Руководство по эксплуатации Вакуумметр Пирани APG100 серии ACTIVE

Закрытое акционерное общество «Интек Аналитика»
D026-01-880
Выпуск B RUS
Руководство по эксплуатации
Вакуумметр Пирани APG100 серии ACTIVE
Описание
APG100 - XM NW16
APG100 - XM NW25
APG100 - XLC NW16
APG100 - XLC NW25
Номер Изделия
D026-01-000
D026-02-000
D026-03-000
D026-04-000
ЗАО «Интек Аналитика» г. Санкт-Петербург, ул. Оптиков, д.4, корп. 2, лит.А, оф. 209; тел.: +7 (812) 493-24-80 www.invac.ru, info@invac.ru
Москва
тел.: +7 (495) 626-19-13
Зеленоград
тел.: +7 (495) 228-07-88
Новосибирск
тел.: +7 (383) 335-61-05
Украина
тел.: +38 (044) 569-84-85
Декларация Соответствия
Мы,
ВОС Edwards,
Manor Royal
Crawley
West Sussex, RH10 12LW, UK
заявляем под нашу исключительную ответственность, что указанная ниже продукция
вакуумметр Пирани APG100 серии ACTIVE
APG100 - XM NW16
APG100 - XM NW25
APG100 - XLC NW16
APG100 - XLC NW25
D026-01-000
D026-02-000
D026-03-000
D026-04-000
к которой относится данное соглашение, соответствует следующим стандартам и нормативным документам
EN61010-1:2001
СSA C22.2№65050.1-4
UL 61010-1
(2-ая редакция)
EB61326 (производственное назначение
класс В)
2004/108/ЕЕС
2002/96/ЕС
2002/95/ЕС
Требования безопасности, предъявляемые к электрическому оборудованию при проведении измерений, контроле и лабораторном использовании – часть 1. Общие
требования
Требования безопасности, предъявляемые к электрическому оборудованию при проведении измерений, контроле и лабораторном использовании – часть 1. Общие
требования
Требования безопасности, предъявляемые к электрическому оборудованию при проведении измерений, контроле и лабораторном использовании – часть 1. Общие
требования
Электрическое
оборудование
для
проведения
измерений, контроля и лабораторного использования –
Требования ЕМС
Инструкция по электромагнитной совместимости
Инструкция для стран Европейского союза по утилизации электрических и электронных компонентов
Инструкция для стран Европейского союза о наличии и
содержании опасных веществ в электрических и электронных компонентах
Система контроля качества изготовления продукции сертифицирована по ISO9001
2
ВВЕДЕНИЕ
Об этом руководстве
Данное руководство содержит инструкции по установке и техническому обслуживанию, а также описание режимов работы вакуумметра Пирани серии ACTIVE AРG100 производства
Edwards. Необходимо использовать вакуумметр так, как описано в настоящем руководстве.
Прочтите это руководство перед установкой и началом работы с вакуумметром APG100.
Важная для безопасности информация помечена знаками ВНИМАНИЕ и МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ: необходимо строго следовать этим указаниям. Ниже описано, в каких случаях
используются эти знаки.
ВНИМАНИЕ
Этот знак ставиться в том случае, если несоблюдение инструкции может привести к травмам или смерти людей.
МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Этот знак ставиться в том случае, если несоблюдение инструкции может привести к повреждению прибора, соединенного с ним оборудования или нарушить технологический процесс.
На вакуумметр нанесены следующие символы:
- ВНИМАНИЕ – см. сопроводительную документацию.
-европейские пользователи должны воспользоваться программой утилизации
Описание прибора
Вакуумметр AРG100 представляет собой датчик Пирани, измеряющий давление в диапазоне
110-4 …1000 мбар. Он работает на основе принципа теплопроводности, когда скорость потерь тепла от нагреваемого катода зависит от давления газа, окружающего катод.
Выпускаются 2 модели вакуумметров Пирани серии APG100. Модель М измеряет давления
до 10-3 мбар и подходит для большинства областей применения и стандартных технологических процессов. Устойчивая к коррозии модель LC измеряет давления до 10-4 мбар.
Общий вид вакуумметра показан на рис. 1. К достоинствам вакуумметра AРG100 можно отнести съемную трубку, которую можно заменить в случае загрязнения или неисправности катода. Наверху вакуумметра расположены две кнопки. Кнопка калибровки CAL используется
для калибровки атмосферы или вакуума, а кнопка установки блокировок S/P используется
для установки пороговых значений (блокировок).
3
1.
2.
3.
4.
5.
6.
Электрический разъем
Кнопка установки блокировок S/P
Кнопка калибровки CAL
Индикатор состояния
Блок электронных компонентов
Вакуумный фланец
Рисунок 1. Общий вид AРG100
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Механические характеристики
Габаритные размеры
Масса :
Модель с фланцем NW16
Модель с фланцем NW25
Внутренний объем трубки
Класс защиты
См. рис. 2
85 г
100 г
5 см3
IP40
Рабочие характеристики и условия эксплуатации и хранения
Диапазон измерения
APG100-XM
10-3 … 1000 мбар
APG100-XLC
10-4 … 1000 мбар
Точность
APG100-XM
Обычно ± 15 % при давлении < 100 мбар
APG100-XLC
Обычно ± 15 % при давлении < 10 мбар
Температура окружающей среды
Рабочая
5 …60 °C
Хранения
-30 …+70 °C
Нагрева
150 °C (со снятым блоком электронных компонентов)
Влажность
80 % относительной влажности при температуре до 31
°C линейное понижение до 50 % при 40 °C и выше
Максимальная высота над
3000 м (только для работ внутри помещений )
уровнем моря
Максимальное внутреннее
10 бар абс. (9 бар изб.)
давление
Температура катода
100 °C выше температуры окружающей среды
4
Электрические характеристики
Напряжение электрического питания
15…30 В постоянного тока–номинальное
13.5 В минимум
32 В максимум
1 Вт
150 мА
FCC68 / RJ45 8-way
Максимальная потребляемая мощность
Максимальный пиковый ток
Электрический разъем
Выходной сигнал давления
Диапазон
1.9 …9.1 В
Диапазон ошибки
Выход < 1.8 В или Вход > 9.2 В
Минимальное сопротивление нагрузки
10 кОм
Максимальный выходной ток
1 мA
Блокировки
Диапазон настройки
1.8 … 9.2 В
Гистерезис
500 мВ
Максимальная внешняя нагрузка
30 В постоянного тока, 100 мA
Идентификационное напряжение вакуумметра
APG100-XM
36 кОм
APG100-XLC
43 кОм
Материалы, контактирующие с вакуумом
Катод
APG100-XM
APG100-XLC
Трубка
Фильтр
Дополнительно
Вольфрам / рений
Платина / иридий
Нержавеющая сталь 316L и 304L
Нержавеющая сталь 316L
стекло, никель/Ni, сплав NiFe, фторэластомер PTFE (только для
APG100-XLC)
Рисунок 2. Габаритные размеры (мм)
5
ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ
Распаковка и осмотр
Снимите все упаковочные материалы и защитные оболочки и осмотрите вакуумметр APG100.
В случае обнаружения повреждений вакуумметра APG100 письменно в течение трех дней известите поставщика и перевозчика, укажите серийный номер вакуумметра, номер вашего заказа и номер накладной поставщика. Сохраните все упаковочные материалы для проведения
экспертизы. Не используйте вакуумметр APG100, если он поврежден.
Если APG не будет использоваться сразу, восстановите его упаковку. При хранении APG соблюдайте условия хранения (см. выше).
Установка вакуумметра APG100 в вакуумную систему
ВНИМАНИЕ
Необходимо использовать уплотнения Co-Seal или зажимные уплотнительные
кольца для присоединения вакуумметра APG100 к вакуумной системе, если давление может превысить атмосферное. Стандартные центрирующие и уплотнительные кольца не подходят для работы при давлении выше атмосферного.
ВНИМАНИЕ
Не используйте вакуумметр APG100 для систем обеспечения безопасности или
опасных технологических процессов: он не предназначен для работы в качестве
устройства обеспечения безопасности.
Вакуумметр AP100G может быть установлен в любом положении, однако трубки вакуумметра
проходят индивидуальную калибровку по азоту в вертикальном положении. Для корректной
индикации давления в выбранном положении рекомендуется перекалибровать вакуумметр по
атмосферному давлению. Чтобы избежать скопления пыли или конденсируемых материалов
в корпусе вакуумметра APG100, рекомендуется устанавливать APG вертикально.
Для оптимальной точности перед использованием рекомендуется выполнять настройку (калибровку) атмосферы и вакуума (см. раздел Техническое обслуживание)..
Для подключения вакуумметра APG100 в Вашу вакуумную систему


Используйте уплотняющее/центрирующее кольцо или уплотнение Co-Seal для присоединения фланцев NW16 и NW25 к соответствующим фланцам Вашей вакуумной системы.
Используйте ступенчатое уплотнительное кольцо или уплотнение Co-Seal для присоединения фланца NW16 к NW10.
Так же рекомендуется, чтобы Ваша вакуумная система была снабжена штифтом заземления, к
которому следует подсоединить трубку вакуумметра APG100.
Подключение контроллеров производства Edwards
Вакуумметр AРG100 совместим с контроллерами измерительных приборов и турбонасосов серии TIC, цифровыми контроллерами серии ADCи аналоговыми дисплеями серии AGD производства Edwards.
Чтобы подключить контроллер производства Edwards используйте кабель с соответствующими
разъемами. Подходящие кабели поставляются Edwards.
6
Подключение к электрическому оборудованию
МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Не подключайте никаких соединений к контакту идентификации вакуумметра (разъем 4),
т.к. это может привести к неисправности вакуумметра .
Рекомендуемая схема электрического подключения вакуумметра APG100 представлена на
рис. 4. Назначение контактов на разъеме вакуумметра описано в таблице 1. Дополнительные
характеристики приведены в разделе Технические характеристики.
Рисунок 3. Разъем RJ45 (8 контактов)
Контакт №
1
2
3
4
5
6
7
8
Использование
Плюс питания
Заземление питания (0 В)
Выходной сигнал измерения давления
Сигнал идентификации вакуумметра
Сигнал заземления
Выходной сигнал блокировки
Удаленный вход блокировки
Не используется
Таблица 1. Контакты на разъеме вакуумметра AРG100
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
электрический разъем вакуумметра APG100
электрический разъем кабеля
питание
вольтметр
реле постоянного тока (дополнительно)
обратный диод подавления EMF (дополнительно)
переключатель удаленной калибровки (дополнительно)
Рисунок 4. Рекомендуемая схема электрического подключения
7
Не подключайте сигнал заземления питания (контакт 2) к сигналу заземления (контакт 5),
иначе выходной сигнал вакуумметра APG100 будет неточным.
При работе вакуумметра APG100 в среде электрических помех необходимо проверить, что
измерительное оборудование адекватно защищено от воздействия помех. Все контроллеры
производства Edwards имеют необходимую защиту.
Выход блокировки на контакте 6 является низким активным транзистором с разомкнутым
коллектором, подходящим для управления реле постоянного тока или элементом с логическим управлением. Если вы подключаете реле, то необходимо использовать диод подавления для защиты вакуумметра от неустановившегося напряжения, создаваемого при выключении реле (см. рис. 4).
Для удаленной калибровки выполните соединение с контактом 7. На мгновение (чуть более
50 мс) подключите контакт 7 к контакту 2 (заземление) для автоматической настройки показаний вакуума или атмосферы. Процедура корректировки описана в разделе Техническое обслуживание.
РЕЖИМЫ РАБОТЫ
ВНИМАНИЕ
Не используете APG для измерения давления взрывоопасных или горючих газов
и смесей. Вакуумметр содержит горячий катод, нормально работающий при температуре, которая на 100°С превышает температуру окружающей среды. Температура катода может увеличиваться в случае неисправностей.
Измерение давления
Когда к вакуумметру APG100 подключено питание, индикатор состояния загорится желтым
примерно на 2 секунды. Затем индикатор состояния станет зеленым, если вакуумметр работает корректно, или красным в случае обнаружения ошибки.
Если вакуумметр APG100 подключен к контроллеру производства Edwards, то измеренное
давления будет отображено на дисплее контроллера.
Если Вы подключили вакуумметр APGй00 к вольтметру, то для перевода измеренного напряжения (В) в соответствующее значение давления (Р) используйте следующие выражения:
P = 10(V - 6)
P = 10(V - 6.125)
P = 10(V-4)
давление P в мбар
давление P в торр
давление P в Па
Например, если измеренное напряжение V=4 В, тогда измеренное давление P=1x10-2 мбар
(см. рис. 5 и 6).
8
Напряжение
Давление
Рисунок 5. График преобразования напряжения в давление для вакуумметра APG100-ХМ
Напряжение
Давление
Рисунок 6. График преобразования напряжения в давление для вакуумметра APG100-ХLC
Зависимость от рода газа
Вакуумметр APG100 откалиброван для работы с азотом (по азоту) и будет давать корректные
показания давления для сухого воздуха, кислорода и оксида углерода (СО). Для других газов
необходима конверсия показаний, чтобы получить истинное значение давления. На рис. 7 и 8
показаны зависимости для перевода регистрируемого давления в истинное для 6 наиболее
часто используемых газов: азота, аргона, углекислого газа (диоксида углерода СО2), гелия,
криптона и неона.
Если Вы используете контроллер серии TIC производства Edwards, данные для калибровки в
зависимости от рода газа содержатся в контроллере (внесены в его память).
При давлении ниже 1 мбар можно просто использовать поправочный коэффициент в зависимости от рода газа. Поправочные коэффициенты калибровки газа (Gas Calibration Factor GCF)
для наиболее часто используемых газов приведены в таблице 2.
Истинное давление = GCF х Регистрируемое давление
9
Регистрируемое давление (мбар)
Истинное давление(мбар)
Рисунок 7. Зависимость от рода газа для вакуумметра APG100-ХМ
Регистрируемое давление (мбар)
Истинное давление(мбар)
Рисунок 8. Зависимость от рода газа для вакуумметра APG100-ХLC
Газ
He
Ne
N2
Ar
CO2
Kr
Поправочный коэффициент GCF
1.1
1.5
1.0
1.7
1.0
2.6
Таблица 2. Поправочные коэффициенты калибровки газа (Gas Calibration Factor GCF)
при давлении ниже 1 мбар
10
Настройка блокировки
МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Когда кнопка блокировки S/P нажата, выходной сигнал вакуумметра изменяется. Не нажимайте кнопку S/P для настройки блокировки, если изменения выходного сигнала могут привести к сбою в работе системы.
Замечание: если используется контроллер производства Edwards, блокировка вакуумметра
APG100 не используется.
Чтобы считать давление, при котором срабатывает выходной сигнал блокировки, нажмите
кнопку S/P с помощью подходящего инструмента (см. рис. 9). Выходной сигнал вакуумметра
изменится на пороговое значение блокировки на три секунды, после чего выходной сигнал
вернется к обычным показания (измерения).
Контур блокировки имеет фиксированный гистерезис 500 мВ. Когда измеренное давление падает ниже порогового давления блокировки, включится выходной сигнал транзистора (ON,
замкнется). Выходной сигнал транзистора выключится, когда измеренное давление повысится
выше 500 мВ выше порогового давления блокировки. Внешнее реле, подключенное как показано на рис. 4, включится, когда давление упадет ниже давления блокировки и выключится,
когда давление повысится выше давления блокировки на 500 мВ.
Чтобы настроить пороговое значение блокировки нажмите кнопку S/P и удерживайте ее нажатой более 3 секунд. Пороговое значение начнет повышаться. Отпустите кнопку, когда будет
достигнуто нужное значение. Чтобы провести точную настройку значения, отпустите кнопку перед тем, как будет достигнуто нужное значение, и сразу начните нажимать на кнопку столько
раз, сколько потребуется для установки конкретного значения. Каждый раз при нажатии пороговое значение будет увеличиваться на 10 мВ. Если во время настройки пороговое значение
достигнет максимального значения 9.2 В, то оно вернется к минимальному значению 1.8 В и
снова начнет повышаться.
Если Вы не будете использовать блокировку и хотите, чтобы функция блокировки была постоянно выключена, можно настроить пороговое значение на минимальное 1.8 В. Это будет гарантировать, что блокировка не будет работать. При поставке вакуумметра APG100 пороговое
значение блокировки настроено на 1.8 В.
Блокировку можно так же использовать для индикации корректной работы вакуумметра. Если
Вы установите пороговое значение на 9.2 В, когда выход блокировки будет включен, в то время как вакуумметр работает корректно, а в случае сбоя он будет отключен.
Рисунок 9. Настройка блокировки
11
Мониторинг ошибок
В случае сбоя в работе вакуумметра APG100, индикатор состояния вакуумметра загорится
красным, указывая на ошибку в работе, а выходное напряжение изменится для индикации состояния ошибки. Напряжения ошибок указаны в табл. 3. Блокировка будет отключена сразу же
при обнаружении ошибки – см. раздел поиска неисправностей.
Если используется контроллер производства Edwards, то на его дисплее появится сообщение
об ошибке.
Состояние ошибки
Сгорел катод или снята
трубка
Сбой калибровки
выходное напряжение (V)
9.5
9.6
Сообщение на дисплее контроллера серии
TIC
ADC
AGC
Filament Fail
Cal Error
Err 25
Err 26
Err E
Err F
Таблица 3. Индикация ошибок
Нагрев
Для некоторых высоковакуумных технологических процессах желательно прогреть вакуумную
систему и ее компоненты чтобы достичь наиболее низкого рабочего давления. Трубку вакуумметра APG100 можно прогревать до 150 оС, вняв блок электронных компонентов.



См. рис. 12 и снимите блок электронных компонентов.
Прогрейте трубку вакуумметра в вакуумной системе. Не превышайте температуру 150 оС.
Дайте трубке остыть перед тем, как присоединять блок электроники.
ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ
Настройка атмосферы и вакуума
Каждый вакуумметр APG100 проходит индивидуальную настройку перед отправкой, однако
теплопроводность датчика может со временем изменяться в результате загрязнения катода.
Выполните описанные ниже действия для настройки вакуума и атмосферы вакуумметра.
Частота настройки будет зависеть от уровня и природы загрязнений и технологических процессов.
Настройка атмосферы
1. Включите питание вакуумметра APG100 и дайте ему поработать около 10 минут при атмосферном давлении. Проверьте, что индикатор работы горит зеленым.
2. Нажмите кнопку калибровки CAL. Индикатор состояния начнет мигать, а вакуумметр автоматически настроиться на считывание атмосферного давления. Не нажимайте на кнопку CAL более 5 секунд (см. раздел Настройка новой трубки).
Настройка вакуума
1. Понизьте давление в системе до 1х10-4 мбар или ниже для APG100-ХМ или до 1х10-5 мбар
или ниже для APG100-ХLC.
2. Дайте вакуумметру поработать около 10 минут при этом давлении.
12
3. Нажмите кнопку калибровки CAL. Индикатор состояния начнет мигать, а вакуумметр автоматически настроиться на считывание вакуума.
Рисунок 10. Настройка вакуумметра APG100
Удаленная настройка
Настройку атмосферы и вакуума можно выполнить удаленно с помощью подключений, показанных на рис. 4. Выполните описанные ниже действия, но замыкайте переключатель удаленного управления вместо нажатия кнопки калибровки CAL. Контроллеры производства Edwards использую эту функцию таким образом, что показания атмосферного давления и вакуума можно автоматически настроить с передней панели контроллеров.
Настройка для новой трубки
Если на вакуумметр установлена новая трубка, то необходимо провести настройку датчика
для работы с новой трубкой. Обратите внимание, что это не нужно выполнять, пока не будет
установлена новая трубка, а после всегда необходимо провести настройку вакуума.
1. Включите питание вакуумметра APG100
2. Когда вакуумметр находится под действием атмосферного давления нажмите кнопку калибровки CAL более чем на 5 секунд. Индикатор состояния начнет мигать (красным/ желтым), а вакуумметр автоматически настроиться на считывание данных новой трубки
3. Дайте вакуумметру поработать около 10 минут при атмосферном давлении, а затем повторите пункт 2.
4. Если нужно провести настройку вакуума – см. пункт выше.
Замена фильтра
МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Не проводите очистку внутренних компонентов и поверхностей трубки, т.к. при этом можно
повредить катод.
Фильтр установлен внутри вакуумного фланца и обеспечивает защиту от технологических загрязнений.
Чтобы заменить фильтр, проделайте следующие действия (см. рис. 11).
13
1. Отключите кабель питание и проведите напуск вакуумной системы до атмосферного давления, затем отсоедините вакуумметр AРG100 от вакуумной системы.
2. Используя шипцы (или плоскогубцы), снимите пружинное кольцо. Старайтесь не повредить уплотняющие поверхности фланца и компоненты внутри измерительной трубке.
3. Выньте и утилизируйте старый фильтр.
4. Установите новый фильтр в трубку вакуумметра, а затем установите пружинное кольцо.
1.
2.
3.
Трубка вакуумметра
Фильтр
Пружинное кольцо
Рисунок 11. Замена фильтра
Замена трубки вакуумметра
Если трубка вакуумметра стала сильно загрязненной, так что настройка вакуума и атмосферы не выполняется корректно, или если сгорел катод, тогда нужно установить новую трубку.
Чтобы заменить трубку, проделайте следующие действия (см. рис. 12).
1. Отключите кабель питание и проведите напуск вакуумной системы до атмосферного давления, затем отсоедините вакуумметр AРG100 от вакуумной системы.
2. Выньте пружинное кольцо со стороны вакуумметра
3. Выньте трубку из блока электронных компонентов.
4. Установите новую трубку в блок электронных компонентов, соблюдая корректную ориентацию
5. Установите пружинное кольцо.
1. Блок электронных компонентов
2. Пружинное кольцо
3. Трубка вакуумметра
Рисунок 12. Замена трубки вакуумметра
После установки новой трубки необходимо выполнить настройку вакуумметра на новую трубку – см. раздел Настройка для новой трубки .
14
Поиск неисправностей
Неисправность
Индикатор не горит
Некорректные показания
давления
Датчик указывает на
ошибку калибровки
Причина
Некорректное напряжение
питания или полярность
Течи в вакууме
Смещение показаний трубки
– нужна настройка
Трубка загрязнена
Настройка проведена при
некорректном давлении
Установлена трубка некорректного типа
Установлена новая трубка
Датчик указывает, что
сгорел катод
Смещение показаний выходит за пределы диапазона
ее нельзя больше настроить
Трубка неисправна
Установлена трубка некорректного типа
Сгорел катод
Способ устранения
Проверьте подачу электропитания
и соединения.
Проверьте герметичность вакуумной системы
Выполните настройку вакуума и
атмосферы
Замените трубку
Повторите настройку, но следите,
чтобы давление или точно равнялось атмосферному или обеспечьте хороший нужный вакуум
Проверьте, что установлена трубка
корректного типа (М или LC)
Выполните настройку для новой
трубки
Замените трубку
Проверьте и установите трубку и
проверьте электрический разъем
Проверьте, что установлена трубка
корректного типа (М или LC)
Замените трубку
Услуги по калибровке
Компания Edwards предлагает услуги по калибровке для всех типов вакуумметров. калибровка выполняется путем сличения с контрольным (эталонным) вакуумметром и соответствует
национальным стандартам Великобритании.
ХРАНЕНИЕ И УТИЛИЗАЦИЯ
Утилизируйте вакуумметр AРG100 и все его компоненты в соответствии с национальными
требованиями по защите окружающей среды.
Вы так же можете сдать прибор и его кабели на утилизацию – обратитесь к представителям
компании Edwards.
Вакуумметр APG100 и его кабели соответствуют требованиям Инструкции для стран Европейского союза по утилизации электрических и электронных компонентов 2002/96/EC. Компания Edwards предлагает свои услуги по утилизации компонентов вакуумметра APG100 по
окончании его срока службы – обратитесь к представителям компании Edwards.
Следует уделить особое внимание в том случае, если вакуумметр APGй00 мог получить загрязнения при работе с опасными веществами.
15
ЗАПЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ
Введение
При заказе, пожалуйста, учтите, что при обращении требуются:


модель, наименование оборудования, номер изделия или запасных частей
серийный номер (если есть)
Запчасти
Запчасти
Сменные блоки электронных компонентов для
APG100-XM
APG100-XLC
Сменные трубки
APG100-XM NW16
APG100-XM NW25
APG100-XLC NW16
APG100-XLC NW25
Набор замены фильтра
Номер изделия
D026-01-800
D026-03-800
D026-01-801
D026-02-801
D026-03-801
D026-04-801
D026-01-805
Принадлежности
Ниже представлены подходящие к вакуумметру AРG100 кабели. Эти кабели имеют 8 – штырьковый электрический разъем (вилка) на обоих концах.
Кабель длиной
0,5 м
1м
3м
5м
10 м
15 м
30 м
16
Номер изделия
D400-01-005
D400-01-010
D400-01-030
D400-01-050
D400-01-100
D400-01-150
D400-01-300
Возврат оборудования Edwards – инструкция
(Форма HS1)
Введение
Перед тем как вернуть оборудование, Вы должны оповестить об этом своего поставщика, если то, что случилось с
Вашим оборудованием, может быть опасно. Вы должны действовать в полном соответствии с законами.
Вы должны полностью заполнить Декларацию (HS2) на следующей странице и послать ее своему поставщику прежде чем Вы отправите оборудование. Если Вы не выполните это требование, ваш поставщик решит,
что оборудование опасно и может отказаться принять его. Если Декларация будет неправильно заполнена, то при
работе с вашим оборудованием могут быть задержки.
Правила заполнения
Обратите внимание на следующие правила заполнения Декларации:



Ваше оборудование будет «не загрязнено», если оно не использовалось или при работе с ним не использовались опасные вещества. Ваше оборудование будет «загрязнено», если при работе с ним использовались опасные вещества.
Если при работе с данным оборудованием использовались радиоактивные вещества, то Вы должны очистить
его перед тем, как возвратите оборудование поставщику. Вы должны выслать своему поставщику независимое
подтверждение об очистке (например сертификаты анализов) вместе с Декларацией (HS2). Вы можете обратиться к поставщику за советом.
Мы предполагаем, что загрязненное оборудование транспортируется в таком транспортном средстве, в котором перевозчик не находится в одном помещении с оборудованием.
ПРОЦЕДУРА
Используйте следующие операции:
1.
2.
3.
Свяжитесь с Вашим поставщиком и получите Номер Авторизации Возврата Вашего оборудования.
Переверните страницу, сделайте ксерокопию следующей страницы и заполните Декларацию (HS2).
Удалите следы всех опасных газов: пропустите инертный газ через оборудование и любые принадлежности,
которые будут возвращены поставщику. Слейте все жидкости и смазочные материалы из оборудования и его
принадлежностей.
4. Отсоедините все принадлежности от оборудования. Осторожно снимите фильтрующие элементы со всех
фильтров масляного тумана.
5. Запечатайте/закройте все входные и выходные отверстия (включая те, к которым присоединялись принадлежности). Вы можете закрыть входные и выходные отверстия с помощью заглушек или полихлорвиниловой ленты.
6. Поместите загрязненное оборудование в толстый полиэтиленовый пакет. Если у вас нет подходящих пакетов,
Вы можете завернуть его в толстую полиэтиленовую пленку.
7. Если оборудование имеет большие габаритные размеры, поместите оборудование и его принадлежности в деревянный ящик. Желательно, чтобы размеры ящика были не более 510 мм 915 мм (20” 35”); свяжитесь с
поставщиком, если вы не можете обеспечить выполнение этого требования.
8. Если оборудование слишком мало для подобного ящика, то упакуйте его в подходящую крепкую коробку.
9. Если оборудование загрязнено, то пометьте коробку (ящик) в соответствии с правилами транспортировки
опасных веществ.
10. Вышлете по факсу или почтой копию Декларации Вашему поставщику. Декларация должна прийти раньше,
чем оборудование.
11. Предоставьте копию Декларации перевозчику. Вы должны сообщить перевозчику о загрязненности оборудования.
12. Поместите оригинал Декларации в конверт; надежно прикрепите конверт к внутренней стороне упаковки оборудования. ЧЕТКО НАПИШИТЕ НОМЕР АВТОРИЗАЦИИ ВОЗВРАТА НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕ
КОНВЕРТА ИЛИ НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕ УПАКОВКИ ОБОРУДОВАНИЯ.
17
Возврат оборудования Edwards – Декларация
(Форма HS2)
Номер Авторизации Возврата:
РАЗДЕЛ 1: ОБОРУДОВАНИЕ
ТОЛЬКО ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Модель оборудования___________________________
Серийный номер_______________________________ Номер базового инструмента_______________________
Процесс__________________________________________
Было ли оборудование использовано, тестировано?
Дата появления неисправности_______________________
Серийный номер
Да О (далее в раздел 2)
Нет О (далее в раздел 4) Возвращаемого оборудования________________________
РАЗДЕЛ 2: ВЕЩЕСТВА, КОНТАКТИРОВАВШИЕ С ОБОРУДОВАНИЕМ
Укажите, с какими веществами соприкасалось оборудование
Ваш поставщик не примет оборудование, если
оно загрязнено радиоактивными веществами, по Радиоактивные
О да
О нет
ка Вы не:
 Биологически активные
О да
О нет
 произведете его очистку
 Опасные для здоровья и
О да
О нет
 предоставите подтверждающие это докуменбезопасности человека
ты
Если Вы ответили “нет” на все вопросы, переходите
к разделу 4.
ВЫ ДОЛЖНЫ ПОСОВЕТОВАТЬСЯ С ПОСТАВЩИКОМ, ПРЕЖДЕ ЧЕМ ВОЗВРАЩАТЬ
ПОДОБНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
РАЗДЕЛ 3: ПЕРЕЧЕНЬ ВЕЩЕСТВ, КОНТАКТИРОВАВШИХ С ОБОРУДОВАНИЕМ
Название
Химический Меры предосторожности (например Действия в случае утечки или
использование защитных перчаток) при контакте с человеком
символ
1
2
3
4
5
6
РАЗДЕЛ 4: ИНФОРМАЦИЯ ПО ВОЗВРАТУ
Причина возврата и описание неисправности___________________________________________________________
__________________________________________________________________________________________________
Если у вас есть гарантийное обязательство
 у кого Вы покупали оборудование?________________________________________________________________
 номер счет-фактуры Вашего поставшика___________________________________________________________
РАЗДЕЛ 5: ДЕКЛАРАЦИЯ
Ф.И.О.______________________________________Должность_____________________________________________
Организация_______________________________________________________________________________________
Адресс____________________________________________________________________________________________
____________________________________________________________________________________________
Телефон ____________________________ дата поставки оборудования_____________________________________
Я предоставил точную информацию при заполнении Декларации и не скрыл каких либо сведений.
Я действовал согласно Инструкции Возврата Оборудования ВОС Edwards (HS1) на предыдущей странице.
Подпись_______________________________________Дата________________________________________________
18
Компания Интек благодарит Вас за сотрудничество и предлагает квалифицированное
техническое обслуживание оборудования, оригинальные запасные части и расходные материалы. За получением технической поддержки обращайтесь к представителям компании в стандартное рабочее время:
ЗАО Интек-Аналитика,
Санкт –Петербург, 197374
ул.Оптиков д. 4, офис 209,
Тел. +7 (812) 493-24-80, факс +7 (812) 493-24-82
www.invac.ru , info@invac.ru
Внимание!
Данный документ является переводом англоязычной Инструкции, выполненным
ЗАО «Интек Аналитика» и не является официально одобренной производителем Инструкцией по эксплуатации. Он может использоваться только для получения справочной информации.
ЗАО «Интек Аналитика» не несет ответственности за последствия, вызванные возможно присутствующими в документе ошибками, и оставляет за собой право вносить в это документ изменения без предварительного извещения.
Если при использовании документа обнаружились какие-либо неточности, то просим сообщить об этом в службу технической поддержки ЗАО «Интек Аналитика» service@invac.ru.
19