операционные параметры
advertisement
ОПЕРАЦИОННЫЕ ПАРАМЕТРЫ Высокие средние низкие >105 >760 > 5000O > 1014 SiH4 3 - 20 ГГц 1000-105 10-760 5000O 1012-1014 C4F8, SF6 1 - 3 ГГц 100-1000 1-10 1000O 1010-1012 CHF3 100 МГц - 1 ГГц 10-100 0.1-1 500O 108-1010 Cl 1 - 100 МГц(RF) 1 - 0.1 10-2 - 10-1 200O 106-108 O2 0 - 1 МГц (MF) 0.1-1 10-3 - 10-1 100O 104-106 N2 0-350 кГц (pDC) < 0.1 <10-3 20O <104 Ar, He 0 кГц (DC) Давление, Па Давление, Torr Темп. газа Плотность, см-3 Газ Источник - рабочий диапазон - за пределами диапазона ПРИМЕР ИЗМЕРЕНИЙ Вольт-амперная характеристика зонда в дуге при атмосферном давлении (при разных токах дуги) ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ пространственное распределение N+ и kTe в дуговом разряде при атмосферном давлении Langmuir AtmospheriX ProbeTM Atmospheric Pressure Langmuir Probe ОСНОВНЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ СПЕЦИФИКАЦИЯ Двойной плоский ленгмюровский зонд Плавающий потенциал интервал опроса 12.5 nS Измерения при атмосферном давлении Плотность плазмы источник DC, RF, СВЧ, непрерывный и импульсный Измерения по координате Плотность ионного тока электронная плотность от 1x106 до 3х1013 cm-3 Полная автоматизация Электронная температура ионная плотность от 1x106 до 3х1013 cm-3 плотность ионного тока от 1μА/см2 до 300mA/cm2 электронная температура от 0.1 до 15 эВ Диапазон измеряемых величин Плавающий потенциал от -145 до +145 V Плотность плазмы от 1x10 до 3х10 Плотность ионного тока Электронная температура 6 13 2 cm -3 от 1μА/cm до 300mA/cm 2 от 0.1 до 15 эВ Параметры зонда AtmospheriX Probe TM - это: • Основной инструмент плазменных исследований AtmospheriX Probe - это двойной плоский зонд Ленгмюра, предназначенный для исследования систем типа плазменной горелки при атмосферном давлении. Зонд имеет водяное охлажение и.способен работать при высоких темперарурах окружающей среды. TM • Измерение параметров плазмы при атмосферном давлении • Уникальная геометрия для исследования плазменной струи • Механическая прочность • Простота применения AtmospheriX Probe может выступать в.качестве основного инструмента для измерения параметров плазмы, таких как электронная плотность, ионная плотность, электронная температура, плавающий потенциал. AtmospheriX ProbeTM обеспечивает измерения в плазме постоянного тока, RF, Microvawe и электрической дуге, в постоянном и импульсном режимах. По сравнению с.аналогичными продуктами, AtmospheriX ProbeTM имеет более совершенную геометрию электродов, оптимизированную для проведения измерений в.плазменной струе при атмосферном давлении. Способность выдерживать большой тепловой поток при небольших размерах также выгодно отличает AtmospheriX ProbeTM от конкурирующих продуктов. TM Использование AtmospheriX ProbeTM в качестве диагностического инструмента позволяет более эффективно исследовать отклик плазменной системы на изменение её входных параметров, добиваясь стабильных характеристик плазмы. Использование AtmospheriX ProbeTM поможет вам сэкономить усилия при разработке технологии плазменной струи и обеспечить лучшую контролируемость наиболее важных параметров.плазмы. • Удобное программное обеспечение • Измерение в реальном времени • Легко заменяемые электроды, изготавливаемые на заказ • Наиболее быстрый зонд Ленгмюра (12,5нс) • Измерения вдоль координаты (до 300мм) Источник DC, RF, СВЧ, дуга; непрерывные и импульсные Длина зонда от 300 mm до 1400 mm (по запросу) Диаметр электрода 2.5 mm Модификация конструкции 90О, 45О (по запросу) Максимальная температура газа 5000оС Система охлажения Хладагент дист. H2O Циркуляция хладагента замкнутая, с холодильником Объём хладагента 8 литров Давление компрессора 4 Bar Поток воды > 1 л/мин Мощность источника питания 1 кВт Параметры блока управления Диапазон сканирования по напряжению • Высокая точность ±145 V Диапазон токов от 100 nA до 20 ma • Непрерывный и импульсный режим работы Связь с ПК USB 2.0 Частота выборок 80 MSPS (ток, напряжение) Разрешение по току/напряжению 4.5 mV, 4.5 nA Разрешение по времени 12.5 nS до 1 mS Внешний запуск TTL-логика, от 10 Гц до 50 кГц Прогр аммное обеспечение Операционная система Windows 2000, XP, Vista, Windows 7
