УДК 533.9(06) Физика плазмы М.А. АНИСИМОВА, И.В. ВИЗГАЛОВ, Е.Д. ВОВЧЕНКО, Г.В. КОЙНАШ, А.С. САВЕЛОВ Московский инженерно-физический институт (государственный университет) ИСТОЧНИК ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТА НА ОСНОВЕ КАПИЛЛЯРНОГО РАЗРЯДА В работе представлена конструкция источника излучения на основе капиллярного разряда и приведены результаты предварительных экспериментов. Задача создания источника вакуумного ультрафиолетового и ультрамягкого рентгеновского направленного когерентного излучения актуальна как для академической науки, так и для развития наукоемких технологий в микроэлектронике. Активной средой для источников такого рода является горячая неравновесная плазма, формируемая при быстром подводе энергии, например, при взаимодействии лазерного излучения с мишенями или в сильноточных импульсных разрядах. Рис. 1. Источник капиллярного разряда: 1 – крепежный фланец, 2 – фланец с отверстием для прокачки газа, 3 – катод, 4 – фигурный изолятор, 5 – анод, 6 – изолятор для крепления электродов, 7 – фланец с отверстием для наблюдения, 8 – фланец с циркониевым фильтром Среди электроразрядных установок можно выделить капиллярный разряд [1], который обладает рядом преимуществ: компактностью, относительной простотой, высокой эффективностью трансформации электрической энергии в излучение, фиксированным положением излучающей области в пространстве. Конечной целью работы является создание экспериментального стенда на основе капиллярного разряда как источника ВУФ-излучения, а также сборка и наладка средств диагностики разряда данного типа. Собранный экспериментальный стенд состоит из: вакуумной камеры с размещенным в ней источником вакуумного ультрафиолета на основе ISBN 5-7262-0633-9. НАУЧНАЯ СЕССИЯ МИФИ-2006. Том 4 71 УДК 533.9(06) Физика плазмы капиллярного разряда (рис. 1); средств вакуумной откачки (форвакуумный насос типа ВН-1, диффузионный пароструйный насос Н100/350); высоковольтной схемы (рис. 2), питающей электроразрядное устройство и аппаратуру для оптической диагностики разряда. Измерение тока разряда осуществляется с помощью пояса Роговского, защищенного от электромагнитных помех разрезным экраном и работающего в режиме трансформатора тока. Рис. 2. Схема питания источника капиллярного разряда Вследствие малости диаметра капилляра диагностика плазмы разряда представляет определенные трудности. Предполагается для определения электронной плотности использовать лазерную методику [2]. Для отработки режима работы источника был выбран более простой в реализации спектроскопический метод диагностики, обладающий рядом достоинств: бесконтактностью измерений и отсутствием возмущающего воздействия на объект, высокими чувствительностью и избирательностью измерений. Для исследований в видимой области спектра используется малый монохроматор типа МУМ, на входную щель которого излучение фокусируется с помощью цилиндрической кварцевой линзы, регистрация производится с помощью ФЭУ-58. Предварительные эксперименты проводились при давлении в камере p = 5 · 10–² мм. рт. ст. при напряжении U = 10 кВ на конденсаторе емкостью С2 = 0,22 мкФ. Амплитуда тока разряда Imax = 4,6 кА, период разряда 3 мкс. Таким образом, показана работоспособность созданного точечного источника излучения типа капиллярный разряд. Список литературы 1. Klosner M.A., Silfvast W.T. // Optics letters, 1998. Vol. 23. № 20. October 15. P.16091611. 2. Кузнецов А.П., Голубев А.А., Козин Г.И., Коротков К.К., Мутин Т.Ю., Савелов А.С., Фертман А.Д. // Тез. докл. XI Всеросс. конф. по диагностике высокотемп. плазмы. Троицк. 2005. С.36–38. 72 ISBN 5-7262-0633-9. НАУЧНАЯ СЕССИЯ МИФИ-2006. Том 4 УДК 533.9(06) Физика плазмы ISBN 5-7262-0633-9. НАУЧНАЯ СЕССИЯ МИФИ-2006. Том 4 73