОР. Кроме того, в новые мощности по производству полупроводников в трех ведущих странах ТОР – Японии, Корее и Тайване - за два последних года (2000-2001) было инвестировано 35,3 млрд. долларов, что соответствует 47% всех мировых инвестиций в эту сферу. Наиболее крупными потребителями ТФА сегодня являются страны (в % объема мирового потребления): 21 США – 28 Япония – 22 Тайвань –17 Ю.Корея – 8 Страны Европы – 13, В т.ч. Германия – 3,5 Франция - 2 Италия –1,5 Великобритания –1,5 Нидерланды – 1,0 Самыми быстрыми темпами в последнее время росла доля Тайваня. Если в 1999 году страна потребляла не более 50 тонн ТФА, то в 2002 году тайваньские производители определили свою потребность в продукте в 200 тонн. На долю остального мира приходится 12%. Из оставшихся наиболее активными и перспективными потребителями считаются страны ТОР : Малайзия, Сингапур, ГонКонг, Китай. Особенно следует отметить Китай, представляющий собой крупнейший региональный сектор мирового рынка микроэлектроники. Китай остро заинтересован в развитии собственных мощностей по производству современных полупроводниковых материалов. Пока же из четырех используемых в стране микросхем три ввезены из-за рубежа. Таблица 2.1. Распределение мощностей по выпуску микроэлектронных компонентов (Wafer – processing) по странам и регионам (2002, оценка с учетом анонсов фирм о вводе новых мощностей). Количество предприятий 190 341 334 209 1074 Европа Япония США Страны ТОР Всего % 18% 32% 31% 19% Мощность в эквиваленте КП 200мм, пластин в год 1714660 3152102 2555987 3920838 11343587 % 15% 28% 22,5% 34,5% рис. 2.1.Распределение производственных мощностей по производству полупроводников в мире 15% Европа 34% Япония США и Канада 28% Страны ТОР и прочие 23% 22 2.2. Производство жидкокристаллических панелей (ЖКП). В производстве ЖКП ТФА используется на стадии обработки стеклоосновы (glass substrate) для плоского экрана. Как и в сфере производства микросхем, ТФА используется в технологии плазменного травления силиконового слоя (для образования тонкопленочных транзисторов – Thin film transistor (TFT), и объемы его использования во многом зависят от скорости продвижения новых технологий и нового оборудования, предусматривающего использование ТФА в техпроцессе. 90% всего рынка ЖКП занимают четыре позиции – мониторы для персональных компьютеров, ноутбуки, плоскопанельные телевизоры и мобильные телефоны. Основной объем производства тонкопленочных транзисторов для ЖКП сосредоточен в странах ТОР, а именно всего в трех из этих стран – Японии, Южной Корее, Тайване. Другие страны (например, Китай, ГонКонг), выступающие на рынке также как производители ЖКП, можно не рассматривать как серьезных потребителей ТФА, поскольку в подавляющем большинстве случаев их производители заняты на других стадиях процесса создания ЖКП – сборка, тестирование и т.п. Соотношение перечисленных стран в бизнесе ЖКП в течение последних лет сильно менялось. Япония, которая в 1999 году была основным производителем ЖКП и соответственно наиболее крупным потребителем ТФА в секторе ЖКП, уступила сейчас (2002) лидерство Южной Корее, позиции которой в свою очередь теснит Тайвань. Это связано в первую очередь со сменой производственных приоритетов стран. Известно, что японские производители в последнее время в большей степени сфокусировали свои усилия на производстве панелей малых размеров (мобильная телефония, электронные записные книжки и т.д.), в то время как тайваньские предприятия активно разрабатывают компьютерное направление, а корейские фирмы – новые поколения потребительских товаров, где самый крупный сегмент – телевизоры. Общий объем потребления ТФА в секторе производства ЖКП составил в 2001 году примерно 150 тонн, из которых оценочно на долю Южной Кореи приходилось 60 тонн, Тайваня 50 тонн и Японии – 40 тонн. Тайваньские производители ЖКП планируют дальнейшее наращивание своих мощностей по выпуску новых поколений продукции с использованием новейших технологий и нового оборудования. К концу 2004 года они предполагают занять в мировом производстве ЖКП нишу 49,2% с объемом потребления ТФА – 100-120 тонн. Таблица 2.2. Оценка потребления ТФА крупнейшими странами-потребителями (к началу 2002 года). Страна США Япония Тайвань Южная Корея Остальной мир Итого: Потребление (ИС + ЖКП), тонн 240 225 200 125 210 1000 Доля, % 24 22,5 20 12,5 21 100 23 2.3. Потенциальные потребители. Таблица 2.3. Потенциальные потребители – крупнейшие производители микроэлектроники и жидкокристаллических панелей. № Компания Контактные сведения 1. Cypress Semiconductor 2. Acer Inc. (Hsin-Chu) 3. ADI Corporation 4. AMD 5. ATMEL San Jose 3901 North First Street San Jose, CA, U.S.A. 408-943-2600 (phone) 408-943-2796 (fax) 7, Hsin An Road, Hsin-Chu Science-Based Inductrial Park, Hsin Chu Tel.: (03) 577-07-07 Stock Office 7F, 137, Sec. 2, Jiann-Gwo North Rd., Taipai, R.O.C. Tel.: (02) 2509-2368 Acer Inc. 21F, 88, Sec.1, Hsin Tai Wu Rd., Hsichin, Taipei, Hsien 221, Taiwan, R.O.C. Tel.: (02) 26961234 Taipei Head Quarters 4F, No.2, Lane 235, Bauchiau Rd. Shindian City Taipei 231 Taiwan, R.O.C. Tel: 886-2-8911-5123 Fax: 886-2-8911-8177 WWW: www.adi.com.tw E-mail: Marketing@mail.adi.com.tw Headquarters One AMD Place P.O. Box 3453 Sunnyvale CA U.S.A 94088 408-732-2400 800-538-8450 USA 2325 Orchard Parkway San Jose, CA 95131 6. California Micro Devices USA 7. Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd 8. Compal 430 N. McCarthy Blvd. Milpitas, CA 95035-5112 (408) 263-3214 60 Woodlands Industrial Park D Street Two, Singapore 738406 Tel: (65) 6362.2838 Fax: (65) 6362.2938 Taipei Office Tel.: 886-2-87978588 Fax: 886-2-26585001 No. 581 Jui-Kuang Rd. Neihu, Taipei, Taiwan,114 PCP Office Tel.: 886-3-4391707 Fax: 886-3-4391724 9. Conexant Systems, Inc. USA EM Microelectronic-Marin 4311 Jamboree Road Newport Beach, CA 92660-3095 Phone: (949) 483-4600 Fax 1: (949) 483-4078 Fax 2: (949) 483-4391 Rue des Sors 3, CH-2074/Switzerland 10. 24 11. Fairchild Semiconductor 12. Fujitsu 13. General Semiconductor 14. 15. Hitachi, Ltd. Hynix Semiconductor Inc. 16. IBM Corporation 17. Infineon 18. Intel Corporation 19. International Rectifier 20. Intersil Corporation Phone +41(0)32.755 5111 Fax +41(0)32.755 5403 82 Running Hill Road South Portland, ME 04106 U.S.A. Tel: 207-775-8100 Tel: 800-341-0392 (outside Maine) Tel: 800-832-5505 (inside Maine) Marunouchi Center Building 1-6-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8211 http://www.fujitsu.com tel. 81-3-3216-3211 USA 10 Melville Park Road Melville, NY 11747-3113 Phone: (631) 847-3000 Fax: (631) 847-3236 6, Kanda-Surugadai 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8010, Japan phone:+81-3-3258-1111 Semiconductor & Integrated Circuits Dividion, Hitachi, Ltd. Nippon Building 6-2 Otemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-1002 Japan TEL: (81) 3-3270-2111 Hitachi Semiconductor (America) Inc. 179 East Tasman Dr. San Jose, CA 95134 Tel: (408) 433-1990 Fax: (408) 433-0223 South Korea San 136-1 Ami-ri Bubal-eub, Ichon, Kyonggi-do, Phone: +82-31-630-4114 Fax: +82-31-630-4103 http://www.hynix.com United States 3101 North First Street San Jose, CA 95134 Phone. 408. 232. 8000 1133 Westchester Avenue White Plains, New York 10604 United States Germany St.-Martin-Str. 53 81541 Munich GM Phone: (899) 221-4086 Fax: 8992212071 Web Site http://www.infineon.com 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, California 95052 USA Tel: 408-765-8080 Fax: 408-765-9904 Mexico 233 Kansas St. El Segundo, CA 90245 phone (310)726-8000 fax (310)322-3322 USA 7585 Irvine Center Drive 25 21. JDS Uniphase Corporation 22. Linear Technology 23. Macronix International Co 24. 25. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Micron Technology, Inc. 26. Microsemi Corp. 27. Mitel Semiconductor Inc. 28. Mitsubishi Corporation, 29. Nanya Technology Corporation 30. NEC Electronics Inc Suite 100 Irvine, CA 92618 TEL: (949) 341-7000 FAX: (949) 341-7123 3000 Merivale Road Ottawa, Ontario Canada K2G 6N7 Tel Fax 613 843-3000 613 843-3333 USA 720 Sycamore Dr. Milpitas, CA 95035 (408) 432-1900 16, Li-Hsin Road, Science -Based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C. Tel: +886-3-5786688 Fax: +866-3-563-2888 1006, Kadoma, Kadoma City, Osaka 571-8501, Japan TEL+81-6-6908-1121 USA 8000 S. Federal Way, P.O. Box 6 Boise, ID 83707-0006 Phone: (208) 368-4400 Fax: (208) 368-4435 2381 Morse Avenue Irvine, CA 92614 USA Phone: (949) 221-7100 Fax: (949) 756-0308 360 Leggett Dr. Kanata, ON, K2K 1X3, Canada Tel: 613-592-2122 ext.6757 Fax: 613-592-6909 E-Mail: lars-goran_bodin@mitel.com Website: www.mitelsemi.com Mitsubishi Corporation, 6-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8086 Japan Telephone:81-3-3210-2121 Facsimile:81-3-3210-8935 IT& Electronics Business Group: ite-group@org.mitsubishicorp.com Head Office HWA YA Technology Park 669, Fu Hsing 3rd Rd. Kueishan Taoyuan, Taiwan R.O.C. Tel║G886-3-3281688 Fax║G886-3-3960997 Customer service center Tel║G886-3-3962223 mllin@ntc.com.tw Nanya Technology Corporation USA: 675 E.Brokaw Rd., San Jose, CA 95112 USA Tel: (408) 441-7819 ext. 15 Fax: (408) 441-6578 Japan United States Corporate Headquarters 2880 Scott Boulevard Santa Clara, CA 95050-2554 Tel: (408) 588-6000 26 Literature/technical support: (800) 366-9782 31. Oki Electric Industry Co Manufacturing Plant 7501 Foothills Boulevard Roseville, CA 95747-6565 Tel: (916) 786-3900 Silicon Solution Company, 10-3, Shibaura, 4-chome, Minato-ku, Tokyo 108-8551, Japan, Tel.: +81-(0)3-5445-6027, Fax.: +81-(0)3-5445-6058, brenner595@oki.co.jp 785 North Mary Avenue, Sunnyvale, CA 94085, U.S.A., Tel.: +1-408-720-1900, Fax.: +1-408-720-1918, 32. ON Semiconductor 33. Powerchip Semiconductor Corp. 34. Powerex Inc 35. QUANTA 36. Raytheon RF Components 37. ROHM CO., LTD 38. Samsung Semiconductor, Inc. 39. Sanken Electric Head Office Europe, Hellersbergstraße 2, D-41460 Neuss, Germany, Tel: +49-2131-15960, Fax: +49-2131-103539 5005 East McDowell ROAD Phoenix, Arizona 85008 USA Tel:602.244.6600 Corporate Headquarters & Fab I Address No. 12, Li-Hsin Rd. 1, Science-based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C. Tel 886-3-5795000 Fax 886-3-5788565 Pennsylvania, USA 200E. Hillis Street, Youngwood, PA 15697 phone: (724) 925-7272 marketing fax: (724) 925-4393 Registered office: No.4, Wen Ming 1st Street, Kuei Shan Hsiang, Taoyuan Shien, Taiwan, ROC Principal executive office: No. 188 Wen Hwa II Road, Kuei Shan Hsiang, Taoyuan Shien, Taiwan, ROC Massachusetts USA 362 Lowell Street Andover, MA 01810 978.684.8900 Fax: 978.684.5452 21, Saiin Mizosaki-cho, Ukyo-ku, Kyoto 615-8585, Japan TEL(075)311-2121 FAX(075)315-0172 3655 North First Street San Jose, CA. USA 95134 Tel: 1-408-544-4000 Fax: 1-408-544-4980 6th Fl. SK Seungmyong B/d. 168, Kongduk-dong, Mapo-ku, Seoul. Zip 121-705 Korea Telephone 27 40. 41. Seiko Instruments Semefab (Scotland) Ltd 42. Semicoa - 43. Sensitron Semiconductor 44. Sharp Microelectronics of the Americas 45. Shindengen Electric Manufacturing Company, Ltd. (SEM), Shindengen America, Inc. 46. Solid State Devices, Inc. 47. 48. Sony Electronics Inc. Core Technology Solutions Company Semiconductor Solutions Division STMicroelectronics 49. Supertex's Corporate Sales/Managing Department - 02-714-3700 Technical Department - 02-3275-2600 Fax 02-3272-2145 Tel (310) 517-7771 Newark Road South Eastfield Industrial Estate Glenrothes Fife KY7 4NS Scotland Tel +44 (0)1592 630 630 Fax +44 (0)1592 775 265 California- USA 333 Mc Cormick Ave. Costa Mesa, CA 92626 phone: 714-979-1900 fax: 714-557-4541 New York 221 West Industry Court Deer Park, NY 11729-4681 Tel: (631) 586-7600 Fax: (631) 586-7652 sales@sensitron.com 5700 NW Pacific Rim Blvd. Camas, WA 98607 Phone: 360-834-2500 2985 East Hillcrest Drive Suite 140 Westlake Village, CA 91362 Telephone: (800) 634-3654 Fax: (805) 373-3710 E-mail: customerservice@shindengen.com 14380 Valley View Ave. * La Mirada, Ca 90638 Tel: (562) 404-4474 * Fax: (562) 404-1773 3300 Zanker Road San Jose, CA 95134 Tel (408) 432-1600 STMicroelectronics Zone Industrielle de Rousset 13106 ROUSSET cedex Tel: + 33 4 42 68 88 00 Fax: + 33 4 42 53 22 88 STMicroelectronics Centre commum CNET - ST 850, rue Jean Monnet - BP 16 F-38926 CROLLES Cedex Tel: + 33 4 76 92 60 00 Fax: + 33 4 76 08 98 25 STMicroelectronics K.K. Shinagawa - INTERCITY Tower A 2-15-1, Konan, Minato-Ku TOKYO 108-6018 Tel: +81 3 5783-8200 Fax: +81 3 5783-8216 Headquarters: 1235 Bordeaux Drive Sunnyvale, CA 94089 Phone: (408) 744-0100 Fax: (408) 222-4800 (408) 222-4895 Supertex's Wafer Foundry: 71 Vista Montana San Jose, CA 95134 28 50. Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. (TSMC) 51. Teccor Electronics 52. Teledyne Electronic Technologies 53. Texas Instruments Incorporated 54. Toko Inc. 55. Toshiba Corporation 56. TriQuint Semiconductor, Inc. 57. United Microelectronics Corp. (UMC) Phone: (408) 222-8888 Corporate Headquarters, Fabs 2 & 5 No. 121 Park Ave. III, Science-Based Industrial Park, Hsin-Chu, Taiwan 300, R.O.C. Tel: 886-3-578-0221 Fax: 886-3-578-1546 Fabs 3 No. 9, Creation Rd. I, Science-Based Industrial Park, Hsin-Chu, Taiwan 300, R.O.C. Tel: 886-3-578-1688 Fax: 886-3-578-1548 WaferTech L.L.C. 5509 N.W. Parker Street Camas, WA 98607-9299 U.S.A. Tel: 1-360-817-3000 Fax: 1-360-817-3590 1800 Hurd Drive Irving, Texas 75038 USA Tel +1 972 580 7777 Fax +1 972 550 1309 12333 West Olympic Blvd, Los Angeles, CA 90064 (Phone) 310-893-1600 Company Headquarters Texas Instruments Incorporated 12500 TI Boulevard Dallas, TX 75243-4136 800-336-5236 Toko Worldwide Headquarters 1-17, Higashi-Yukigaya 2-chome, Ohta-ku, Tokyo, 145-8585 Japan Tel: (03) 3727-1161 Fax: (03) 3727-1176, 1169 E-mail: s.nomoto@toko.co.jp Serving: Asia (other countries), Egypt, Japan Toko America Headquarters Toko America, Inc. 1250 Feehanville Drive Mt. Prospect, IL 60056 Tel: (847) 297-0070 Fax: (847) 699-7864 E-mail: info@tokoam.com Technology Planning Div., Toshiba Corporation, 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 105-8001, Japan Editorial Office: Toshiba Documents Corporation, 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 105-8001, Japan review@toshiba.co.jp 2300 NE Brookwood Parkway Hillsboro, Oregon 97124 United States of America Phone: 503-615-9000 Fax: 503-615.8900 No. 3, Li-Hsin 2nd Road, Science-Based Industrial Park, Hsinchu City, Taiwan, R.O.C. Tel: 886-3-578-2258 Fax: 886-3-577-9392 Email: foundry@umc.com UMC USA 488 De Guigne Drive, Sunnyvale, CA 94085, USA 29 58. United Monolithic Semiconductors (UMS) 59. VIA Technologies, Inc. 60. Vishay Intertechnology, Inc. 61. Westcode Semiconductors Ltd. 62. Winbond Tel: 1-408-523-7800 Fax: 1-408-733-8090 Email:sales@umc.com UMC Europe BV Hogehilweg 19, 1101 CB Amsterdam, The Netherlands Tel: 31-20-697-0766 Fax: 31-20-697-7826 Email:europe@umc.com UMS S.A.S. Route Départementale 128 - BP 46 91401 Orsay Cedex Tel. +33 1 69 33 03 08 Fax. +33 1 69 33 03 09 UMS GmbH Wilhelm-Runge-Strasse 11 D-89081 Ulm Tel. +49 731/5 05-3012 Fax. +49 731/5 05-3005 Taipei Headquarters 8F,533, Chung-Cheng Rd., Hsin-Tien,Taipei,Taiwan Tel: 886-2-2218-5452 Fax: 886-2-2218-5453 Email: mkt@via.com.tw VIA Technologies , Inc.-Beijing 6F, Dascom Tower, 9 Shangdi East Road, Haidian District, Beijing, 100085 Tel: 86-10-6296-3088 Fax: 86-10-6297-2929 Email: mkt@via.com.tw VIA Technologies , Inc.-Shanghai 6F, G Area, No. 668, Beijing East Road, Shanghai, 200001 Tel: 86-21-5365-0056 Fax: 86-21-5308-0574 Email: mkt@via.com.tw VIA Technologies, Inc.-CA Main Office-940 Mission Court, Suite 220 Fremont, CA 94539, USA Tel: 1 510 683 3300 Fax:1 510 687 4654 E-Mail: mkt@via.com.tw VIA Technologies, Inc. -Germany Mottmann Strasse 12. 53842 Troisdorf-Oberlar Germany Tel: 49 2241 397780 Fax: 49 2241 3977819 E-Mail: support@viac3.de E-Mail: sales@viac3.de 63 Lincoln Highway Malvern, PA 19355-2143 United States Phone: (610) 644-13-00 Fax: (610) 296-06-57 P O Box 57 Chppenham Wiltshire England SN15 1JL Tel.: +44 (0) 1249 444524 Fax: +44 (0) 1249 659448 USA 3270 Cherry Avenue Long Beach California 90807 Tel: 562 595 6971 Fax: 562 595 8182 CREATION RD.SITE (Fab II) 30 Add: No. 4, Creation Rd. 3, Science-Based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan 63. WJ Communications, Inc 64. X-FAB Semiconductor Foundries AG 65. Zarlink 66. Zarlink Semiconductor 67. Zetex Semiconductors 68. ZiLOG, Inc. LI- SHIN RD. SITE (Fab IV, Fab V) Add: No. 9, Li-Shin Rd., Science-Based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan Corporate Headquarters (Components and Thin Film) 401 River Oaks Pkwy San Jose, CA 95134-1916 USA Telephone: (408) 577-6200 Fax: (408) 577-6620 GaAs Fabrication 1530 McCarthy Blvd Milpitas, CA 95035 USA Telephone: (408) 433-2222 Fax: (408) 433-5649 X-FAB Semiconductor Foundries AG Haarbergstr. 67 99097 Erfurt, Germany Tel: +49-361-427 6000 Fax: +49-361-427 6111 info@xfab.com X-FAB Texas, Inc. 2301 N. University Ave. Lubbock, TX 79415 USA Tel: +1-806-747-4400 Ext. 2271 Fax: +1-806-747-3111 fabinfo@xfabtexas.com X-FAB UK Ltd. Tamerton Road, Roborough Plymouth, Devon UK PL6 7BQ Tel: +44-1752-693 000 Fax: +44-1752-693 200 info@xfab.com 400 March Road, Ottawa, Canada K2K 3H4 Phone: 613 592-0200 Fax: 613 591-2317 Email: corporate@zarlink.com Web: www.zarlink.com 400 March Road, Ottawa, Canada K2K 3H4 Phone: 613 592-0200 Fax: 613 591-2317 Email: corporate@zarlink.com Web: www.zarlink.com Zarlink operates fabrication centers in Caldicot, Swindon, and Jarfalla. Corporate Headquarters Zetex plc Fields New Road Chadderton Oldham OL9 8NP UK Tel: (+44) 161 622 4444 Fax: (+44) 161 622 4420 ZiLOG Worldwide Headquarters 532 Race Street San Jose, CA 95126 Phone: (408) 558-8500 Fax: (408) 558-8300 31 69. ZMD AG ZiLOG Manufacturing, MOD II 2601 11th Avenue., No. Ext. Nampa, ID 83687 Phone: (208) 468-2600 (#61161) Fax: (208) 468-2601 Corporate Headquarters Grenzstrasse 28 D-01109 Dresden Germany Phone: +49-351-8822 306 Fax: +49-351-8822 337 General Info: info@zmd.de Customer Support: support@zmd.de Sales: sales@zmd.de 32 3. Динамика и прогноз мирового рынка ТФА. 3.1. Динамика и прогноз основных показателей на 10-15 лет. Как уже было отмечено в предыдущих разделах, рынок ТФА в настоящее время один из самых динамичных в сфере бизнеса материалов для микроэлектроники. Если в середине 1990х его объем оценивался в 50 тонн в год, то уже в 1998 оценки реализации составили 230 тонн, в 1999 – 360 тонн, в 2000 и 2001 соответственно 580 и 850 тонн. Производители оборудования для процессов плазменной чистки и травления полупроводников, а также для изготовления жидкокристаллических мониторов ориентируют свои последние модели на использование в технологиях ТФА. Опубликованные прогнозы по рынку ТФА предсказывают его дальнейший рост в ближайшие годы. Robert N. Castellano, президент The Information Network (табл. 3.1.) полагает, что сейчас рынок ТФА находится в точке своего максимального роста и темпы его роста еще будут составлять в ближайшие 2-3 года 20-40% ежегодно. При расчетах прогнозных объемов потребления он ориентируется на количество установленного в мире оборудования для производства полупроводников с учетом ввода новых мощностей. Учитывается также, что ТФА вводится в технологию как более эффективная и экологичная альтернатива перфторуглеродам. Однако процесс вытеснения имеет и свои ограничения. Ранее выпущенное оборудование (например, установки по процессингу кремниевых пластин более ранних серий 200мм и менее) было создано под использование других газов. Кроме того, перфторуглероды дешевле, они менее токсичны и менее взрывоопасны. И, наконец, не прекращаются научно-исследовательские работы по поиску следующих альтернатив. По расчетам Castellano в 1999 году ТФА составлял 34%, а в 2004 году будет составлять 52% от всех используемых в процессах плазменной обработки подложек полупроводников газов. Очевидно, что этот рост, но возможно с меньшими темпами сохранится и на следующие 5-8 лет. Таблица 3.1. Динамика и краткосрочный прогноз развития рынка ТФА. Новое оборудование, ед. Всего установлено, ед. На новом оборудовании С использованием всего оборудования Факт Прогноз (на сент.2000) Доля ТФА в секторе специальных газов(%) 1998 400 1999 473 2000 686 2001 774 2002 822 2003 727 2004 623 1097 1570 2256 3030 3852 4579 5202 1090500/ 496 6868500/ 3122 934500/ 425 7803000/ 3560 Реальное\ожидаемое потребление, фунтов (lbs/тонн) 500000/ 800000/ 227 364 1270849/ 1869769/ 2584118/ 3318020/ 578 850 1175 1508 30,4% 34,0% 37,6% 41,1% 44,7% 48,3% 4049145/ 1840 51,9% Потенциал потребления ТФА, фунтов (lbs/тонн) 600000/ 709500/ 1029000/ 1161000/ 1233000/ 273 322 468 528 560 1645500/ 2355000/ 3384000/ 4545000/ 5778000/ 748 1070 1538 2066 2626 * 1кг=2,2 фунта Прогноз развития рынка ТФА на более длительные сроки должен учитывать также тенденции рынка целевой продукции – полупроводников. Рынок полупроводников в мире подвергается циклическим колебаниям: он то растет, то сокращается. При этом фирмы-участники этого рынка (производители, торговые 33 структуры) периодически то получают прибыль, то терпят убытки. Объем рынка полупроводников по итогам 2001 года, например, оценивался в 139 млрд.долларов , что меньше соответствующего показателя 2000 года на 65 млрд.долларов. Так, по итогам 2001 года уменьшились объемы продаж у всех компаний, входящих в десятку мировых лидеровпроизводителей полупроводников. (См.таблицу 3.2.) Сокращение коснулось как физических объемов продукции, так и отпускных цен. Рис. 3.1. Динамика развития мирового рынка полупроводников (1990-2001), млрд.долл. 250 200 150 100 2001 2000 1999 1998 1997 1996 1995 1994 1993 1992 1991 0 1990 50 Таблица 3.2. Объемы продаж 10 крупнейших производителей полупроводников (2000/2001гг), млн.долл. Компания Продажи в 2001 Продажи в 2000 Intel 22725 29690 Toschiba 7220 11030 NEC 6950 10900 Texas Instruments 6670 10284 ST Microelectronic 6320 7764 Samsung 5100 10572 Motorola 4945 7876 Hitachi 4680 7380 Infineon 4635 6830 Phillips 4360 6307 Источник : журнал Elektronik (ФРГ), №2, 2002,с.5 Изменение,% -23,5 -34,5 -36,2 -35,1 -18,6 -51,8 -37,2 -37,2 -32,1 -30,9 Аналитики выделяют даже отдельные стадии в развитии цикла : 1) преобладания продавцов над покупателями, Weak Market (1989-1992; 1996-1999) 2) осуществления низких капитальных затрат, Low Capital Spending (1989-1992; 1997-1999) 3) ввода небольших новых мощностей, Little New Capacity (1989-1993; 1998-1999) 4) умеренного роста средних цен продаж, Increasing ASPs (1993-1995; 1999-2001) 5) бурного роста цен, Strong Market (1993-1995; 2000-2001) 6) высоких капитальных затрат, High Capital Sending (1994-1996; 2000-2001) 7) устойчивого роста новых мощностей, Strong New Capacity (1995-1996; 2002-2003) 8) снижения средних цен продаж(1996-1998; 2002-2003) 34 Как следует из предложенной схемы, циклы повторяются, но их продолжительность все же различается. В качестве вероятной причины, влияющей на подъемы-падения электронного рынка, можно отметить не только общее состояние мировой экономики с присущими ей взлетами и провалами, но и характерную для рынка высокотехнологичных разработок особенность – быстрое устаревание казалось бы недавно разработанных технологий. То, что казалось самым современным и передовым 3-4 года назад (а иногда и год-два назад), зачастую уже не нравится потребителям, пристально следящим за новинками в мире электроники, и потому раскупается плохо. Производители вынуждены периодически снижать цены на стремительно устаревающую продукцию. Анализ мировой статистики показывает, что спады рынка полупроводников ранее также происходили в 1971, 1975, 1981, 1985, 1996 годах, но нынешнее сокращение рынка – 32% побило все рекорды и аналитики склонны считать, что 2001 год - это была низшая точка развития и далее рынок будет постепенно оздоровляться. Прогноз на будущее: 2002 – 143,3 млрд.долларов, 2003 – 176,5 млрд.долларов, 2004 – 213,4 млрд.долларов, 2005 – 215,3 млрд.долларов, 2010 – 750 млрд.долларов. В качестве примера влияния тенденций рынка целевой продукции на рынок материалов можно привести рынок кремниевых пластин-подложек (КП). Рынок КП в целом подвержен таким же колебаниям спроса как и рынок полупроводников, так как практически все полупроводники сейчас изготавливаются на базе КП. В 1999 году в мире было реализовано 4397 млн.кв.дюймов кремниевых пластин-подложек, в 2000 году – 3940 млн.кв.дюймов, а в 2001 – 5551 млн.кв.дюймов. Прогноз SEMI на 2005 год – 5877 млн.кв.дюймов. Таким образом, колебания спроса на рынке полупроводников прямо отражаются на сбыте и ценах реализации КП. Требования к темпам технологического прогресса, предъявляемые потребителями к электронной и полупроводниковой продукции, конечно, отражаются и на тенденциях рынка КП. На этом рынке также постоянно происходит устаревание предыдущих разработок со снижением цен их реализации и соответственно со снижением спроса на них. Заметно падает, спрос на пластины более ранних периодов разработки с диаметрами 150мм и менее, а лидеры технологии – КП с диаметром 300мм находятся на гребне спроса. Основную долю рынка занимают сейчас пластины 200мм (8 дюймов). Рис.3.2.Динамика годовых показателей в мировом производстве кремниевых пластин: Слева – совокупная площадь (млн.кв.дюйм), справа – объем продаж (млрд.долл.) Ист.:SEMI. 35 Рис.3.3. Динамика развития структуры мирового рынка кремниевых пластин (19962001), млрд.долл., млн.кв.дюймов. Рис. Структура рынка КП (1999-2004пр.),SEMI 300мм 200мм 2004 1999 150мм 125мм 100мм 0 100 200 300 400 Объем производства, млн кв.дюйм Как и КП, ТФА относится к материалам для производства полупроводников. Но есть отличия. Отличия рынка ТФА от рынка КП в том, что: - Рынок ТФА сейчас практически монополизирован. Количество производителей не превышает и 10 (крупных только 4), тогда как КП выпускают сотни производителей. - Пока не разработана достойная альтернатива ТФА, хотя эти разработки не прекращаются. - Ниша подложек для производства полупроводников практически полностью заполнена КП. Поэтому все колебания спроса на полупроводники жестко отражаются на спросе на КП. - Ниша специальных газов заполнена ТФА пока менее, чем наполовину. Но она будет гарантированно увеличиваться еще 5-8 лет за счет ввода в действие нового оборудования, созданного с учетом использования ТФА. Отмеченные аспекты гарантируют мировому рынку ТФА в течение ближайших 8-10 лет рост независимо от провалов рынка целевой продукции. Однако по мере их исчерпания (появление новых производителей и развитие конкуренции на рынке ТФА, снижение цен, вывод в технологию новых эффективных альтернативных специальных газов, окончательное заполнение ТФА ниши спецгазов и т.п.) рост рынка будет затухать, могут проявиться явления нестабильности, цикличности, затем произойдет стабилизация и постепенный спад. Ориентировочный показатель расширения рынка – 7200 тыс. фунтов в 2010 году (The Information Network). Кроме того, велика вероятность появления новых полупроводниковых технологий. Тот же Castellano считает, что уже через год-два взамен кремниевых подложек начнут активно использоваться другие материалы, а через 10-15 лет КП скорее всего перестанут занимать центральное место в технологии производства полупроводников. Использование же ТФА в тонкопленочных технологиях при производстве ЖКП будет продолжаться и наращиваться с ростом спроса примерно 30% ежегодно, что должно отчасти скомпенсировать прогнозируемое падение спроса на ТФА со стороны производителей микросхем. 36 Рис.3.4. Долгосрочный прогноз развития мирового рынка ТФА, тыс. фунтов (lbs) 8000 7000 6000 5000 4000 3000 2000 1000 2014 2012 2010 2008 2006 2004 2002 2000 1998 0 По динамике цен уже было отмечено ранее (п.1.5.), сто средняя цена одного килограмма ТФА изменялась от $220 в 1998/99 до $440 в 2000/01, и далее до $660 в 2002 году. Однако прогноз по цене благоприятный для потребителей. С вводом новых мощностей независимых производителей цены должны упасть вновь до $220/кг ($100/ lb) и даже ниже (предел -$60 за 1 кг), что, конечно, должно повлиять на динамику изменения объемов рынка в стоимостном выражении. В итоге объем рынка в стоимостном выражении будет расти, но темпы этого роста будут значительно отставать от темпов роста рынка в его товарном выражении и могут достичь точки максимума раньше, чем рынок в его товарном выражении. 37 3.2. Поведение крупнейших участников рынка. Участник №1 мирового рынка ТФА – АРС, занимающий практически монопольную позицию на рынке западных стран. АРС предпринимает энергичные шаги по продвижению своей продукции не только на внутреннем рынке в США, но и на рынке других стран и регионов, включая (и даже, возможно, уделяя этому особое внимание) и продвижение на рынке стран ТОР. Четыре завода по отгрузке ТФА и сервису были открыты компанией в Европе и странах ТОР в конце 90-х-начале 2000х . 1.Korea Specialty Gases Co.,Ltd. - газовый центр в Шихва (Корея) был образован в результате покупки АРС в 1998 году полностью всех акций своего корейского партнера Korea Industrial Gases (KIG) – крупнейшего в своей стране поставщика индустриальных газов,.Наряду с ТФА предприятие, теперь полностью принадлежащее АРС, поставляет также и другие специальные и индустриальные газы. Численность персонала на заводе в 2000 году была 56 чел. 2.DAIDO AIR PRODUCTS ELECTRONICS, INC. (Япония) – газовый центр в Амагасаки, был основан АРС в январе 1997 года совместно с японской фирмой Air Water Inc.(поставщик индустриальных газов). 49% акций принадлежит АРС, 51% - японской фирме. Капитал СП оценивается в 300 млн йен. 3.Газовый центр на базе San Fu Chemical Company, Ltd., тайваньского партнера АРС по совместному бизнесу, открыт в 2001 году. Предприятие-партнер АРСа имеет объем продаж 5 млрд.тайваньских долларов и располагает 11 заводами на Тайване и 14 за пределами острова. Основа собственного бизнеса San Fu Chemical Company – индустриальные газы, химикаты и оборудование. 4.Принадлежащее АРС предприятие в Бельгии - AIR PRODUCTS KEUMIEE, имело в 2000 году объем продаж 4 млрд. бельгийских франков Korea Specialty Gases Co.,Ltd. Head Office & Factohry : 1238-3, Jeongwang-dong, Shieung-city, Kyungki-do, Korea (Tel : 31-433-3070 / Fax : 31-433-3079) Sales Office :Tel) 31-433-3070 President :Lee, Jun-Youl DAIDO AIR PRODUCTS ELECTRONICS, INC. Nihon Seimei Midosuji Building 6F, 4-2-4, Minami-semba, Chuo-ku, Osaka City, Osaka 542-0081 San Fu Chemical Co., Ltd. 5th Fl., No.21 Chung Shan N. Rd. Sec. 2 Taipei 104 Taiwan R.O.C. Tel:886-2-25214161 Fax:886-2-25818359 E-mail:info@sanfu.com.tw AIR PRODUCTS KEUMIEE B-5140 KEUMIEE Tel 071/82.22.76 - 82.22.54 Fax 071/81.65.99 e-mail kalogegd@apci.com Как и большинство международных гигантов АРС активно сотрудничает с другими крупнейшими международными фирмами, образуя СП или другие подобные структуры, а также вкладывает инвестиции в небольшие предприятия смежных направлений бизнеса. Так, в июне 2001 года в пресс-релизе АРС было объявлено об альянсе АРС с международной фирмой Dow Corning Corp., результатом которого явился запуск производственной линии по выпуску CVD-диэлектрики в США в районе Carrollton. 38 С известным международным гигантом Дюпон АРС образовал СП DuPont AIR PRODUCTS NanoMaterials L.L.C., которое занимается технологиями коллоидного кремния, используемого в производстве полупроводниковых подложек. Попутно следует заметить, что Дюпон, являющийся признанным лидером мировой фторхимии, очевидно, также заинтересован в проникновении и в ТФА-бизнес. Так, в 2001 году были анонсированы встречи представителей концерна Дюпон с руководителями строящегося предприятия по выпуску ТФА в Ченду (Китай). Речь шла о приобретении акций завода международным концерном. Сделка состоялась в мае 2002 года. (См.также п. 1.1) Еще ранее осенью 2000 года сразу после аварии, произошедшей на заводе в Дайтоне, состоялись переговоры руководства ASG и руководителей концерна Дюпон о приобретении последним производства ТФА. При этом в заявлении для прессы было указано и количество персонала, числящееся к моменту переговоров на предприятии - 15 человек. Но сведений о завершении анонсированной сделки в прессу не поступало. Не вполне ясно также, возобновлено ли производство ТФА на ASG. Вскоре после аварии в открытых источниках прошли заявления руководства ASG, что не только выпуск ТФА будет вскоре возобновлен, но и будут увеличены мощности. Однако стало известно и о крупных претензиях, которые предъявила к руководству фирмы местная администрация. Большие нарекания вызвало использование фторводорода в технологическом процессе, которое вызывает опасения местных чиновников. Заметную силу набрало еще одно детище АРС – компания TRiMEGA, основанная в 1998 году как СП при участии АРС и японской Kinetics Group Inc. За весьма ограниченный срок фирма заняла одну из ведущих позиций в мире, и в частности странах ТОР, в поставках оборудования и материалов для вновь создаваемых предприятий по производству микроэлектроники. Интерес к Японии носит у АРС, очевидно, стратегический характер. В марте 2001 года АРС вновь входит в СП с японскими фирмами через дочернее предприятие Daido Air Products Electronics, Inc. (DAP). Другие участники СП - опять Kinetics Group Inc. и Air Water Inc. На этот раз бизнес посвящен производству, дистрибуции и продажам микроэлектронных устройств. В портфель инвестиций АРС входят также множество средних и мелких вложений. Например, вложения в фирму среднего бизнеса SC Fluids, Inc. (электроника), в фирму онлайновой торговли химикатами и т.д. TRiMEGA Corporate Headquarters 2805 Mission College Blvd. Santa Clara, CA 95054 USA Tel: +1 (408) 845.6000 +1 (888) TRI.MEGA Fax: +1 (408) 727.1667 email: info@trimega.com DuPont AIR PRODUCTS NanoMaterials L.L.C., 1969 Palomar Oaks Way Carlsbad, CA 92009 Phone: 866-265-0058 Phone: 760-603-2283 Fax: 760-929-6262 АРС не ограничивает свой бизнес сферой производства материалов для электронной промышленности, а также для некоторых направлений химии и фармацевтики. Компания проводит активную инвестиционную политику в отношении смежных отраслей и направлений. Так, АРС занимая лидирующую позицию и в области научно-технических разработок фабпроцессинга. Спрос на ТФА в начале 2000-х оценивался экспертами выше имеющегося 39 предложения. (Elizabeth Schumann, Director, Industry Research and Statistics, SEMI, http://www.semi.org). Бурный рост спроса на ТФА привлекает к развитию этого производства внимание многих крупных международных компаний, особенно фигурантов микроэлектронного бизнеса. Уже отмечен интерес таких крупных корпораций как Hannywell (США),Daikin (Япония), Samsung (Ю.Корея). А в мае 2002 года тайваньская корпорация Формоза (Formosa Plastics Corp.,) объявила о своих планах инвестировать 600 млн. тайваньских долларов (примерно 20 млн. долларов США) в создание производства ТФА на Тайване. Предполагается, что вновь созданное предприятие будет выпускать в год 100 тонн продукции, 80% которой предполагается реализовывать на внутреннем рынке Тайваня, а остаток – за рубежом. Formosa Plastics Corp., No. 201 Tunhua N. Rd., Taipei, Taiwan Tel. No.: 886 2 27122211 Fax No.: 886 2 27178533 00ra07@fpg.com.tw Employees: 4,109 Chairman Wang Yung-ching President Lee Chih-tsuen В заключение можно отметить, что поведение участников мирового рынка ТФА формируется под влиянием ряда факторов, из которых как существенные можно отметить следующие: 1.Объективная необходимость перехода производителей полупроводников с менее эффективных реагентов на ТФА, продиктованная в частности и рекомендациями Киотского протокола. 2.Стремление безусловного лидера западного рынка - Air products and Chemicals, Inc. сохранить свое монопольное положение на рынке и не допустить проникновения на рынок сильных конкурентов. 3.Не менее сильное стремление крупнейших международных компаний и менее крупных производителей включиться в выгодный на сегодня ТФА-бизнес. 4.Относительно независимое от Запада положение восточноазиатских (японских) производителей и энергичные шаги по дальнейшему наполнению рынка тихоокеанского региона произведенным на месте ТФА. 40 Источники информации. Chemical Marketing Reporter European Chemical News Reuter Chemical WeekJapan SEMI Industry Research and Statistics ( SEMI - Semiconductor Equipment and Materials International) Strategic Marketing Associates IOMA Broadcaster World Semiconductor Council SemiWorld (Korea) The Information Network Elektronik (Germany) Semiconductor Industry Association ChemConnect Inc. ЦМКИ www.andersondevelopment.com/productset.html www.airproducts.com www.kantodenka.co.jp/ www.business.com/directory/chemicals/gases/ http://www.scottsemicon.com/semi.html http://www.semiconductorfabtech.com http://www.semi.org /www.praxair.com www.eyerforchem.com www.ioigas.com/semi_main.htm www.ibm.com www.cgco.co.jp http://www.theinformationnet.com/ http://www.chemicalweekly.com/ www.koreagas.co.kr 41
