С П И С О К Н А У Ч Н Ы Х Т Р У Д О В
advertisement
СПИСОК НАУЧНЫХ ТРУДОВ Светцова Владимира Ивановича N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Влияние водяного пара на 1 диссоциацию водорода в разряде печатная О диссоциации азота в плазме тлеющего разряда печатная 2 Катодное распыление некоторых материалов в 3 печатная условиях тлеющего разряда в молекулярных газах Катодное распыление некоторых материалов в 4 печатная условиях тлеющего разряда в молекулярных газах О диссоциации двухатом5 ных газов в тлеющем разряде печатная Распад окиси и двуокиси 6 углерода в условиях разряда малого давления печатная Распад и поглощение окиси 7 углерода в тлеющем и печатная высокочастотном разрядах Измерение сечений диссоциации окиси уг8 лерода и окиси азота при электронном ударе печатная Кол-во Примечание страСоавторы ниц Максимов Журнал физической А.И. химии, 40, 2 Соколова 2636-2637,1966 И.Н. Максимов Химия высоких А.И. 3 энергий,1,174-176, 1967 Добрякова Г.П. Тезисы докладов II Всесоюзной конференции по физике Максимов 1 низкотемпературной А.И плазмы с.269, 1968 г.Минск Сб. Вопросы физики низкотемпературной Максимов 4 плазмы, с.604А.И. 607, 1970 Максимов А.И. Труды ИХТИ, вып.10, Соколов В.Ф. 6 с.114-119, 1968 Белоногова Е.К. Сироткин Г.Д. Максимов А.И. Труды ИХТИ, вып.11, 7 Соколов В.Ф. с.83-88, 1969 Зимина И.Д. Бабанов А.И Журнал физической Максимов химии, 44,3, с.814-816, 3 А.И. 1970 Густерин В.П. Максимов А.И. Химия высоких энергий, 3 Соколов В.Ф. 4,6, с.543-545, 1970 Беззубенко Т.А. Максимов Труды ИХТИ, вып.12, 6 А.И. с.101-105, 1971 Зайцев В.В. Название издательства или журнала (N,год) Катодное распыление в 9 условиях тлеющего разряда печатная в молекулярных газах О распаде и поглощении углекислого газа при Химия высоких энергий, 10 длительной тренировке печатная 5, 2, с.167, 1971. №2467изолированных разрядных 71 деп. ВИНИТИ приборов 8 Бровикова И.Н. Максимов А.И. N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) 11 Диссоциация аммиака в тлеющем и высокочастотном разрядах 12 Диссоциация молекул и механизм тлеющего разряда в молекулярных газах Журнал физической химии, 45,6, с.1595, печатная 1971. N2716-71 деп. ВИНИТИ Тезисы докладов на I Всесоюзный симпо-зиум печатная по плазмохимии, Москва, с.100, 1971 13 Положительный столб тлеющего разряда в углекислом газе Химия высоких энергий, печатная 7,вып. 3, с.270, 1973 14 О сравнении свойств Журнал технической тлеющего и СВЧ разрядов в печатная физики, электроотрицательных 43,в.2, с.323-326, 1973 газах 15 Распыление меди в тлеющем и ВЧ разрядах 16 17 18 19 Электронная обработка печатная материалов,N1/49/, с. 49-51, 1973 Функции распределения электронов по энергиям в Журнал технической слоистом положительном печатная физики, 42,8, столбе в смеси азота с с.1693-1695,1972 водородом Влияние примеси на спектральные характеристики и Журнал прикладной функцию распределения печатная спектроскопии, 21,1, электронов по энергиям с.28-31, 1974 положительного столба тлеющего разряда в азоте О применимости максвелловской аппроксимации Журнал физической функции распределения печатная химии, 47, вып.9, с.2373электронов по энергиям в 2374, 1973 газоразрядной плазме в азоте Начальная скорость Журнал физической диссоциации водяного пара печатная химии, 47, 5, в тлеющем разряде с.1259-1261, 1973 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 1 1 1 4 3 Зимина И.Д. Максимов А.И. Максимов А.И. Сизов В.Д. Соколов В.Ф. Максимов А.И. Илющенко В.И. Соколов В.Ф. Максимов А.И. Горохов А.В. Соколов В.Ф. Максимов А.И. Абрамова Т.Н. 3 Абрамов В.Л. Максимов А.И. 4 Зайцев В.В. Максимов А.И. 2 Зайцев В.В. Максимов А.И. 3 Бровикова И.Н. Максимов А.И. 2 N П-п 20 21 22 23 24 25 26 27 Наименование труда Измерение функций распределения энергий электронов и электрических характеристик слоистого разряда в гелии, водороде и азоте Измерение функций распределения энергий электронов при разряде в гелии Влияние паров воды на диссоциацию водорода в тлеющем разряде Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Журнал технической печатная физики, 42,9, с.1894-1898, 1972 Труды ИХТИ,вып. печатная 14, с.37-42, 1972 Журнал физической печатная химии, 47, 5, с.1339-1340, 1973 Изв. ВУЗов Диссоциация молекул Химия и химическая кислорода в тлеющем печатная технолология,18,вып.6, разряде с.902-904, 1975 Журнал прикладной Исследование возбуждения спектроскопии, 18, продуктов разложения в ВЧ печатная вып.6, с.1058-1059, разряде 1973 Изв.ВУЗов,сер.4 Диссоциация аммиака в Химия и хим. тлеющем и высокочаспечатная технология, N9, с.1323тотном разрядах. часть 1 1326, т.17, 1974 Изв.ВУЗов,сер. Диссоциация аммиака в Химия и хим. тлеющем и высокочатотном печатная технология,17, разрядах. часть 2 11,с.1644-1646, 1974 Сравнение электрических характеристик тлеющего и Журнал технической высокочастотного разрядов печатная физики, 43, 8, в продуктах распада с.1776-1778, 1973 аммиака 28 Диссоциация хлора в тлеющем и ВЧ разрядах Химия высоких энергий, печатная 7, 6, с.486-490, 1973 29 Измерение электрических характеристик тлеющего и ВЧ разрядов в процессе распада аммиака в замкнутой системе Журнал физической печатная химии, 47, вып.9, с.23802382, 1973 30 Влияние добавок Ar и Журнал физической Не на диссоциацию хлора в печатная химии, 47, вып.9, с.2377тлеющем и ВЧ разрядах 2378, 1973 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 5 Зайцев В.В. Максимов А.И. 6 Зайцев В.В. Максимов А.И. 2 3 Зайцев В.В. Максимов А.И. Бровикова И.Н. Максимов А.И. 2 Зимина И.Д. Максимов А.И. 4 Зимина И.Д. Максимов А.И. 3 Зимина И.Д. Максимов А.И. 3 Зимина И.Д. Кабанов В.Л. Максимов А.И. 5 Зимина И.Д. Максимов А.И. 3 Баскаков И.Б. Зимина И.Д. Максимов А.И. 2 Зимина И.Д. Илющенко Н.И. Максимов А.И. 3 N П-п 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 Наименование труда Сравнительное исследование распыления некоторых металлов в тлеющем и высокочастотном разрядах Радиальные изменения ФРЭЭ в положительном столбе тлеющего разряда в H2 и H2+H2O Измерение функций распределения энергий электронов и электрических характеристик положительного столба в H2 и H2+Cl2 Исследование диссоциации аммиака, хлора, брома, в разрядах в смесях с инертными газами Некоторые результаты исследований диссоциации молекул в плазме тлеющего разряда пониженного давления О сравнении диссоциации аммиака, хлора и брома в тлеющем и высокочастотном разрядах Диссоциация брома в тлеющем разряде Измерение концентраций зарядов в электроотрицательных газах Функция распределения энергии электронов и скорости процессов в столбе тлеющего разряда в H2+H2O и H2+Cl2 Влияние добавок H2O и Cl2 на диффузионные характеристики слоистого положительного столба тлеющего разряда в водороде Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) печатная Труды ИХТИ, 15, с.110115, 1973 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 6 Максимов А.И. 6 Зайцев В.В. Максимов А.И. Журнал технической физики, печатная 44, 1, 98-101, 1974 4 Зайцев В.В. Максимов А.И. Журнал физической печатная химии, 49, 6, 1468-1471, 1975 3 Зимина И.Д. Максимов А.И. 12 Бровикова И.Н. Зимина И.Д. Максимов А.И. 3 Зимина И.Д. Максимов А.И. Журнал технической печатная физики, 43,9, 1925-1930, 1973 печатная Труды ИХТИ,N16, с.314, 1973 Журнал физической печатная химии,50,5, 1209-1211, 1976 Химия и химическая печатная технология,18,12,19061909, 1975 4 Труды ИХТИ,17, с.2-7, 1974 5 печатная Зимина И.Д. Максимов А.И. Максимов А.И. Соколов В.Ф. Теплофизика высоких печатная температур,13,1,4552, 1975 8 Зайцев В.В. Максимов А.И. Журнал технической печатная физики, 46,3,622-626, 1976 5 Зайцев В.В. Максимов А.И. 4 N П-п 41 42 43 44 45 46 47 48 49 Кол-во Примечание страСоавторы ниц Спектры тлеющего и Журнал прикладной Зимина И.Д. высокочастотного разрядов печатная спектроскопии,23,4, 3 Максимов в потоке аммиака 722-724, 1975 А.И. Максимов Разложение молекул Труды ИХТИ,19, с.6-9, А.И. CCl4 в тлеющем и ВЧ печатная 4 1976 Фролочкин разрядах В.Е. Бровикова И.Н. Применение ЭПР-спектроГруздев В.В. скопии для изучения Труды ИХТИ, 19, с.9-13, печатная 5 Максимов процессов в газоразрядной 1976 А.И. плазме Соколов В.Ф. Царев В.П. Пространственные изменения вида функции распределения энергий Павлюк Л.Б. Журнал технической электронов и электриЗайцев В.В. печатная физики, 4 ческих харак-теристик Максимов 46,7,1976,с. 1522-1525 положительного столба А.И. тлеющего разряда в смеси N2+Н2 Химия высоких Абрамов В.Л. О двух формах тлеющего печатная энергий,11,1,с. 96-97, 2 Максимов разряда в аммиаке 1977 А.И. Диссоциация молекул и Журнал физхимии Зимина И.Д. электрические харакпечатная 49,5,1975. N3338-74 деп. 1 Максимов теристики плазмы разряда в ВИНИТИ А.И. потоке аммиака Зимина И.Д. Куприяновска Разложение хлористого Труды ИХТИ, вып. я печатная 5 водорода в ВЧ разряде 20, с.6-10, 1976 А.П. Максимов А.И. Максимов Свойства плазмы тлеющего Труды ИХТИ, вып. А.И. разряда в СО2 и NO в печатная 4 18,с.16-19,1975 Соколов В.Ф. замкнутых системах Шлыкова Т. Пространственное изменение вида функции IV Всесоюзная распределения электронов конференция по физике Зайцев В.В. по энергиям, электрических низкотемпературной Максимов печатная 1 характеристик и скоростей плазмы. Сб.Аннотации А.И. неупругих процессов в докладов, т.11,с.90, Павлюк Л.В. тлеющем разряде в смеси 1975 N2+H2 Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) 5 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Кол-во Примечание страСоавторы ниц Максимов Электронная техника, А.И. печатная сер.1. Электроника СВЧ, 7 Куприяновска N5, с.18-24,1976 я А.П. Название издательства или журнала (N,год) 50 Процессы диэлектронизации плазмы импульсных СВЧ-разрядов 51 Диссоциация аммиака в тлеющем разряде в потоке газа при пониженных давлениях Журнал физической печатная химии,1977, 51, 2, 527 N3689-76 деп.ВИНИТИ 52 Разложение молекул четыреххлористого углерода в высокочастотном разряде Известия ВУЗов Химия и химическая печатная технология.20,7,1099, 1977, N1796-76 деп. ВИНИТИ 53 Измерение коэффициента поглощения атомов кислорода никелевым покрытием Журнал физической печатная химии,51, 10, с.2689-2690, 1977 54 Адсорбция хлора и брома Известия ВУЗов на стекле и меди в условиях Химия и хим. печатная работы газоразрядных технология,20, приборов 4,525-527,1977 55 Излучение тлеющего разряда в потоке аммиака Журнал прикладной печатная спектроскопии, 27, 6, с. 1095-1098, 1977 56 Жестчение и срок службы газоразрядных приборов, наполненных хлором печатная 57 Диссоциация молекул хлора в СВЧ разряде Электронная техника,сер.1, печатная Электроника СВЧ N8, 24-29, 1977 58 Влияние отрицательных Электронная техника, ионов на изменение печатная сер.1, Электроника СВЧ концентрации электронов в N6,с.26-28,1977 распадающейся плазме 59 Диссоциация молекул как простейшая реакция в неравновесной плазме.ч.I. Кинетика процесса диссоциации молекул Электроника СВЧ вып.7,с.36-39, 1977 Деп.ВИНИТИ печатная N133-77,1977, 29 стр. 5 илл. 1 Абрамов В.Л. Максимов А.И. 1 Зимина И.Д. Максимов А.И. 2 3 4 4 6 Максимов А.И. Зимина И.Д. Кротова Г.Д. Куприяновска я А.П. Максимов А.И. Абрамов В.Л. Максимов А.И. Куприяновска я А.П. Зимина И.Д. Максимов А.И. Максимов А.И. Куприяновска я А.П. 3 Максимов А.И. 29 Бровикова И.Н. Зимина И.Д. Максимов А.И. Соколов В.Ф. 6 N П-п Наименование труда 60 Диссоциация молекул как простейшая химическая реакция в неравновесной плазме. ч.II. Механизм диссоциации молекул 61 Расчеты диэлектронизации плазмы импульсного СВЧ разряда 62 Поглощение хлора некоторыми металлами в ВЧ разряде 63 64 65 66 67 Рукопись или печатная Кол-во Примечание страСоавторы ниц Бровикова И.Н. Деп.ВИНИТИ Зимина И.Д. печатная N134-77,7.1. 25 Зайцев В.В. 1977, 7илл. Максимов А.И. Соколов В.Ф. Куприяновска я Электронная техника, А.П. печатная сер.1, Электроника СВЧ 7 Менагаришви N4, 18-24, 1978 ли В.М. Журнал физической химии, 51, 10, 2689Зимина И.Д. печатная 2 2690, 1977, N1511-77 Ганина В.В. деп.19.4.1977 ВИНИТИ Название издательства или журнала (N,год) Низкоэнергетические пики в распределении Физика плазмы, печатная электронов по энергиям в 4,5,1141-1145, 1978 тлеющем разряде в аммиаке Сб. материалов Влияние диссоциации III Всесоюзного молекул на ионизационные печатная симпозиума по процессы в плазме плазмохимии т.1, тлеющего разряда в NH3 с.3-6,1979, Москва Известия ВУЗов, Ионизационные процессы в сер.Хим.и хим. тлеющем разряде в потоке печатная технология,22, N3, аммиака с.308-313, 1979 Окислительные процессы в Изв.ВУЗов,Химия и неравновесной плазме печатная хим.технология, 22, N10, низкого давления с.1167-1185, 1979 Механизмы процессов образования и гибели заряN2437/79 деп. в печатная женных частиц в тлеющем ОНИИТЭХИМ разряде в потоке аммиака 68 Деэлектронизация плазмы Журнал Электронная импульсного СВЧ разряда в техника сер.1, Электропечатная присутствии ника СВЧ, N5, с.9-14, отрицательных ионов 1979 69 Сравнение диссоциации и поглощения хлора и брома в высокочастотном безэлектродном разряде Известия ВУЗов печатная Химия и хим. технология, 23, вып.2, с.211-214, 1980 5 Абрамов В.Л. 4 Абрамов В.Л. 6 Абрамов В.Л. 19 Максимов А.И. Абрамов В.Л. 6 Куприяновска я А.П. Менагаришви ли В.М. 4 Куприяновска я А.П. 7 N П-п 70 Наименование труда Разложение четыреххлористого углерода в смеси с хлором при горении высокочастотного безэлектродного разряда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Известия ВУЗов Химия и хим. печатная технология,23, вып.4, с.439-442, 1980 Сб.Электроника печатная СВЧ, N1,с.115117, 1980 71 Механизм деэлектронизации водородной плазмы 72 Исследование окисления Сборник «Кинетика и графита в плазме тлеющего печатная катализ», ИХТИ с.58-62, разряда 1979 73 74 75 76 77 78 Пассивация поверхности металла при горении ВЧ разряда в смеси хлоркислород Масс-спектрометрическое исследование разложения фреонов 14 и 113 в тлеющем разряде Кинетика взаимодействия Cl2 и Cl2+O2 с металлами в ВЧ разряде Кол-во Примечание страСоавторы ниц 4 3 5 Зимина И.Д. Куприяновска я А.П. Гундарова М.П. Зырина И.Г. Кувалдина Е.В. Максимов А.И. Сергиенко А.Ф. Физика и химия печатная обработки материалов, N2, с.51-54, 1981 4 Зимина И.Д. Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим.технология, 22, N8, 944-946, 1979 3 Зимина И.Д. Тростин А.Н. Плазмохимия-79 Сб.материалов III Всесоюзного печатная симпозиума по плазмохимии,М., 1, с.6264, 1979 3 Зимина И.Д. 3 Куприяновска я А.П. Изменение состава газа при Изв.ВУЗов,Химия и хим. длительном горении печатная технология, 24, N8, с.990разряда в смеси хлор992, 1981 кислород Кинетика поглощения газа Изв.ВУЗов, Химия и хим. при длительном горении печатная технология, N57ХП-Д81 разряда в смеси хлорот 15.01.1981 кислород Влияние состава газа на напряжение горения Электронная техника, сер. вспомогательного тлепечатная Электроника СВЧ вып.8 ющего разряда в СВЧ (320) с. 19-20, 1980 разрядниках, наполненных аммиаком Куприяновска я А.П. 3 Абрамов В.Л. 8 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная 79 Химические процессы на поверхности стекла в условиях ВЧ разряда в Cl2 печатная 80 О механизме диссоциации молекул аммиака в тлеющем разряде печатная 81 Распределение энергий электронов в тлеющем разряде в потоке аммиака печатная 82 Сравнение свойств Т и Н форм положительного столба тлеющего разряда в потоке аммиака печатная 83 Катодное распыление меди в тлеющем разряде в хлоре 84 85 86 87 88 печатная Название издательства или журнала (N,год) Кол-во Примечание страСоавторы ниц Плазмохимия-79 Сб.материалов III Всесоюзного симпозиума по плазмохимии,М., 1,с.313-316, 1979 V Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы. Тезисы докл., ч.1, с.3, 1979 V Всес.конф. по физике низкотемпературной плазмы. Тезисы докладов, ч.1, с.4, 1979. Киев. V Всесоюзная конф. по физике низкотемпературной плазмы. Тезисы докладов ч.1,с.5,1979, Киев Электронная обработка материалов, N1 (97),с. 5658, 1981 Кинетика взаимодействия Физика и химия газа с коваром при горении печатная обработки материалов, ВЧ разряда в смесях хлора N6, с.8-10, 1982 и брома с кислородом Сб.Электронная техника, Поглощение азота и сер.4, водорода стеклом в печатная Электровакуумные и высокочастотном безгазоразрядные прибо-ры, электродном разряде вып.2 (85),1981 Сб.Электронная техника,сер.4, Поглощение азота в Электровакуумные и аномальном тлеющем печатная газоразрядные приборы, разряде вып.1 (90), с. 6-8,1982 Применение абсорбционной спектроскопии для Журнал прикладной исследования диссоциации печатная спектроскопии,35, N2, и взаимодействия хлора со с. 205-208, 1981 стеклом в высокочастотном безэлектродном разряде Травление титана в Тезисы докладов тлеющем разряде в хлоре печатная конференции (ДСП) АПМ-81 4 Куприяновска я А.П. 1 Абрамов В.Л. 1 Абрамов В.Л. 1 Абрамов В.Л. 8 Тростин А.Н. Чеснокова Т.А. 3 Зимина И.Д. Зырина И.Г. 3 Абрамов В.Л. Куприяновска я А.П. 3 Куприяновска я А.П. Усадьевская Н.Н. 4 Куприяновска я А.П. Марышев А.Б. Чеснокова Т.А. 9 N П-п 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Кинетика взаимодействия Журнал физической хлора с железом, никелем и печатная химии,55, N10, сплавом "ковар" при с.2675-2678, 1981 пониженных давлениях Расчеты скоростей процессов при плазменном N61ХП-Д81 реакционнотермическом печатная деп.ОНИИТЭХИМ напылении оксидных пленок О механизме химических Изв.ВУЗов,Химия и процессов на катоде печатная хим.технолоия,25, N8, тлеющего разряда при с. 950-953, 1982 реактивном распылении Электронная техника, Использование галогенной Тезисы докладов. Сер.11. плазмы для получения печатная Лазерная техника и паров металлов оптоэлектроника, 1981 (ДСП) Влияние начального давления и мощности на Электроника СВЧ поглощение газа в печатная N11 (335) с.15-18, 1981 высокочастотном безэлектродном разряде Окислительные процессы Сб.Электронная техника, при термическом печатная сер. Матери-алы, вып.9 испарении магния в среде (170),с.78-80, 1982 кислорода Химические процессы в системе хлор-металл в Деп.N664ХП-Д81 печатная газоразрядной плазме ОНИИТЭХИМ пониженного давления Концентрации атомов меди Тезисы X сибирского в основном и месовещания по тастабильном состояниях в печатная спектроскопии. стационарном Изд.Томского ун-та, с.64, ВЧ разряде в парах меди 1981 Исследование диссоциации Тезисы X сибирского хлора в ВЧ разряде совещания по печатная методом абсорбционной спектроскопии.Изд.Томск спектроскопии ого ун-та,с.67, 1981 О механизме диссоциации Изв.ВУЗов,Химия и хим. CF4 и CCl4 в тлеющем печатная технология, 25,N6, с.717разряде 720, 1982 Кинетика и механизмы Тезисы докладов активации процессов при Плазмохимические печатная плазмохимическом процессы в электро-нике, травлении Воронеж,с.7, 1981 (ДСП) Кол-во Примечание страСоавторы ниц 4 Зимина И.Д. Лабирев В.Л. 4 Зимина И.Д Чеснокова Т.А. 4 Куприяновска я А.П. 3 Лабирев В.Л. Зимина И.Д. 1 Зимина И.Д. 1 Куприяновска я А.П. 4 Тростин А.Н. Никифоров А.Ю. 1 Максимов А.И. 10 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Плазменное травление 100 металлов в хлоре Тезисы докладов печатная републиканской конф., Казань, 1981, с.65-66 Окисление магния в разряде при плазменно101 термическом формировании диэлектрических слоев печатная 107 108 109 110 Металлизация лавсана в тлеющем разряде Роль атомов при плазмохимическом травлении металлов и углеродсодержащих соединений О механизме образования и разрушения активных частиц в галогенной плазме Травление молибдена в высокочастотном разряде в хлоре Исследование термически активного взаимодействия хлора с некоторыми металлами при пониженных давлениях 2 Тезисы докл. АПМ-81 (ДСП) Сб.Электронная Зависимость долговечности техника,сер.1 102 ВЧ разрядников от печатная Электроника СВЧ вып.8 давления хлора (344), с.55-57, 1982 Влияние высокочастотного безэлектродного разряда на Журнал физической 103 взаимодействие хлора с печатная химии, 57, вып.6,с.1522металлом при пониженном 1524, 1983 давлении Изв.ВУЗов, Химия и хим. Химическое распыление технология, 26,вып.8, 104 печатная катода в тлеющем разряде 1983, с.946-949 Обзоры по электронной Особенности распыления технике сер.4, Электроразличных материалов при 105 печатная вакуумные и газоразразряде в химически рядные приборы, вып.5, активных средах. с.1-40, 1983 106 Кол-во Примечание страСоавторы ниц Чеснокова Т.А. Лабирев В.Л. 3 Волкова Л.В. Лаговьер Б.Б. Мартьянов В.В. 3 Зимина И.Д. 4 Чеснокова Т.А. 40 Электронная обработка матер, N3,с.52-54,1983 3 Бровикова И.Н. Булатова Л.В. Кротова Г.Д. Изв.ВУЗов,Химия и печатная хим.технолоия, 26, N5, с.571-574, 1983 4 Максимов А.И. 5 Куприяновска я А.П. 4 Чеснокова Т.А. 3 Чеснокова Т.А. печатная Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим.технол., 24, вып.12, с.1441-1445, 1983 Изв.ВУЗов,Химия и печатная хим.технология, 27, вып.4, 1984, с.415-418 Журнал физической печатная химии,58, N7, с.1774-1776, 1984 11 N П-п 111 112 113 114 115 116 117 118 119 Наименование труда Влияние кислорода и гелия на диссоциацию CF4 и CCl4 в тлеющем разряде Баланс атомов и степени диссоциации молекул хлора в тлеющем разряде Влияние разряда на осаждение пленок оксида магния при реакционнотермическом испарении Определение коэффициентов рекомбинации атомов хлора на металлах методом абсорбционной спектроскопии Влияние добавок кислорода и гелия на степень диссоциации молекул хлора в тлеющем разряде Процессы полимеризации при тлеющем и высокочастотном разряде в четыреххлористом углероде Использование разряда в хлоре для перевода атомов металла в газовую фазу Исследование диссоциации CCl4 и CF4 в тлеющем разряде Травление кремния в послесвечении разрядов SF6 и SF6+O2 Гетерогенные процессы и 120 долговечность лазеров на галогенидах меди 121 Способ стабилизации состава газа Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Химия высоких энергий, печатная 17, N6, с.530-532,1983 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 3 Никифоров А.Ю. Химия и хим. технология, печатная 27, вып.2, с.200-202, 1984 3 Куприяновска я А.П. Изв. АН СССР Неорганические материалы, 21, печатная N6 с.1037-1039, 1985 3 Лабирев В.Л. Сафиуллин И.И. 4 Куприяновска я А.П. Журнал физической печатная химии, 58, N8 с.2031-2033, 1984 3 Куприяновска я А.П. Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим.технолология, 28, N3, с.116-118, 1985 3 Никифоров А.Ю. Журнал прикладной печатная спектроскопии, 40, вып.2, с.326-327,1984 2 Зимина И.Д. Журнал прикладной печатная спектроскопии,40, вып.3, с.487-490, 1984 Никифоров А.Ю. Тростин А.Н. Деп.N114ХП-Д83 от печатная 27.01.83. Электронная техника, печатная сер.Материалы, N10 (183),с.41-44, 1983 Электронная техника, Лазерная техника и печатная оптоэлектроника вып.1, с.114-117, 1984 (ДСП) печатная Авт.св.N936780 16.02.1982 (ДСП) 4 Дикарев Ю.И. 4 Чесноков В.В. Евдокимова Е.Е. Иванова Р.Ф. Кюн В.В. Назаров И.Д. Никифорова В.И. 12 N П-п 122 123 124 125 126 Наименование труда Об эффективности взаимодействия хлора с различными металлами при пониженных давлениях Влияние параметров процесса на скорость плазмохимического травления кремния Получение металлических покрытий на поверхности лавсана Об использовании таунсендовских коэффициентов при анализе процессов в хлорной плазме Влияние низкотемпературной плазмы на осаждение пленок окиси алюминия при реакционнотермическом испарении Рукопись или печатная 4 Чеснокова Т.А. Электронная техника, сер. печатная Материалы,1986, вып.5, с.34-37 4 Дикарев Ю.И. Деп.N223ХП-Д83 от печатная 17.02.1983 Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим.технология,28,N3, с. 61-64, 1985 Хлорирование меди при 128 разряде в четыреххлористом углероде печатная Травление алюминия в 130 газовом разряде при пониженном давлении Травление графита в 131 ВЧ разряде различных газов Измерение концентраций молекул и атомов хлора и 132 брома в разряде методом абсорбционной спектроскопии Влияние ВЧ разряда на 133 процесс хлорирования оксида неодима 4 Деп.N979ХП-Д83 от 4 печатная окт. 1983, ОНИИТЭХИМ печатная Травление арсенида галлия в водородном разряде Кол-во Примечание страСоавторы ниц Журнал физической печатная химии, 63, N11, с.2706-2709, 1984 Спектральные исследо127 вания ВЧ разряда в парах монохлорида меди 129 Название издательства или журнала (N,год) печатная печатная Тезисы докладов Изд.Томского филиала СО АН СССР, 1983 т.5, с.186-188 Изв.АН СССР,Неорганические материалы, 22, N3 с.474-476, 1986 Физика и химия обработки материалов, N4, с. 135-136, 1985 Изв.АН СССР, сер. Неорганические материалы, 22, N11,1986, с.1832-1834 Бровикова И.Н. Кротова Г.Д. Куприяновска я А.П. Рыбкин В.В. Лабирев В.Л. Жуков В.Г. 3 Зимина И.Д. 3 Чеснокова Т.А. 2 Чеснокова Т.А. 3 Чеснокова Т.А. Деп.N402ХП-85 печатная ОНИИТЭХИМ Чеснокова Т.А. Суслова Н.В. Изв.ВУЗов,Химия и печатная хим.технология, 28, вып.6, с.39-42, 1985 4 Зимина И.Д. Куприяновска я А.П. 2 Зимина И.Д. Мироненко А.И. Орловский В.П. Изв. АН СССР, сер.Неорганические печатная материалы,21,N7, с. 1237-1238, 1985 13 N П-п Наименование труда Кинетика деструкции полимеров в низкотем134 пературной кислородной плазме Травление GaAs в 135 высокочастотном водородном разряде Рукопись или печатная Низкотемпературная плазма, межвузовский печатная сборник, Казань 1983, с.74-81 печатная Диссоциация молекул и 136 гетерогенные реакции в хлорном разряде печатная Баланс зарядов и концентрации 137 отрицательных ионов при разряде в хлоре печатная 138 Плазменные колебания и печатная две формы разряда аммиака Плазмохимическое 139 травление графита в подобных системах Название издательства или журнала (N,год) Тезисы докладов IV Всесоюзного симпозиума по плазмохимии, Днепропетровск, 1984,т.2,с.160-161 Тезисы докладов IV Всесоюзного симпозиума по плазмохимии, Днепропетровск, 1984,т.1,с.17-18 Тезисы докладов Ереван, Второй Всесоюзный семинар, 1984,с. 65-67 Тезисы докладов Второй Всесоюзный семинар, Ереван,1984, с.68-70 Химия высоких печатная энергий,19, N6, с.560-561, 1985 Влияние плазменной обработки на диэлектричесЭлектронная техника, 140 кие свойства печатная сер.Материалы,1985, электрохимически вып.9, с.75-76 анодированного алюминия Кол-во Примечание страСоавторы ниц Менагаришви ли В.М. Менагаришви 7 ли С.Д. Максимов А.И. 2 Зимина И.Д. Чеснокова Т.А. 2 Куприяновска я А.П. 3 Куприяновска я А.П. 3 Абрамов В.Д. 2 Максимов А.И. Никифоров А.Ю. Кочеткова Т.Е. 2 Жуков А.Г. Кривцова Г.Е. Травление кремния при 141 разряде в тетрафторметане в подобных системах Изв.ВУЗов,Химия и печатная хим.технология, 1986, т.29, вып.11,с.114-116 3 Максимов А.И. Никифоров А.Ю. Влияние параметров разряда на скорость 142 активационных процессов при пониженном давлении Деп.ОНИИТЭХИМ печатная N262ХП-85деп. от 21.03.85 8 Никифоров А.Ю. 14 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Кол-во Примечание страСоавторы ниц Рабочее вещество газораз143 рядного источника излучения на парах меди А.С. N1159481 печатная от 4.01.1984 (ДСП) Зимина И.Д. Чесноков В.В. Влияние ВЧ разряда на высокотемператерное 144 бромирование оксида неодима Тезисы докл. Всесоюзного совещания, печатная М.: Наука,1984, с.97-99 3 Мироненко А.И. Орловский В.П. Лисихин В.Г. 4 Зимина И.Д. Чесноков В.В. 7 Зимина И.Д. Белов С.Ю. Шикова Т.Г. О применении метода абсорбционной спектЖурнал прикладной роскопии для определения 145 печатная спектроскопии,45, N1, с. населенности уровней при 130-133, 1986 инструментальном контуре линий Излучение люминофоров в разряде молекулярных Деп. N1113ХП-86 146 печатная газов и области ОНИИТЭХИМ послесвечения Григорьев М.И. Мартьянов В.В. Лаговьер Б.Б. 147 Авторское свидетельство N239316 печатная 1 июль 1986 (ДСП) Взаимодействие хлора с 148 медью при пониженных давлениях Изв. АН СССР, Неорганические печатная материалы, т.24, N5, 1988, с.848-850 3 Чеснокова Т.А. Изв.ВУЗов Химия и печатная хим.технология, т.30, N11, с.52-57,1987 6 Куприяновска я А.П. Деп. Электронная печатная техника, сер.6, вып.2 (231), 1988 12 Зимина И.Д. 6 Рыбкин В.В. Чеснокова Т.А. 3 Никифоров А.Ю. Кузнецов М.Ю. Исследование хлорирования молибдена и арсенида гал-лия в разряде 149 пониженного давления методом абсорбционной спектроскопии Получение пленок двуокиси кремния методом 150 плазмохи-мического транспорта Концентрация атомов в тлеющем разряде в 151 водороде при пониженных давлениях Закономерности травления 152 вольфрама при разряде в тетрахлорметане Химия высоких энергий, печатная т.22, N6, с.526-531, 1988 Физика и химия печатная обработки материалов, N6, с. 124-126, 1987 15 N П-п Наименование труда Влияние кислорода на 153 травление вольфрама в тетрахлорметане Травление арсенида галлия 154 в тлеющем водородном разряде 155 Травление меди в хлоре на катоде тлеющего разряда Рукопись или печатная Кол-во Примечание страСоавторы ниц Изв. АН СССР, НеоргаНикифоров печатная нические материалы, т.14, 3 А.Ю. с.1914-1916, 1989 Ковалев А.Г. Изв.ВУЗов, Химия и хим. Чеснокова печатная технология, т.30, в.7, с.50- 4 Т.А. 53, 1987 Садина И.Ю. Электронная обработка Чеснокова печатная материалов, N6, 2 Т.А. с.36-37, 1988 Чайкина М.В. Название издательства или журнала (N,год) Влияние температуры газа Деп.ОНИИТЭХИМ на измерение концентрации N441ХП-87 156 атомов хлора в разряде печатная Библ.указ.ВИНИТИ, N7, методом абсорбционной с.141, 1987 спектроскопии Электронная техника сер. Плазменное окисление 157 печатная Материалы, N8, алюминиевой фольги с. 73-75, 1987 В кн. Взаимодействие атомных частиц с тверИонно-химическое 158 печатная дым телом. Материалы 8 травление меди Всесоюзн. конф., Москва,1987,т.3 с.98-99 1 Куприяновска я А.П. 3 Жуков А.Г. Кривцова Г.Е. Терехина Е.А. 2 Чеснокова Т.А. Чайкина М.А. Критериальное обобщение 159 закономерностей Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим.технология, N3, т.32, с.117-118, 1987 2 Травление арсенида галлия 160 в хлоре и его смесях с инертными газами Физическая и химичеспечатная кая обработка материалов, N1, с.90-92, 1990 3 Максимов А.И. Никифоров А.Ю. Чеснокова Т.А. Шикова Т.Г. Александрова С.Н. Олоничева О.С. Шикова Т.Г. Спектральное исследование Журн. прикладной 161 травления арсенида галлия печатная спектроскопии, т.50, N5, при разряде в хлоре с.837-839, 1989 3 Связывание тетрахлор162 метана при пониженных давлениях 3 Невский А.В. Косаева Е.Н. 11 Чеснокова Т.А. 163 Сухое травление меди (обзор) О механизме диссоциации 164 молекул хлора в тлеющем разряде Химия и Хим. печатная технология, т.32 N8, с.74-76, 1989 Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим.технология, т.31(10), с.3-13, 1988 В кн.Процессы ионизации с участием возбужденных атомов, Тезисы печатная докладов Всесоюзного семинара, Ленинград, с. 153-154, 1988 2 16 N П-п 165 166 167 168 Наименование труда Электрические и оптические свойства положительного столба тлеющего разряда в хлоре в присутствии меди и монохлорида меди Излучение и химические процессы в системе хлормедь в высокочастотном разряде Плазмохимическое и ионнохимическое травление полупроводниковых материалов типа A3B5. Обзор Исследование гетерогенных реакций в послесвечении разряда методом кварцевого резонатора Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Деп.ОНИИТЭХИМ, Черкассы, N565-ХП88, печатная Библ. ВИНИТИ "Деп. работы", N10,1988, с.172 1 Зимина И.Д. Чесноков В.В. Деп.ОНИИТЭХИМ, Черкассы, N564-ХП88 печатная Библ.ук. ВИНИТИ, N10, с.172, 1988 1 Зимина И.Д. Чесноков В.В. Обзоры по электронной технике сер.6, печатная Материалы вып.6 (1487), 1989, с.1-48 48 Данилов Н.Г. Чеснокова Т.А. Деп.ОНИИТЭХИМ, печатная N330-ХП90 от 25.04.90 Обзоры по электронной Поглощение газов в разряде технике сер.4, Электро169 и долговечность печатная вакуумные и газоразгазоразрядных приборов рядные приборы, вып.2 (1425),1989 Кинетика хлорирования 170 ниобия в разряде пониженного давления Пути создания безотходного экологически чистого технологического 171 цикла при плазмохимическом травлении маитериалов в хлоре и тетрахлорметане Связывание тетрахлор172 метана при пониженных давлениях Спектральные исследо173 вания очистки титана в тлеющем разряде Кол-во Примечание страСоавторы ниц печатная Плазмотехнология, Киев, 1989, с.32-34 Тезисы докл. I Всесоюзной научно-технической конференции "Актуальные проблемы технологии композипечатная ционных материалов и радиокомпонентов в микроэлектронных информационных системах", Ялта,1990, с.89 Изв.ВУЗов Химия и печатная хим.технология, N8, с.74-76, т.32, 1989 Электронная техника, сер. Материалы, вып.7 печатная (252), с.77-78, 1990 (ДСП) Шатило П.П. Молодцева Е.В. 36 Куприяновска я А.П. Сергеев В.Ю. 3 Крестова О.А. Куприяновска я А.П. 1 3 Невский А.В. Косаева Е.Н. 2 Абрамов В.Л. Лохова М.Н. Афанасьева Н.В. 17 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Расчет кинетических коэффициентов в поло174 жительном столбе тлеющего разряда в хлоре Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим. технология, т.33, в.9, с.31-35, 1990 Кинетика травления 175 полиимида в хлорном разряде Электрон.техник, сер.10 Микроэлектронные печатная устр. вып.1(85) с.52-54, 1991 Кинетические коэффиИзв.ВУЗов, Химия и циенты и энергетические 176 печатная хим.технология, т.34, распределения электронов вып.8 с.49-53, 1991 при разряде в смеси Cl2-He Обезвреживание тетраЭлектронная техника, хлорметана и продуктов сер.3, Микроэлектрони177 разряда при печатная ка, вып.6(145), с.37-39, плазмохимичес-ком травле1991 нии Обезвреживание хлора в Электронная техника, отходящих газах сер.7. Технол. и орган. 178 печатная плазмохимических производства, вып.4 реакторов (167), с.58-60, 1991 Тезисы докл. ВсесоОсобенности катодного юзной конференции распыления меди при "Взаимодействие ионов 179 печатная разряде в молекулярных с поверхностью", ВИП газах 1991, с.159-159, Москва Масс-спектральные Электронная техника, исследования влияния сер.4, Электровакуум180 материала катода на печатная ные и газоразряд. разложение молекул приборы, Вып.3 CO2 в тлеющем разряде (134),с.10-12,1991 Электронная техника, Спектральные исследосер.4, Электровакуум181 вания разряда в углекислом печатная ные и газоразряд. газе приборы, вып.3 (134)с.12-14, 1991 Электронная техника, Кинетика травления сер.10. Микроэлектрон. 182 полиимида в хлорном печатная устройства, вып.1 разряде (85),с.52-54, 1991 Обезвреживание отходящих газов при Вакуумная техника и 183 плазмохимичес-ком травле- печатная технология, N5-6, т.1, нии материалов в хлоре и с.46-49, 1991 тетрахлорметане Кол-во Примечание страСоавторы ниц Куприяновска я 5 А.П. Рыбкин В.В. 3 5 3 Бликов Любимов В.К. Ефремов А.М. Куприяновска я А.П. Рыбкин В.В. Куприяновска я А.П. Юрьев В.И. Волков И.В. 3 Ефремов А.М. Юрьев В.И. Волков И.В. 2 Сергеев В.Ю. Забегалов Е.А. 3 Дубровин В.Ю. Ефремов А.М. Сергеев В.Ю. 3 Прик К.Е. Сергеев В.Ю. Тростина С.А. 3 Буланьков Ефремов А.М. Любимов В.К. 4 Куприяновска я А.П. 18 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Междунар.симпозиум по теоретич.и прикладПлазмохимическое ной плазмохимии. 184 травление меди в хлорном печатная Тезисы докл.,Рига, с. разряде 171-173 (Иностр. вар. с.49), 1991 Междунар.симпозиум по теоретич.и прикладПлазмохимическое ной плазмохимии. 185 травление металлов при печатная Тезисы докл., Рига, с. разряде в Cl2 370-372 (Иностр. вар. с.138), 1991 Безотходные и эколоТруды конференции гически чистые технологии АПЭП-92, т.2 в процессах Технология изготовле186 печатная плазмохимического ния электронных травления в хлоре и приборов, Новосибирск тетрахлорметане с.25-29, 1992 187 188 189 190 191 192 Спектр излучения тлеющего разряда в хлоре Кинетика образования атомов водорода при разряде в аммиаке Математическое моделирование влияния состава смеси H2-H-N2 на кинетику диссоциации молекул водорода в тлеющем разряде Влияние условий разряда и температуры стенки на электрические характеристики и излучение положительного столба тлеющего разряда в хлоре Об актинометрическом измерении концентрации атомов хлора в тлеющем разряде О механизме влияния аргона на скорость травления металлов и полупроводни-ков в плазме хлора Кол-во Примечание страСоавторы ниц 3 (1) Ефремов А.М. Любимов В.К. 3 (1) 5 Ефремов А.М. Куприяновска я А.П. Ефремов А.М. Куприяновска я А.П. Галиаскаров Э.Г. Абрамов В.Л. Журнал прикладной печатная спектроскопии,т.59, N34, с.221-225,1993 5 Химия и хим. печатная Технология, т.36, в.3, с.115-117, 1993 3 Химия и хим. печатная Технология, т.36, в.5, с.65-68, 1993 4 Галиаскаров Э.Г. Абрамов В.Л. 12 Куприяновска я А.П. Ситанов Д.В. Шишкина М.Ю. 4 Куприяновска я А.П. Ситанов Д.В. 4 Ефремов А.М. Куприяновска я А.П. Деп. ОНИИТЭХИМ, печатная Черкассы, N59-ХП93 от 17.02.93 Химия высоких энергий, печатная т.29, №4, с.308-311, 1995 Химия высоких энергий, печатная т.27, N1, с.88-91, 1993 19 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Спектральные исследования влияния углеродных и оксидных Изв.РАН,сер.Физипленок на распыляемость 193 печатная ческая, т.58, N3, металлов в тлеющем с.77-81, 1994 разряде в аргоне углекислом газе и кислороде Математическое Изв.ВУЗов, Химия и моделирование плазмы тле194 печатная хим. технология т.37, ющего разряда в смеси вып.4 с.63-67, 1994 хлора с кислородом Влияние продуктов плазмохимического травления меди в хлоре на энергетиХимия высоких энергий, 195 печатная ческие распределения т.29, №2, с.149-150, 1995 электронов и кинетические коэффициенты процессов Деп ОНИИТЭХИМ, Измерение вероятностей Черкассы, N21-ХП94 196 гибели атомов на стекле в печатная Библ.указ ВИНИТИ плазме хлора N5,1994 Элементная база микро Закономерности травления и наноэлектроники. 197 меди в плазме хлора и его печатная Межвузовский сб., смесей с аргоном Москва,МГИЭТ, 1994г.,с.110-112 Суммарные вероятности Изв.ВУЗов,Химия и взаимодействия хлора с 198 печатная хим.технология,т.38, медью в неравновесной в.1-2, с.38-41,1995г. плазме Особенности излучения Химия высоких энергий. 199 плазмы в смесях хлора с печатная т.29, N5, с.387-389, аргоном 1995г. Плазменное обезвреживание 200 тетрахлорметана и продуктов его распада на пористых диэлектриках Вакуумная техника и печатная технология, 1995 г., т.5, N1-2, с.53-55 Об измерении концентраций атомов и молекул хлора и брома в 201 разряде методом абсорбционной спектроскопии Деп.ВИНИТИ, М., N372-В94, 10.02.94. печатная Библ.указ. 1994, N4, б/о50 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 5 Маланов К.А. 5 Ефремов А.М. Михалкин В.П. 2 Ефремов А.М. Михалкин В.П. 8 Ситанов Д.В. Исляйкин А.М. 3 Ефремов А.М. 4 Ефремов А.М. Овчинников Н.Л. 3 Ефремов А.М. 3 Куприяновска я А.П. Дмитриев М.В. Герасименко А.А. 9 Ситанов Д.В. Чернявский С.Р. Исляйкин А.М. 20 N П-п 202 203 204 205 206 207 208 209 210 211 Наименование труда Особенности распыления меди в аргоне и кислороде в присутствии метана Спектры излучения плазмы брома и их использование для измерения концентраций активных частиц Спектральный контроль скорости плазмохимического травления меди в хлоре и его смесях с аргоном Спектральное исследование распыления меди в кислороде, метане и тетрахлорметане Плазменное обезвреживание продуктов плазмохимичес-кого травления в тетрахлорметане Измерение концентраций атомов хлора в разряде методом оптической актинометрии Уточнение сечений возбуждения электронных состояний молекул при математическом моделировании плазмы хлора Спектральное исследование распыления графита в тлеющем разряде в кислороде Влияние добавок аргона и кислорода на концентрацию атомов хлора в неравновес-ной газовой плазме пониженного давления Особенности травления кремния в смеси хлор-аргон в катодной области тлеющего разряда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Тез.докл. конференции печатная ВИП-93, т.1, с.118-120, Москва,1993 г. Материалы конф. "Физика и техника печатная плазмы", т.1 с.315-318, Минск,1994 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 3 Маланов К.А. 4 Чернявский С.Р. Материалы конф. "Физика и техника печатная плазмы", т.1, с.354-357, Минск,1994 4 Ефремов А.М. Овчинников Н.Л. Материалы конф. "Физика и техника печатная плазмы", т.1, с.362-364, Минск, 1994 3 Маланов К.А. Дмитриев М.В. Куприяновска я А.П. Куприяновска я А.П. Ситанов Д.В. Материалы конф. "Физика и техника печатная плазмы", т.2, с.429-432, Минск,1994 4 Деп.ВИНИТИ, М., N373-В94, 10.02.94. печатная Библ.указ. 1994, N4, б/о78 12 Химия высоких энергий, печатная 1995г., т.29, N6, с. 467468 2 Ефремов А.М. Михалкин В.П. Материалы 2-го Межд. симпоз.по теор.и печатная приклад. плазмохим. 1995, Иваново,с315-316 2 Маланов К.А. Пашанова Н.А. Материалы 2-го Межд. симпоз. по теор. и печатная приклад. плазмохим., 1995, Иваново, с. 365-367 3 Ситанов Д.В. Исляйкин А.М. 3 Ефремов А.И Овчинников Н.Л. Материалы 2-гоМежд. симпоз. по теор. и печатная приклад. плазмохим. 1995 ,Иваново,с425-427 21 N П-п Наименование труда Актинометрическое 212 определение ионизации атомов брома в разряде Рукопись или печатная печатная Исследование спектров 213 тлеющего разряда в смеси CCl4-O2 печатная Неравновесная плазма 214 хлора - химия и применение печатная Травление кремния в хлоре 215 и смеси хлор-аргон на печатная катоде тлеющего разряда Название издательства или журнала (N,год) Материалы 2-го Межд. симпоз.по теор.и приклад. плазмохим. 1995, Иваново,с362-364 Материалы 2-го Межд. симпоз.по теор.и приклад. плазмохим. 1995, Иваново, с124-126 Материалы 2-го Межд. симпоз.по теор.и приклад. плазмохим. 1995, Иваново, с31-34 Материалы 12 Межд. конф. Взаимодействие ионов с поверхностью, 1995,т.1, с.43-46, Москва Влияние кислорода на Материалы 2-го Межд. параметры плазмы хлора на симпоз.по теор.и при216 кинетические печатная клад. плазмохим. 1995, закономерности процессов Иваново, с161-163 при электронном ударе Материалы 12 Межд. Распыление графита в конф. Взаимодействие 217 тлеющем разряде в печатная ионов с поверхностью, молекулярных газах 1995,т.1, с.47-50, Москва Тезисы докл.2-й Межд. Очистка поверхности конференции 218 титана в плазме тлеющего печатная "Вакуумная наука и разряда технология", Москва, 1995г., с.73 Тезисы докл.2-й Межд. Использование плазмы конференции хлора для вакуумно219 печатная "Вакуумная наука и плазменной обработки технология", Москва, материалов 1995г., с.73 Закономерности травления Химия высоких 220 меди в плазме смеси хлора печатная энергий., т.29, N4, с.317с аргоном 318, 1995г. Измерение вероятности Плазмотехнология сб. 221 гибели атомов на стекле в печатная научн.трудов, плазме хлора Киев,1993, с.41-45 Спектральный контроль Тез.докл.3 Межд. конф. технологий обезвреживания «Наукоемкие 2 хими222 продуктов печатная ческие технологии», плазмохимического Тверь, 1995, с.187-188 травления Кол-во Примечание страСоавторы ниц 3 Чернявский С.Р. 3 Дмитриев М.В. Куприяновска я А.П. 4 Ефремов А.М. 4 Ефремов А.М. Овчинников Н.Л. 3 Ефремов А.М. Михалкин В.П. 4 Маланов К.А. 1 Абрамов В.Л. 1 Ефремов А.М. 2 Ефремов А.М. 5 2 Ситанов Д.В. Исляйкин А.М. Куприяновска я А.П. Дмитриев М.В. 22 N П-п 223 224 225 226 227 228 229 230 231 Наименование труда Исследование травления кремния в хлоре и смеси хлор-аргон на катоде тлеющего разряда Влияние добавок аргона на концентрации атомов хлора в неравновесной плазме пониженного давления Спектральный контроль состава газа при плазмохимическом травлении в смеси тетрахлорметан-кислород Измерение концентрации атомов и молекул брома в тлеющем разряде методом абсорбционной спектроскопии Исследование распыления графита в молекулярных газах Об актинометрическом определении концентрации атомов хлора в разряде Неравновесная плазма хлора - химия и применение Спектральный контроль состава газа при плазмохимическом травлении в смеси тетрахлорметан-кислород Плазмохимическое травление арсенида галлия в хлоре Математическое 232 моделирование плазмы брома Особенности математического 233 моделирования плазмы хлора Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Кол-во Примечание страСоавторы ниц Тез.докладов конф. печатная ИГХТА, Иваново,1995, с.46-47 2 Ефремов А.М. Овчинников Н.Л. Тез.докладов конф. печатная ИГХТА, Иваново,1995, с.41-42 2 Ситанов Д.В. Тез.докладов конф. печатная ИГХТА, Иваново,1995 с.60 1 Дмитриев М.В. Тез.докладов конф. печатная ИГХТА, Иваново,1995, с.62 1 Чернявский С.Р. 2 Маланов К.А. 4 Куприяновска я А.П. Ситанов Д.В. 1 А.М.Ефремов Тез.докладов конф. печатная ИГХТА, Иваново,1995 с.49-50 Химия высоких энергий, печатная т.29, N4, с.308-311 1995г. печатная Прикладная физика, 1996 год, N3-4, с.8 Вакуумная техника и печатная технология, 1996 год, т.6, N1, с.26-28 Физика и химия печатная обработки материалов, 1997 г, N1, с.47-51 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы химии, печатная химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г.,с.44 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы химии, печатная химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г.,с.44 3 5 Куприяновска я А.П. Дмитриев М.В. А.М.Ефремов Н.Л.Овчинник ов 1 С.Р.Чернявски й 1 А.М.Ефремов 23 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Применение метода фазового сдвига для 234 определения вероятности гибели атомов водорода в плазме печатная Эмиссионные спектры 235 некоторых фторсодержащих газов печатная Спектральный контроль процессов плазмохи236 мического травления в печатная смесях тетрахлорметана с кислородом Принципы обезвреживания отходящих газов при 237 плазмохимическом печатная травлении металлов и полупроводников Название издательства или журнала (N,год) Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы химии, химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г., с.47 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы химии, химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г., с.78 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы химии, химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г., с.81 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы химии, химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г., с.87 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы химии, химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г., с.87 Исследование распыления 238 графитового катода при разряде в водороде печатная Кинетика взаимодействия 239 кислородной плазмы с графитом Т Тез. 1 Рег. межвуз. конф. «Акт. проблемы печатная химии, химтехнологии и обр.» Иваново, 1996 г., с.88 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. Исследование травления «Акт. проблемы химии, 240 арсенида галлия в плазме печатная химтехнологии и обр.» хлора Иваново, 1996 г., с.90 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. Диссоциация молекул «Акт. проблемы химии, хлора в плазме тлеющего 241 печатная химтехнологии и обр.» разряда в смесях с аргоном, Иваново, кислородом и азотом. 1996 г., с.94 Тез. 1 Рег. межвуз. конф. Эмиссионные спектры «Акт. проблемы химии, 242 дифтордихлорметана и его печатная химтехнологии и обр.» смесей с кислородом Иваново, 1996 г., с.95 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 1 А.М.Исляйкин В.В.Рыбкин 1 И.И.Амиров 1 А.П. Куприяновска я М.В.Дмитриев 1 А.П. Куприяновска я 1 К.А.Маланов А.С.Гусарова 1 С.Д. Менагаришви ли В.М. Менегаришви ли 1 А.М.Ефремов Н.Л.Овчинник ов 1 А.М.Ефремов Д.В.Ситанов 1 И.И.Амиров 24 N П-п 243 244 245 246 247 Наименование труда Сравнение эмиссионных спектров катодной области и положительного столба тлеющего разряда в углекислом газе Измерение концентраций атомов и молекул брома в тлеющем разряде методом абсорбционной спектроскопии Об эффективности травления графита в катодных областях, положительном столбе и послесвечении тлеющего разряда в кислороде О механизмах взаимодействия плазмы смесей хлор-аргон с металлами и полупроводниками Вероятности гетерогенной гибели атомов водорода в низкотемпературной водородной плазме Кинетика взаимодействия 248 кислородной плазмы с графитом Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Кол-во Примечание страСоавторы ниц Изв.ВУЗов, Химия и печатная хим. технология, т.40, вып.1, с.135-136,1997 2 Маланов К.А. Изв.ВУЗов, Химияи печатная хим.технология т.40, вып.1, с.29 - 31,1997 3 Чернявский С.Р. Материалы 13 Междунар. конф. печатная "Взаимодействие ионов с поверхностью", М, 1997, т.2,с.133-135 3 Маланов К.А. Менагаришви ли С.Д. Материалы 13 Междунар. конф. печатная "Взаимодействие ионов с поверхностью", М, 1997, т.2,с.142-144 3 Ефремов А.М. Овчинников Н.Л. Физика и химия печатная обработки материалов, 1997 г. N5, с.60-63 4 А.М.Исляйкин В.В.Рыбкин 4 С.Д. Менагаришви ли В.М. Менагаришви ли 4 К.А.Маланов А.С.Гусарова 1 А.П. Куприяновска я 1 С.Р.Чернявски й А.М.Ефремов Физика и химия печатная обработки материалов, 1997 г., N5, с.56-59 Исследование газификации графитового катода в Физика и химия 249 тлеющем разряде в кисло- печатная обработки материалов, роде методом 1997 г., N4, с.58-61 актинометрии Использование Материалы 1 Междунар. гетерогенных процессов конф. "Экология 250 для обезвреживания печатная человека и природы", токсичных Иваново, 1997, с.10 хлорсодержащих газов Сухое травление меди Материалы 1 Междунар. механизмы и конф. "Экология 251 печатная технологическое человека и природы", использование Иваново, 1997, с.195 25 N П-п 252 253 254 255 Наименование труда Диссоциация молекул хлора в плазме тлеющего разряда в смесях с аргоном, кислородом, азотом Закономерности образования и гибели активных частиц в плазме смеси хлора с кислородом Особенности травления кремния в смеси Cl2-Ar на катоде тлеющего разряда постоянного тока О механизмах взаимодействия плазмы Cl2-Ar с металлами и полупроводниками Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Химия высоких энергий. печатная т.32, N2, с.148-151, 1998 год 4 Ефремов А.М. Ситанов Д.В. Химия высоких энергий. печатная т.32, N3, с.224-227, 1998 год 4 Ефремов А.М. Ситанов Д.В. Михалкин В.П. Неорганические печатная матералы, т.34, N5, с.519-520, 1998 год 2 Ефремов А.М. Овчинников Н.Л. Изв.РАН, серия печатная физическая, 1998, т.62, номер 4, с. 861 - 864 4 Ефремов А.М. Овчинников Н.Л. 2 Ефремов А.М. Кириллов Ю.В. 8 Ефремов А.М. 5 Ефремов А.М. Ситанов Д.В. Тез.докл.9 Всеросс. Потоки активных частиц на конф. по Физике 256 поверхность в плазме смеси печатная газ.разряда. Рязань, хлор - аргон 1998, с.34-35 Тез.докл.9 Межд. симп. Спектральные Тонкие пленки в элек257 исследования травления печатная тронике, Иваново меди в хлорной плазме 1998, с.143-151 Механизм образования Химия высоких энергий, 258 атомов в плазме смесей печатная т.33, N2, хлора с азотом с.137 –141, 1999 год Кинетические характеристи-ки Теплофизика высоких образования и гибели 259 печатная температур, т. 37, №4, с. атомов водорода в положи533-539, 1999 г. тельном столбе тлеющего разряда в смеси Ar-H2 Плазмохимическое травле260 ние арсенида галлия в смесях хлор-водород Compilation of cross section of elementary processes of 261 HCl applicable for plasma modeling Mechanism of formation of 262 atoms in clorin-oxigen plasma Кол-во Примечание страСоавторы ниц 7 Бровикова И.Н. Галиаскаров Э.Г. Исляйкин А.М. Овчинников Н.Л. Ефремов А.М. Антонов А.В. Физика и химия обрапечатная ботки материалов, №4, с. 31-34, 1999 г. 4 Contribution Plasma печатная Physics, V.39, №3, p. 247-250, 1999 4 Ефремов А.М. Балашов Д.И. 5 Ефремов А.М. Ситанов Д.В. печатная High energy chemistry, v33, N2, p.137-141, 1999 26 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Особенности плазменного травления арсенида галлия 263 печатная в чистом водороде и смесях водорода с хлором Травление металлов и полупроводников в смесях 264 печатная хлора с инертными и молекуляр-ными газами Закономерности плазменно-го травления 265 печатная арсенида галлия в смеси H2 + Cl2 266 267 268 269 270 271 Математическое моделиропечатная вание разряда в парах HCl Параметры плазмы и закономерности образования атомов при разряде в парах HCl Процессы образования и гибели атомов хлора в плазме смеси хлора с водородом Параметры плазмы и травление материалов в смесях хлора с инертными и молекулярными газами Плазмохимическое травление арсенида галлия в плазме смесей с азотом, кислородом и водородом Роль ионов и УФ излучения в процессе плазмохимического травления арсенида галлия печатная печатная Название издательства или журнала (N,год) Тезисы докладов II Межд. научно-практ. конф. «Актуальные проблемы химии и хим. технологии Химия-99», 11-13 мая 1999, с. 84-85 Материалы I Всероссийской научной конф. «Молекулярная физика неравновесных систем» 17-20 мая 1999 г., Иваново, ИвГУ, с. 7-9 Материалы I Всероссийской научной конф. «Молекулярная физика неравновесных систем» 17-20 мая 1999 г., Иваново, ИвГУ, с. 9-11 Материалы I Всероссийской научной конф. «Молекулярная физика неравновесных систем» 17-20 мая 1999 г., Иваново, ИвГУ, с. 11-14 Матер. 9 Школы Молод. ученых по плазмохимии, 1999, Иваново, с. 106108 Матер. 9 Школы Молод. ученых по плазмохимии, 1999, Иваново, с. 117121 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 2 Овчинников Н.Л. Ефремов А.М. Антонов А.В. 3 Ефремов А.М. 3 Антонов А.В. Ефремов А.М. 4 Балашов Д.И. Ефремов А.М. 3 Балашов Д.И. Ефремов А.М. 5 Кириллов Ю.В. Ситанов Д.В. Матер. 9 Школы Молод. печатная ученых по плазмохимии, 12 1999, Иваново, с. 89-101 Матер. 9 Школы Молод. ученых по плазмохимии, печатная 1999, Иваново, с. 180181 Матер. 9 Школы Молод. ученых по плазмохимии, печатная 1999, Иваново, с. 182186 Ефремов А.М. 2 Овчинников Н.Л. Ефремов А.М. 5 Кириллов Ю.В. Ситанов Д.В. 27 N П-п 272 273 274 275 276 277 278 279 Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Тезисы докл. II Межд. Исследование процессов научно-техн. конф. обезвреживания фтор«Актуальные проблемы хлор-содержащих газов при печатная химии и хим. технолоплаз-мохимическом гии», Химия-99, 18-20 травлении октября 1999г., Иваново, ИГХТУ, с. 117 Применение метода оптической эмиссионной спекХимия высоких энергий, троскопии для определения печатная т.34, № 5, концентрации атомов хлора с. 382-384, 2000 г. в плазме смеси хлора с кислородом Исследование механизма Химия высоких энергий, образования атомов хлора в печатная т.34, № 3, с.214-218, плазме смеси хлора с 2000 г. водородом Роль ионов и УФ излучения Химия высоких энергий, в процессе травления печатная т.34, № 5, с.377-381, арсенида галлия 2000 г. Материалы II Всерос. научной конференции “Молекулярная физика Особенности излучения печатная неравновесных систем” плазмы хлороводорода 29 мая - 1 июня 2000 г., Иваново, ИвГУ, с.121-123. Труды 10 Междунар. Особенности распыления совещания "Радиационмеди при бомбардировке ная физика твердого печатная молекулярными ионами в тела", 10 апреля 2000 г., тлеющем разряде Москва, НИИПМТ, с.325-327. Особенности Известия вузов, Химия и плазмохимической химическая техноло-гия, печатная газификации т.44, вып.1, углеводородного волокна с.23 -26., 2001 г. Исследование процессов Известия вузов. Химия и обезвреживания фтор-хлорхимическая технология, содержащих газов при печатная т.44, вып.4, с.50-55, 2001 плаз-мохимическом г. травлении Кол-во Примечание страСоавторы ниц 1 Куприяновска я А.П. Соколова Е.В. 3 Скородумов А.Е. Ситанов Д.В. 5 Кириллов Ю.В. Ситанов В.И. 5 Кириллов Ю.В. Ситанов Д.В. 3 Ефремов А.М. Леднева Н.В. 3 4 Менагаришви ли С.Д. Федотова О.В. 6 Куприяновска я А.П. Иванова О.В. 28 N П-п Наименование труда Механизм травления GaAs в плазме смеси хлора с 280 аргоном, азотом и водородом Рукопись или печатная печатная Сравнительный анализ спектров излучения чистого 281 печатная хлора, тетрахлорметана и дифтордихлорметана 282 Новые программы в методе печатная молекулярной динамики Функция распределения электронов по энергии и кинетические 283 характеристики в плазме смеси газов, содержащей отрицательные ионы печатная Disssociation of Cl2 molecules in a DC Discharge 284 печатная Plasma in Mixtures with Ar, O2 , N2 Закономерности образования и гибели 285 активных частиц в плазме печатная смесей хлора с инертнвми и молекулярными газами Параметры плазмы, механизмы образования и концентрации активных 286 частиц в условиях электрического разряда в HCl Травление меди в хлоре 287 (обзор) печатная печатная Название издательства или журнала (N,год) Кол-во Примечание страСоавторы ниц Всерос. научно-техн. конференция "Микро- и наноэлектроника - 2001 11 Ефремов А.М. (МНЭ-2001), Звенигород, Тезисы докладов, т.1, с. 01-11. Матер. III Всерос. научной конф. “МолекулярКуприяновска ная физика неравновеся 2 ных систем”, 28 мая - 1 А.П. июня, 2001 г., Иваново, Иванова О.В. ИвГУ, с.73 - 74. Матер. III Всерос. научЗайцев В.В. ной конф. “МолекулярШадрунов ная физика неравновесА.А. Юров 3 ных систем”, 28 мая - 1 М.Ю. июня, 2001 г., Иваново, Петрова О.А. ИвГУ, с.171-173. Зайцева Н.Б. Матер. III Всерос. научной конф. “МолекулярЗайцев В.В. ная физика неравновесГорянский 5 ных систем”, 28 мая - 1 Е.С. июня, 2001 г., Иваново, Петраш Г.Г. ИвГУ, с.92-96. Proc. of XXV Internat. Conference on Phenomena Ionized Gases, July 17 - 22, 2001, Nagoya, 2 Ефремов А.М. Japan, Ed. By Toskio Goto, Nagoya University 2001, V.3, p.263 - 264. Тезисы докл. I Всерос. конференции "ПриЕфремов А.М. кладные аспекты химии Кириллов 2 высоких энергий", 30 Ю.В Балашов окт.-2 ноября 2001 г., Д.И. М., РХТУ, с.119 - 120. Тезисы докл. I Всерос. конференции "Прикладные аспекты химии Ефремов А.М. 2 высоких энергий", 30 Балашов Д.И. окт.-2 ноября 2001 г., М., РХТУ, с.120 - 121. Микроэлектроника, т. 31, 16 Ефремов А.М. №3, с. 211-226, 2002 29 N П-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Сборник матер. 3-го Особенности плазмохимиМеждународного симческого травления материапозиума по теоретичес288 лов в смесях хлора с инерт- печатная кой и прикладной плазными и молекулярными мохимии. – Иваново, газами 2002 г., т.1, с.79-82 Закономерности распыФизика и химия обра289 ления меди при разряде в печатная ботки материалов, №6, хлоре и тетрахлорметане с. 32-36, 2002 г. Известия ВУЗов. ХиМатематическое мия и химическая тех290 моделирование разряда в печатная нология, т. 43, вып.3, хлороводороде 2003 г., стр. 118-122 Матер. Международной научно-практ. конф. Особенности травления "Фундаментальные медных пленок в условиях проблемы 291 низкотемпературной печатная радиоэлектронного газовой плазмы хлора и приборостроения» хлороводорода (INTERMATIC–2003), Москва, 9-12 июня 2003 г., стр. 148-150 IX Межд. научно-техн. Особенности плазмохимиконф. «Высокие техноческого травления материалогии в промышлен292 лов в смесях хлора с инерт- печатная ности России», Москва, ными и молекулярными 11-13 сентября 2003 г., газами с. 56-58 Материалы IV РоссийПрименение релаксационского семинара «Совреной методики для менные средства диагизмерения коэффициента ностики плазмы и их 293 гетерогенной гибели печатная применение для контатомов в плазме хло-ра и роля веществ и окружаего смесей с инертными и ющей среды, Москва, молекулярными газами МИФИ, 12-14 ноября 2003 г., с. 97-99 Вероятности гибели атомов Изв.вузов, Химия и хим 294 и концентрации активных печатная Технология, 2004, т.47, частиц в плазме хлора. в.2, с.104-107 Etching mechanisms of Au Internat. Conf. Micro and 295 thin films in Cl2-Ar печатная nanoelectronics, 2003, inductively coupled plasma Moskow, p.P1-50 Volume and geterogeneous Internat. Conf. Micro and 296 chemistry in Cl2-Ar печатная nanoelectronics, 2003, inductively coupled plasma Moskow, p.O2-49 Кол-во Примечание страСоавторы ниц 4 А.М. Ефремов Д.В. Ситанов 5 Ефремов А.М. Маланов К.А. 5 Балашов Д.И. Ефремов А.М. 3 Балашов Д.И. Ефремов А.М. 3 Ефремов А.М. Ситанов Д.В. 3 Ситанов Д.В. Дунаев А.В. 4 А.М. Ефремов 1 A.M. Efremov 1 A.M. Efremov 30 N П-п Наименование труда Volume and heterogeneous 297 chemistry in Cl2/Ar inductively coupled plasma Etching mechanism of Au 298 thin films in Cl2/Ar inductively cou-pled plasma Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Кол-во Примечание страСоавторы ниц Proceedings SPIE “Microand nanoelec-tronics печатная 2003”, May 2004, vol. 5401, p. 64-71 Proceedings SPIE “Microand nanoelec-tronics печатная 2003”, May 2004, vol. 5401, p. 72-78 The parameters of plasma and the kinetics of generation and High Temperature, v44, 299 loss of active particles unde печатная №2, 2006, p. 189-198. conditions of discharge in HCl Параметры плазмы и Теплофизика высоких кинетика образования и 300 печатная температур, т.44, №2, гибели активных частиц 2006, с. 195-204 при разряде в HCl. Тезисы докладов 18 Самосогласованная модель Менделеевского съезда по 301 плазмы тлеющего разряда в печатная общей и прикладной смеси хлора с кислородом химии, М.,2007 г., т.4, с.355 Тезисы докладов 18 Исследование кинетики Менделеевского съезда по гибели атомов в плазме 302 печатная общей и прикладной смеси хлора с водородом химии, М.,2007 г., т.4, релаксационным методом с.411 Plasma parameters amd Internat. Conf. «Micro- and 303 active particles kinetics in печатная nanoelectronics-2007» book Cl2 and HCl glow discharges of Abstr., 2007, O2-14 Internat. Conf. «Micro- and Recombination kinetics of Cl 304 печатная nanoelectronics-2007» book atom in Cl2/X plasmas of Abstr., 2007, P2-32 Использование плазмы для Энциклопедия низкообезвреживания отходов температурной плазмы 305 печатная плазмохимического Сер.Б, т.XI-5, 2006 г., с.75травления 82 Кинетика и механизмы Микроэлектроника, плазмохимического печатная 2007, т. 36, №6, с. 409306 травления меди в хлоре 417 и хлороводороде Спектральное Известия вузов. Химия исследование травления печатная и хим. техно-логия, меди в плазме смеси 2007, т. 50, вып. 10, с. 307 хлора с водородом 69-73 8 A.M. Efremov C.I. Kim 7 A.M. Efremov C.I. Kim 10 Efremov A.M. 10 Ефремов А.М. 1 Ефремов А.М. 1 Ивентичев М.Ю., Ситанов Д.В. 1 A.M. Efremov 1 D.V. Sitanov, A.M. Efremov 8 - 9 Ефремов А.М. Пивоваренок С.А. 5 Изгородин А.И. Оченков В. А. Ефремов А.М. 31 N П-п 308 309 310 311 312 313 314 315 Наименование труда Влияние состава смеси хлор-водород на интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме Параметры плазмы и кинетика образования и гибели активных частиц в разряде в хлоре Спектральные измерения вероятности рекомби-нации активных частиц плазмы на твердых поверхностях в хлоре и его смесях с инертными и молекулярными газами Параметры плазмы и кинетика образования и гибели активных частиц в смесях хлора с азотом Плазма в галогенводородах: свойства и перспективы применения в технологии микро и наноэлектроники Изучение кинетики гибели атомов в плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами на твердых поверхностях Исследование гибели атомов в плазме хлора на алюминиевых образцах A comparative study of plasma parameters and gas phase composition in Cl2 and HCl direct current glow discharges Рукопись или печатная печатная печатная Название издательства или журнала (N,год) Известия вузов. Химия и хим. технология, 2007, т. 50, вып. 11, с. 60-65. Кол-во Примечание страСоавторы ниц 6 Изгородин А.И. Оченков В.А. Ефремов А.М. А.М. Ефремов, Д.В. Ситанов Теплофизика высоких температур, т.46, №1, 2008 г., с 1522 Теплофизика высоких температур, т.46, №3, 2008 г., с 336-341 8 6 А.М. Ефремов, Д.В. Ситанов Теплофизика высоких температур, т.46, №4, 2008 г., с 514-521 Печатная Сборник трудов V международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, Иваново, 2008, т.1, с. 71-73 Печатная Сборник трудов V международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, Иваново, 2008, т.1, с. 130-133 8 А.М. Ефремов, Д.В. Ситанов 3 А.М. Ефремов 4 Д.В. Ситанов, М.Ю. Ивентичев Печатная 3 Д.В. Ситанов, М.Ю. Ивентичев И.С. Бойкова 6 Efremov A.M., Sitanov D.V., Balashov D.I. печатная печатная Сборник трудов V международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, Иваново, 2008, т.1, с. 172-174 Печатная Thin Solid Films, 2008, V.516, p. 3020 32 N П-п Наименование труда Сухое травление алюминия в хлоре Рукопись или печатная Печатная 316 317 Кинетика и механизм плазмохимического травления алюминия в хлоре Печатная Plasma parameters and active 318 particles rinetics in HBr dc Печатная glow discharges Kinenics of the GaAs etch 319 process in the Cl2 dc glow discharge plasma Plasma parameters and composition in HCl/X 320 (X=Cl2,H2, Ar) dc glow discharge Кинетические и транспортные характеристики 321 процессов под действием электронного удара в HBr Параметры плазмы и механизмы травления 322 металлов и полупроводников в хлорводороде 323 324 Сравнительный анализ параметров и состава плазмы в HCl и HBr (тезисы доклада) Кинетика и механизмы плазмохимических процессов в смесях HBr с инертными газами (тезисы доклада) Печатная Печатная Кол-во Примечание страСоавторы ниц Известия вузов. Химия 5 Ефремов и хим. техно-логия, 2008, А.М. т. 51, вып. 11, с. 17-21. Пивоваренок С.А. Дунаев А.В. Известия вузов. Химия 5 Ефремов и хим. техно-логия, 2008, А.М. т. 51, вып. 11, с. 70-73. Пивоваренок С.А. Дунаев А.В. Book of abstracs InternaSmirnov A. tional Conference «Micro 1 A. Efremov and nanoelectronics», A. Islyaykin Moscow, 2009, p. O3-23 Book of abstracs InternaA. Efremov tional Conference «Micro 1 A. Dunaev and nanoelectronics», S. Pivovarenok Moscow, 2009, p. P2-35 Book of abstracs International Conference «Micro A. Efremov 1 and nanoelectronics», Moscow, 2009, p. P2-36 Название издательства или журнала (N,год) Известия вузов. Химия и Печатная хим. технология, 2009, Т. 52, №. 11 Стр. 48-51 Печатная 4 Ефремов А.М. Пивоваренок С.А. Микроэлектроника, 2009, т.38, №3, с.147-159. Материалы IV печатная Всероссийской конф. «Актуальные проблемы химии высоких энергий», Москва, РХТУ им. Д.И. Менделеева, 2-3.11.2009. с. 32 Материалы IV печатная Всероссийской конф. «Актуальные проблемы химии высоких энергий», Москва, РХТУ им. Д.И.Менделеева, 23.11.2009. с. 33 Ефремов А.М., Смирнов А.А. 1 Ефремов А.М., А.А.Смирнов 1 Ефремов А.М., А.А.Смирнов 33 N П-п Наименование труда Изучение процессов гибели атомов хлора на поверхности алюминия 325 326 327 Кинетика и механизмы плазмохимического травления GaAs в хлоре и хлорводороде. Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлорводороде. Технология плазменного наноразмерного травления 328 металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих смесях О проблемах подготовки 329 специалистов в области нанотехнологий 330 331 Взаимодействие плазмы хлора и смесей хлора с инертными и молекулярными газами с металлами и полупроводниками. Рукопись Кол-во Название издательства или страили журнала (N,год) печатная ниц печатная Материалы IV 1 (тезисы Всероссийской конф. доклада) «Актуальные проблемы химии высоких энергий», Москва, РХТУ им. Д.И.Менделеева, 23.11.2009. с. 104 печатная Материалы IV 1 (тезисы Всероссийской конф. доклада) «Актуальные проблемы химии высоких энергий», Москва, РХТУ им. Д.И.Менделеева, 23.11.2009. с. 27 печатная Тез.докл. 4 международ. 2 (тезисы научно-практ. конферен. доклада) «Нанотехнологии-производству 2009», Фрязино, 2009, с. 152-153 печатная Тез.докл. 4 международ. 2 (тезисы научно-практ. конферен. доклада) «Нанотехнологии-производству 2009», Фрязино, 2009, с. 154-155 Монография «Исследования и разработки в печатная области нанотехнологий» (Глава в 5 /Под ред. В.И. Светцова; моногр.) Иван.гос. хим. – технол. ун-т,-Иваново, 2009.-168с. Примечание Соавторы Ситанов Д.В., Ивентичев М.Ю. Ефремов А.М. Пивоваренок С.А. Дунаев А.В. Ефремов А.М. Пивоваренок С.А. Дунаев А.В. Ефремов А.М. Пивоваренок С.А. Дунаев А.В. О.И. Койфман Монография «Исследования и разработки в печатная области нанотехнологий» (Глава в /Под ред. В.И. Светцова; моногр.) Иван.гос. хим. – технол. ун-т,-Иваново, 2009.-168с. 8 А.М. Ефремов Монография «ИсследоПлазма в HСl: свойства и вания и разработки в перспективы применения в печатная области нанотехнологий» (Глава в технологии микро- и /Под ред. В.И. Светцова; моногр.) наноэлектроники Иван.гос. хим. – технол. ун-т,-Иваново, 2009.-168с. 8 А.М. Ефремов 332 333 34 35 Научно-методические работы N п-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) 1 Использование INTRANET для организации рейтингового контроля в ИГХТУ Сб. статей VI Межд. научно-техн. конф. печатная «Информационная среда вуза», 1999 г., Иваново, изд. ИГАСА, с. 131-133 2 Об организации электронной Школы молодых ученых с помощью глобальной сети Регион. научно-метод. конф. «Проблемы диспечатная танционного обучения», Иваново, ИГХТУ, 1999 г. 3 Опыт организации электронной Школы молодых ученых по плазмохимии Дистанционное печатная образование, № 2, с.40-43, 2000 г. 4 Об организации электронной Школы молодых ученых с печатная помощью глобальной сети 5 Организация рейтингового контроля в ИГХТУ с печатная использованием INTRANET 6 Опыт организации электронной Школы молодых ученых с использованием INTERNET печатная 7 Реализация тестовых методик контроля качества подготовки специалистов печатная 8 Использование INTRANET в печатная ИГХТУ Тезисы докладов Регион. научно-метод. конф. “Проблемы дистанционного обучения”, Иваново, ИГХТУ, 1.02.2000, с.8. Тезисы докладов Регион. научно-метод. конф. “Проблемы дистанционного обучения”, Иваново, ИГХТУ, 1.02.2000, с.7. Всерос. школа-семинар «Информационные технологии в управлении качеством образования» Москва, Институт стали и сплавов, 2000 г. Всерос. школа-семинар «Информационные технологии в управлении качеством образования» Москва, Институт стали и сплавов, 2000 г. Всерос. школа-семинар «Информационные технологии в управлении качеством образования» Москва, Институт стали и сплавов, 2000 г. Кол-во страниц Примечание Соавторы 3 Бессараб А.Б. Чернявский С.Р. 4 Бессараб А.Б. Соколов В.Ф. Чернявский С.Р. Соколова Ю.А. Смирнов С.А. Бессараб А.Б. Лебедев Ю.А. Смирнов С.А. Соколов В.Ф. Соколова Ю.А. Чернявский С.Р. 1 Бессараб А.Б. Соколов В.Ф. Чернявский С.Р. Соколова Ю.А. Смирнов С.А. 1 Бессараб А.Б. Чернявский С.Р. Петроченко П.П. Филиппова Е.А 2 Бессараб А.Б. Соколов В.Ф. Чернявский С.Р. Соколова Ю.А. Смирнов С.А. 3 Чернявский С.Р. Бессараб А.Б. 3 Бессараб А.Б. Чернявский С.Р. N п-п Наименование труда Программа развития инженерного образования в Ивановском 9 государственном химикотехнологическом университете. Организация и контроль 10 самостоятельной работы студентов Некоторые проблемы подготовки специалистов в 11 области наукоемких технологий О сравнении возможности открытых и закрытых 12 заданий при тестовом контроле знаний студентов 13 14 15 16 17 Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) В книге «Инновации в высшей технической школе России», изд. печатная МАДИ (ГТУ), Москва, 2002 год, стр. 161 – 169. Материалы научнопечатная методич.конф.ИГХТУ Иваново,2003 г., 94-101 Тез.докл.Международ. конф.»Химическое печатная образование и развитие общества», М.2000, с.51 Тез.докл.2 Всерос.конф «Развитие системы печатная тестирования в России» М.,2000, с.38-40. Тез.докл.2 Всерос.конф Разработка банка тестовых «Развитие системы печатная заданий… тестирования в России» М.,2000, с.40-41. Тез.докл.2 межвуз.конф Программа сквозной Конкурентоспособность химической подготовки печатная Российского химикостудентов химико-технол. технол.образования». М. специальностей 2000, с. 108-109 Тез.докл.2 межвуз.конф Оптимизация учебного плана Конкурентоспособность подготовки химиков печатная Российского химикотехнологов технол.образования. М. 2000, с. 105-106 Тез.докл.2 межвуз.конф Контролирующие и Конкурентоспособность контролирующе-обучающие печатная Российского химикопрограммы в учебном технол.образования. М. процессе 2000, с. 79-80 Доклад, междунар. научно-практ. конф. «Градоформирующие Программа развития технологии XXI века», инженерного образования в секция «Организация и Ивановском печатная обеспечение кадровой государственном химикоподдержки технологическом градоформирующих университете технологий», Москва, 10-14 сент., 2001, с. 70-79 Кол-во страниц Примечание Соавторы 9 Койфман О.И. 8 - 1 О.И. Койфман 3 - 2 - 2 М.В. Улитин 2 Е.М. Александров 2 А.Б. Бессараб С.Р. Чернявский 10 О.И. Койфман 37 N п-п Наименование труда Рукопись или печатная Проблемы формирования 18 учебных планов на базе печатная стандартов нового поколения Принципы обеспечения 19 учебных дисциплин методической литературой Печатная О подготовке специалистов в 20 области наукоемких печатная технологий Об учебно-методическом обеспечении учебного 21 процесса Опыт реализации рейтинговой системы в Ивановском 22 государственном химикотехнологическом университете печатная печатная Название издательства или журнала (N,год) Тез. докл. всерос. научнометод. конф. «Реализация стандартов нового поколения и управление качеством образовательного процесса в условиях многоуровневой образовательной системы», Волгоград, 2001, с.6-8 Тез.докл.3 межвуз.конф «Соврем. тенденции развития хим-технол. образования». М., 2001, С. 18-19 Тез. докл. междунар. научно-метод. конф. «Пути совершенств. подготовки специалистов для текстильн. промышл»., Москва, 27-29 марта 2002 г., с. 159-161 Тез. докл. конф. «Многоуровневое химико-технологическое образование в России: проблемы и возможности развития», Москва, 2002, с. 35-36 Тез. докл. семинара вузов Поволжья и Урала «Проблемы реализации рейтинговой системы оценки успеваемости студентов высших учебных заведений», Волгоград, 13-15 мая, 2003, с. 66-71 Программа развития химикоТез. докл. XYII технологического Менделеевского съезда образования в Ивановском 23 печатная по общей и прикладной государственном химикохимии, Казань, 2003, 21технологическом 26 сент., т.1, с. 443 университете Тез.докл.5 межвуз.конф Второе высшее и «Второе высшее и доп. 24 дополнительное образование Печатная образование».М., 2003, в ИГХТУ С. 22-23 Кол-во страниц Примечание Соавторы 3 Е.М. Александров О.И. Койфман 2 О.И. Койфман 3 О.И. Койфман 2 О.И. Койфман 6 О.И. Койфман 1 О.И. Койфман 2 О.И. Койфман, Н.Р. Кокина 38 N п-п Наименование труда Опыт реализации рейтинговой системы в Ивановском 25 государственном химикотехнологическом университете 26 Качество высшего образования Обеспечение и контроль 27 качества образования в ИГХТУ Рукопись или печатная печатная Печатная Печатная Об организации самостоятельной работы 28 печатная студентов при реализации стандартов нового поколения Опыт реализации рейтинговой системы со 100балльной шкалой оценок в 29 Ивановском печатная государственном химикотехнологическом университете 30 Качество высшего образованияч печатная 31 Обеспечение и контроль качества учебного процесса печатная Название издательства или журнала (N,год) Тез. докл. междунар. научно-метод. конф. «Проблемы подготовки специалистов в техническом вузе в условиях модернизации высшего образования», Кострома, 9 окт. 2003, с. 160-161 Тез.докл.6 межвуз.конф «Многоуровневая система образования и качество подготовки специалистов», РХТУ им.Д.И. Менделеева, М., 2004, с. 15-16 Тез.докл.6 межвуз.конф «Многоуровневая система образования и качество подготовки специалистов», РХТУ им. Д.И. Менделеева, М., 2004, с. 17-18 Межвуз. сборник научнометод. трудов «Новые образовательные системы и технологии обучения в вузе». Волгоград, 2004 Докл. междунар. научнометод. конф. «Инновационные технологии организации обучения в техническом вузе», Пенза, 21-23 апр. 2004, ч. 2, с.72-77 Матер. региональной научно-метод. конф. «Проблемы качества образования» Иваново, 2004, с.3-5 Матер. региональной научно-метод. конф. «Проблемы качества образования» Иваново, 2004, с.6-9 Кол-во страниц Примечание Соавторы О.И. Койфман 2 О.И. Койфман 2 О.И. Койфман 6 О.И. Койфман 6 О.И. Койфман 3 О.И. Койфман 4 - 39 N п-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Опыт реализации рейтинговой системы со 100Известия ВУЗов, Химия и балльной шкалой оценок в химическая технология, 32 Ивановском печатная т. 47, вып. 2, 2004 г., с. государственном химико166 - 169 технологическом университете Известия ВУЗов, Химия и Об организации химическая технология, 33 самостоятельной работы печатная т. 48, вып. 9, 2005 г., с. студентов 150 - 154 Известия ВУЗов, Химия и Методическое обеспечение и химическая технология, 34 контроль самостоятельной печатная т. 48, вып. 11, 2005 г., с. работы 132 - 135 Материалы 7 Об организации межвузовской самостоятельной работы конференции «Химико35 печатная студентов на аудиторных техн. Вузы и Болонский занятиях процесс» М., РХТУ. 2005, с. 48-49 Тез. Докладов первой Опыт подготовки инженеров Россиской научноспециальности Микрометод.конференции 36 электроника и твердотельная Печатная «Инженерное электроника по образование – 2005», М., двухуровневой системе МИСИС, 2005, с.47-48 Материалы научноОбеспечение и контроль метод. Конференции 37 качества образования в печатная «Проблемы качества ИГХТУ образования», Иваново, ИГХТУ, 2006, с.47-49 Материалы 8 межвуз. Нанотехнологическая Конф. «Современные революция и подготовка 38 печатная тенденции подготовки инженеров в области химиков-технологов», М., нанотехнологий РХТУ, 2006, с.12-13 Материалы 12 междунар.конференции « Развитие образовательной и Современное 39 информационной среды в печатная образование: содержание, ИГХТУ технологии, качество» С-Петербург, ЛЭТИ, 2006, т.2, с.60-61 Кол-во страниц Примечание Соавторы 4 О.И. Койфман 5 О.И. Койфман 4 О.И. Койфман 2 О.И. Койфман 2 - 3 О.И. Койфман 2 О.И. Койфман 2 С.А. Смирнов 40 N п-п Наименование труда Рукопись или печатная Название издательства или журнала (N,год) Реализация двухступенчатой Материалы 12 междунар. подготовки бакалавров и конференции «Современмагистров по специальности ное образование: содер40 «Электроника и микропечатная жание, технологии, электроника и инженеров по качество» специальности «Микроэл. и С-Петербург, ЛЭТИ, тведотельная электроника» 2006, т.1, с.17-18 Тезисы докладов 18 Химико-технологическое Менделеевского съезда образование и подготовка 41 печатная по общей и прикладной специалистов в области химии, М.,2007 г., т.4, нанотехнологий с.268 Материалы научноКомплекс программ инноваметодической конф. 42 ционного развития универ- печатная «Инновационные ситета на 2006-2010 годы технологии в образовании» Иваново, 2007, с.3 Материалы научноО проблемах подготовки методической конф. 43 специалистов в области Печатная «Инновационные нанотехнологий технологии в образовании» Иваново, 2007, с.4-5 Материалы научнометодической конф. Лекция – презентация: 44 Печатная «Инновационные проблемы и возможности технологии в образовании» Иваново, 2007, с.6-7 Материалы научнометодической конф. Целевая программа 45 Печатная «Инновационные информатизации ИГХТУ технологии в образовании» Иваново, 2007, с.3 Материалы научнометодической конф. Практика применения «Инновационные 46 тестового контроля на Печатная технологии в образовакафедре ТП и МЭТ нии» Иваново, 2007,с.4849 Материалы научноЭлектронный учебник по методической конф. 47 дисциплине «Вакуумная и Печатная «Инновационные плазменная электроника» технологии в образовании» Иваново,2007,с.45 Кол-во страниц Примечание Соавторы 2 - 1 Койфман О.И. 1 О.И. Койфман, В.А. Шарнин 2 О.И. Койфман 2 С.А. Смирнов 1 С.А. Смирнов 2 В.В. Рыбкин, Д.А. Шутов 1 И.С. Бойкова, А.В. Юдина 41 N п-п 48 Наименование труда Рукопись или печатная Инновационные технологии Печатная в учебном процессе ИГХТУ Комплексная программа развития образовательной 49 деятельности ИГХТУ на 2006 – 2010 годы Печатная Достоинства и недостатки чтения лекций с 50 использованием презентационной техники Печатная Опыт использования тестовых технологий и 51 инновационных методов Печатная контроля в учебном процессе ИГХТУ Балльно-рейтинговая система оценки учебных 52 достижений студентов ИГХТУ 53 Печатная Инновационные технологии Печатная в учебном процессе ИГХТУ Организация самостоятельной работы 54 студентов с помощью виртуальной образовательной среды Moodle Печатная Название издательства или журнала (N,год) IХ Межвуз. конф. «Инновационные технологии в совершенствовании химикотехнолог. образования в России» Москва, РХТУ, 2007, с. 12-13 IХ Межвуз. конф. «Инновационные технологии в совершенствовании химикотехнолог. образования в России» Москва, РХТУ, 2007, с. 14-16 IХ Межвуз. конф. «Инновационные технологии в совершенствовании химикотехнолог. образования в России» Москва, РХТУ, 2007, с. 124-125 Труды 5 научно-методической конференции «Инновационные методы и средства оценки качества образования», М., 2007, с.142-144 Материалы XIV международной конф. «Современное образование : содержание, технологии, качество». С-Пб., ЛЭТИ, 2008г., с.9-11. Материалы XIV международной конф. «Современное образование : содержание, технологии, качество». С-Пб., ЛЭТИ, 2008г., с.11-13. Материалы XIV международной конф. «Современное образование : содержание, технологии, качество». С-Пб., ЛЭТИ, 2008г., с.34-35. Кол-во страниц Примечание Соавторы 2 О.И. Койфман 2 О.И. Койфман 2 С.А. Смирнов 3 А.А. Малыгин 3 О.И. Койфман 3 О.И. Койфман, С.А. Смирнов 2 С.А. Смирнов 42 N п-п 55 Наименование труда Инновационные технологии Печатная в учебном процессе ИГХТУ Применение системы дистанционного обучения 56 Moodle в учебном процессе ИГХТУ. 57 Рукопись или печатная Об опыте подготовки магистров в ИГХТУ Печатная Печатная Опыт преподавания 58 дисциплины «Компьютерные печатная технологии в образовании» Развитие инновационных 59 технологий в учебном Печатная процессе ИГХТУ в 2009 году Рейтинговая система оценки учебных достижений 60 студентов и инновационные Печатная технологии в учебном процессе ИГХТУ Новая версия веб-сайта учебного процесса ИГХТУ печатная Некоторые аспекты организации непрерывного 62 профессионального образования в ИГХТУ Печатная 61 Развитие инновационных 63 технологий в учебном Печатная процессе ИГХТУ в 2009 году Название издательства или журнала (N,год) Материалы научно-метод Конф. «Инновационные технологии в образовании», Иваново, ИГХТУ, 2008г., с.4-6 Материалы научно-метод Конф. «Инновационные технологии в образовании», Иваново, ИГХТУ, 2008г., с.9-10 Материалы Х межвузовской конф. «Актуальные проблемы химико-технологического образования М., РХТУ, 2008, с.7-8. Материалы Х межвузовской конф. «Актуальные проблемы химико-технологического образования М., РХТУ, 2008, с.85. Матер. конф. “Образовательные технологии в высшем военно-учебном заведении: опыт применения” Декабрь 2008 г., М.: ВА РВСН, 2008, с.76-80 Матер. конф. “Образовательные технологии в высшем военно-учебном заведении: опыт применения” Декабрь 2008 г., М.: ВА РВСН, 2008, с.85-89 Материалы научно-метод конф. «Инновационные технологии в образовании». Иваново, изд.ИГХТУ, 2009, с. 8-9 Материалы научно-метод конф. «Инновационные технологии в образовании». Иваново, изд. ИГХТУ, 2009, с. 10-11 Материалы научно-метод конф. «Инновационные технологии в образовании». Иваново, изд. ИГХТУ, 2009, с. 12-14 Кол-во страниц Примечание Соавторы 3 О.И. Койфман, С.А. Смирнов 2 С.А. Смирнов, А.А. Смирнов 2 О.И.Койфман 1 С.А. Смирнов 5 Койфман О.И., Смирнов С.А. 5 Койфман О.И., Смирнов С.А. 2 Ю.В. Лапочкин, С.А. Смирнов 2 Н.Л. Лебедева, Н.Р. Кокина 3 В.В. Рыбкин, О.И. Койфман, С.А. Смирнов 43 N п-п Наименование труда Рукопись или печатная 64 Электронные учебники кафедры ТП и МЭТ Печатная 65 Об эффективности лабораторных практикумов Печатная 66 О подготовке специалистов в Печатная области нанотехнологий 67 О подготовке специалистов в Печатная области нанотехнологий О проблемах подготовки 68 специалистов в области нанотехнологий Печатная Название издательства или журнала (N,год) Материалы научно-метод конф. «Инновационные технологии в образовании». Иваново, изд. ИГХТУ, 2009, с. 106-107 Известия ВУЗов, Химия и химическая технология, т. 52, вып. 2, 2009 г., с. 142 - 145 Материалы 15 международной н-т конференции «Высокие технологии в промышл. России» М., МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2009 г., с.32-35 Тез.докл. 4 Всероссийской конф. «Химия поверхности и нанотехнология» С-Птб.,2009, с.73-75. Известия ВУЗов, Химия и химическая технология, т. 52, вып. 8, 2009 г., с. 127 - 130 Кол-во страниц Примечание Соавторы 2 С.А. Смирнов 4 О.И. Койфман 4 О.И. Койфман В.В. Рыбкин 3 О.И. Койфман 4 О.И. Койфман 44 N п-п 1 2 Наименование труда Оптическая и квантовая электроника. Учебное пособие. Гриф УМО. Корпускулярно-фотонные процессы и технологии. Учебное пособие. Гриф УМО. Учебные пособия Рукопись Кол-во Название издательства или страили журнала (N,год) печатная ниц Примечание Соавторы печатная Минск, изд. БГТУ, 2000 г. 112 - печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2000 г. 192 С.А. Смирнов Рыбкин В.В., Титов В.А., Ефремов А.М., Ситанов Д.В., Чернявский С.Р., Исляйкин А.М., Балашов Д.И. Рыбкин В.В., Титов В.А., Ефремов А.М., Ситанов Д.В., Чернявский С.Р., Исляйкин А.М., Балашов Д.И. 3 Физическая электроника и электронные приборы. Лабораторный практикум. Гриф УМО. печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2001 г. 236 4 Физическая электроника и электронные приборы. Лабораторный практикум. Гриф УМО. Издание второе, стереотипное. печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2002 г. 236 печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2003 г. 172 - 116 - Вакуумная и плазменная 5 электроника. Учебное пособие. Гриф УМО. Оптическая и квантовая 6 электроника. Учебное пособие. Гриф УМО. Основы педагогического 7 тестирования. Методическое пособие для преподавателей. Твердотельная электроника. 8 Учебное пособие. Гриф УМО. Практические рекомендации 9 к составлению контрольноизмерительных материалов Вакуумно-плазменные процессы и технологии 10 Учебное пособие. Гриф УМО. Комплекс программ инновационного 11 стратегического развития вуза на 2006-2010 годы Физическая электроника и 12 электронные приборы. Гриф УМО Иваново, изд. ИГХТУ, печатная 2004 г. Издание второе, исправленное. печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2004 г. 24 - печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2004 г. 196 А.М. Ефремов И.В. Холодков Печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2005 год 36 Малыгин Ф.Ф., Щаницина С.В. печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2006г. 260 А.М. Ефремов, В.В. Рыбкин Иваново, изд. ИГХТУ, печатная 2006 год 72 Ред. Койфман О.И., Светцов В.И. Иваново, изд. ИГХТУ, 2008 год 32 494 Холодков И.В. печатная 45 Корпускулярно-фотонные 13 процессы и технологии Гриф УМО Микроэлектроника и 14 наноэлектроника Гриф УМО печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2009 год 17 276 Смирнов С.А. печатная Иваново, изд. ИГХТУ, 2009 год 14 230 Холодков И.В. 46
