- Фонд исследований генома человека AIRES

Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет «ЛЭТИ»
Фонд Развития Новых Медицинских Технологий
«АЙРЭС»
Исследование влияния щелевых микрочипов на процесс
напыления меди на стекла
Напыление меди на стекла К-8 по ТЗ № 7 № 583-594, № 595-604
от 25-28.03.06. (рабочий материал)
Режимы напыления: давление аргона - РAr 2х10-3 Тор, ток разряда – I – 400 mА, время
напыления – 4 мин. 10 с при толщине пленки 0,5 мкм.
Структуризаторы: 1) 5 щелевых микрочипов (ТЗ 71 («Ангстрем»), Sh-3_16ort_clone3),
размещенных на стекле в виде креста (рис.1).
2) Фотошаблон 125 мм, топология в виде квадрата из 4 одинаковых модулей;
1. Серия со структуризатором №1.
№ 583
Без структуризатора
Невооруженным глазом – зеркало.
В оптике. Зеркало
№ 584
Без структуризатора.
Внешний вид пластины
№ 585
Со структуризатором.
Невоор. глазом и в оптике – зеркало.
микроскоп SM-Lux 10х
№ 586
Со структуризатором
внешний вид пластины
Микроскоп МИИ-4
№ 587
Со структуризатором. Наиболее интересный образец. Выраженная линейность в макро- и
микрообъектах. В макрообъектах – вертикальная линейность.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 588
Со структуризатором.
В макрообъектах – горизонтальная линейность и близкое к горизонтальному расположение.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 589
Со структуризатором. Макрообъекты – единичные. В оптике – практически зеркало.
внешний вид пластины
2
№ 590
Со структуризатором. Очень насыщенный образец. Поверхность пластины матовая, на
макроуровне структуризация проявлена частично, макрообъекты ориентированы в
горизонтальные линии. На микроуровне – однородные, хорошо сформированные
образования, есть участки с волнообразными объектами.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 591
Со структуризатором. Объекты сосредоточены в левой половине пластины, на макроуровне,
в основном нелинейное скопление довольно крупных пятен, линий почти нет. На
макроуровне – скопление элементов разного размера.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 592
Со структуризатором. На макроуровне – пластина матовая, В правой области выраженная
горизонтальная линейность. На микроуровне элементы местами структурированы в виде дуг,
колец, линий.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 593
Со структуризатором. На макроуровне – не очень правильные линейные объекты. На
микроуровне – области с выраженной линейностью.
3
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 594
Без структуризатора. На макроуровне в центральной части пластины – выраженная
вертикальная линейность, в краевых областях – кривые. На микроуровне – отличные от
предыдущих образцов, очень мелкие образования, расположенные в виде структур,
напоминающих ячеистые.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
Выводы по серии:
Прослеживается определенная цикличность в проявлении эффекта структуризации.
Сам эффект появляется, начиная со второй пластины, напыленной со структуризатором, и
выражен скоплением элементов различного размера на микроуровне, на макроуровне –
образованиями, близкими к линейным.
Следующий образец (3 итерация) является наиболее структурированным в серии - на всей
поверхности пластины образованы параллельные вертикальные линии, на микроуровне
также проявлена линейность.
К четвертой итерации эффект несколько сглаживается, и линейность сменяется на
горизонтальную. В следующем образце (5 итерация) эффект структуризации аннулируется,
затем (6 итерация) вновь проявляется, но более интенсивно на микроуровне, чем на макро-,
сохраняется горизонтальная линейность, поверхность матовая. Далее (7 итерация) эффект
ослабляется и проявлен только на небольшой области поверхности в виде отдельных
скоплений элементов. К следующему образцу - снова усиление эффекта, сохраняется
горизонтальная линейность, на микроуровне структуризация также проявлена. В последней
итерации – на микроуровне структуризация более проявлена, чем на макро-.
В последнем образце, напыленном без структуризатора, эффект структуризации сохраняется,
но сами элементы выглядят отличными от других образцов – это очень мелкие образования,
скомпонованные в ячеистые структуры. На макроуровне проявлена вертикальная линейность
в центральной области образца.
4
2. Серия со структуризатором №2.
№ 595-1.
Без структуризатора. Пластина матовая, выраженные структурные образования на макро- и
микроуровне.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 595-2.
Без структуризатора. Пластина более структурированная, чем предыдущая, на макроуровне.
На микроуровне – объекты различной конфигурации, собранные в хаотичные скопления.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 596-599 – структуризатор обернут фольгой для защиты от напыляемого
материала (заземление).
№ 596.
Со структуризатором. Очень насыщенная структурными образованиями пластина.
Структуризация на макроуровне выражена слабо, местами отрывы пленки от подложки. На
микроуровне – волнообразные объекты, часто ориентированы линейно.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
5
№ 597.
Со структуризатором. Пластина матовая, очень насыщенная. Слабо выраженная
вертикальная линейность на макроуровне. На микроуровне – большое разнообразие
элементов, от округлых до волнообразных, иногда очень плотные скопления.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 598.
Со структуризатором. Структуризация практически не выражена. Слабые проявления
вертикальной линейности на макроуровне. На микроуровне – плотное скопление очень
мелких элементов.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 599.
Со структуризатором. Пластина похожа на предыдущую. Более выраженная структуризация
на макроуровне.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 600-603 – структуризатор накрыт стеклом (толщиной 0,4 мм) для
защиты от напыляемого материала.
№ 600.
Со структуризатором. Зеркало.
6
№ 601.
Со структуризатором. Довольно насыщенная пластина. Структуризация слабо проявлена на
макроуровне. На микроуровне – скопления различной плотности элементов разного размера.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 602.
Со структуризатором. Зеркало.
№ 603.
Со структуризатором. Структурные образования практически отсутствуют. На микроуровне
– нерегулярные скопления очень мелких элементов.
внешний вид пластины
микроскоп SM-Lux 10х
№ 604-1.
Без структуризатора. Зеркало.
№ 604-2.
Без структуризатора. Слабо проявленные структурные элементы.
Выводы по серии:
1. Эффект памяти после серии №1 на образцах без структуризатора.
2. Заземление с помощью фольги усилило эффект структуризации.
3. Экранизация структуризатора с помощью стекла (диэлектрика) ослабляет или
даже снимает эффект структуризации.
Исполнители: Марголин В.И., Солтовская И.А., Барченко В.Т.
7