3. Программа для обработки результатов анализа поверхности

МЕТОДЫ АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ
Учебный план № 4290
ФТИ.347.68.2014
Код ООП
Направление/
специальность
Аналитический контроль
природных и технических
объектов
Рабочая программа дисциплины составлена авторами:
№ п/п
ФИО
Ученая степень,
Должность Кафедра
ученое звание
1
Пупышев Александр
Доктор химических Профессор
ФХМА
Алексеевич
наук, профессор
Программа модуля одобрена на заседании кафедры:
Номер
ФИО
Дата
Наименование кафедры
протокола заведующего
заседания
кафедрой
1
Физико-химических методов
14.05.2014
6
Ребрин О.И.
анализа
18.04.2001.68-21-2012
(240100.68-21-2012)
Химическая технология
Профиль/программа
магистратуры/специализация
Код
дисциплины
по учебному
плану
М.2.9.1
Подпись
Подпись
6. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
ДИСЦИПЛИНЫ
7.1. Рекомендуемая литература
7.1.1. Основная литература
1. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Нижний Новгород: Институт
физики микроструктур, 2004. 114 с.
2. Physical principles of electron microscopy. An introduction to TEM, SEM, and AEM. Springer,
2005. 211 p.
3. Суздалев И.П. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и
наноматериалов. М.: Комкнига, 2006. 592 с.
4. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности.
Москва: Наука, 2006. 490 с.
5. Рид С. Дж. Б. Электронно-зондовый микроанализ и растровая микроскопия в геологии. М.:
Техносфера, 2008.
6. Echlin P. Handbook of sample preparation for scanning electron microscopy and X-ray
microanalysis. Springer, 2009. 343 p.
7. Ищенко А.А., Лукьянов А.Е., Киселев Ю.М. Методы анализа поверхности. Ч. 1. Методы
локального анализа и электронная микроскопия. М.: МГА ТХТ, 2009. 52 с.
8. Беккер Ю. Спектроскопия. М.: Техносфера, 2009.
9. Hadbook of surface and interface analysis. Methods for problem-solving / ed. by J.C. Riviere, S.
Myhra. CRC Press, 2009. 682 p.
10. Быков А.В., Демиденко Г.Н., Долуда В.Ю., Сульман Э.М. Физические методы исследования:
учеб. пособие. Тверь: ТГТУ, 2010. 160 с.
11. Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия – прецизионный
метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские
нанотехнологии. 2009. Т. 4, № 3-4. С. 72-84.
12. Никитенков Н.Н. Основы анализа поверхности твердых тел методами атомной физики:
учебное пособие. Томск: Изд-во ТПУ, 2012. 203 с.
7.1.2. Дополнительная литература
1. Glow discharge plasmas in analytical spectroscopy / Ed. by R.K. Marcus, J.A.C. Broekaert. Wiley,
2003. 503 p.
2. Пентин Ю.А., Вилков Л.В. Физические методы исследования в химии. М.: Мир, ООО
«Издательство АСТ», 2003. 683 с.
3. Martin J.W. The local chemical analysis of material. Elsevier, 2003. 235 p.
4. Glow discharge plasmas in analytical spectroscopy / Ed. by R.K. Marcus, J.A.C. Broekaert. Wiley,
2003. 503 p.
5. Пентин Ю.А., Вилков Л.В. Физические методы исследования в химии. М.: Мир, ООО
«Издательство АСТ», 2003. 683 с.
6. Martin J.W. The local chemical analysis of material. Elsevier, 2003. 235 p.
7. Методы анализа поверхности / Под ред. А. Зандерны. М.: Мир, 1979. 582 с.
8. Chung Y.-W. Surface scince and spectroscopy. Academic Press, 2001.200 p.
9. Никитенков Н.Н. Изотопный, химический и структурный анализ поверхности методами
атомной физики. Томск: ТПУ, 2002. 198 с.
10. Пупышев А.А., Данилова Д.А. Атомно-эмиссионный спектральный анализ с индуктивно
связанной плазмой и тлеющим разрядом по Гримму. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 2002. 202 с.
11. Surface and thin film analysis. Principles, Instrumentation, Applications / Ed. by H. Bubert, H.
Jennet. Wiley-VCH, 2002. 352 p.
12. Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И., Семененко Л.В., Соколов В.К. Основы
эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 424 с.
13. Применение электронной спектроскопии для анализа поверхности. Под ред. Х. Ибаха. Рига,
1980.
14. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М. : Мир, 1981. 583 с.
15. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел / Под ред. Л. Фирмэнса и др. М.: Мир, 1981.
16. Шульман А.Р., Фридрихов С.А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела.
М.: Наука, 1977.
17. Гимельфарб Ф.А.. Шварцман С.Л., Современные методы контроля композиционных
материалов, М., 1979.
18. Черепин В.Т., Васильев М.А. Методы и приборы для анализа поверхностных материалов.
Справочник. Киев: 1982.
19. Нефедов В.И., Черепин В.Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. М.:
Наука, 1983. 296 с.
20. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под
ред. Д. Бриггса и М.П. Сиха. М.: Мир, 1984.
21. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Кн. 1 и 2 / Пер. с англ. М.:
1984.
22. Гиммельфарб Ф.А. Рентгеноспектральный микроанализ слоистых материалов. М.:
Металлургия, 1986. 152 с.
23. Анализ поверхности методами Оже и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под
ред. Д. Бриггса и Д. Сиха. М.: Мир, 1987.
24. Фельдман Ф., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок, М.: Мир, 1989.
25. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989.
26. С. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1989.
27. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989. 341 с.
28. Растровый электронный микроскоп и рентгеновский микроанализ / Пер. с
англ. В 2 кн.: Химия, 1989.
29. Зенгуил Э. Физика поверхности. М.: Мир, 1990. 536 с.
30. Черепин В.Т. Ионный микрозондовый анализ. Киев: Наукова Думка, 1992. 344 с.
2
7.1.3. Методические разработки
1. Гаршев А.В., Гаврилов А.И. Электронная микроскопия. Локальный рентгеноспектральный анализ.
М.: МГУ им. М.В. Ломоносова, 2001. 29 с.
2. Мазалов Л.Н. Метод рентгеноэлектронной спектроскопии и перспективы его применения для
изучения строительных материалов. Методические указания к выполнению лабораторных работ.
Новосибирск: ИНХ СО РАН, 2002. 20 с.
3. Методические разработки к лабораторному практикуму «Методы исследования неорганических
веществ и материалов» / Под. ред. А.М. Гаськовой. М.: МГУ им. М.В. Ломоносова, 2003. 47 с.
4. Петухов В.Ю. Гумаров Г.Г. Исследование поверхностных слоев твердых тел методом
скользящего рентгеновского пучка: учебно-методическое пособие. Казань: КГУ, 2009. 16 с.
5. Исследование состава твердых тел методом вторично-ионной масс-спектрометрии:
Методические указания к лабораторным работам по диагностике материалов. Санкт-Петербург:
Физико-технический ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН, 2010. 21 с.
6. Рентгеноспектральный микроанализ с использованием энергодисперсионного спектрометра.
Санкт-Петербург: Физико-технический ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН, 2010. 10 с.
7. Трофимов А.Н., Попова Т.Б. Рентгеноспектральный микроанализ на спектрометрах с волновой
дисперсией. Методические указания к лабораторным работам по диагностике материалов. СанктПетербург: Физико-технический ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН, 2011. 15 с.
8. Николичев Д.Я., Боряков А.В. Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем
методом сканирующей Оже-спектроскопии: учебно-методическое пособие. Н. Новгород: Изд-во
НГУ, 2011. 110 с.
7.2. Программное обеспечение
1. Системные программные средства: Microsoft Windows XP, Microsoft Vista.
2. Прикладные программные средства: Microsoft Office 2007 Pro.
3. Программа для обработки результатов анализа поверхности методом рентгеновской
фотоэлектронной спектроскопии «XPS Peak Fitting Program for WIN95/98 XPSPEAK Version 4.1»
4. Пакет прикладных программ для обработки результатов исследования поверхности методом
электроннозондового рентгеновского микроанализа с микроанализатором «Cameca SХ-100».
5. Пакет прикладных программ для обработки результатов исследования поверхности методом
растровой электронной микроскопии с прибором «JSM-6390LV»
и приставкой для
рентгеноспектрального энергодисперсионного анализа «INCA Energy 450 X-max 80».
7.3. Базы данных, информационно-справочные и поисковые системы
1. X-ray Photoelectron Spectroscopy Database of the National Institute of Standards and Technology,
Gaithersburg, MD, USA. [Электронный ресурс]: http://srdata.nist.gov/xps/.
2. Поисковая система Scholar Google. [Электронный ресурс]:
http://scholar.google.com/schhp?hl=en&sa=N&tab=ls&q=
3. Поисковая система Scirus. [Электронный ресурс]: http://www.scirus.com/
4. Поисковая система Scopus. [Электронный ресурс]: http://www.scopus.com/scopus/search/form.url
5. Поисковая система Google. [Электронный ресурс]: http://www.google.com/
6. Поисковая система Science direct. [Электронный ресурс]: http://www.sciencedirect.com/
7. Интернет-сайт компании НТ-МДТ. Приборостроение для нанотехнологий: [Электронный
ресурс]: http://www.ntmdt.ru/ .
8. Интернет-сайт, посвященный описанию методов диагностики поверхности и оборудованию для
этих целей. [Электронный ресурс]: http://www.surfaceanalysis.ru/ .
9. Интернет-сайт, посвященный описанию оборудования для диагностики поверхности.
[Электронный ресурс]: http://www.intertech-corp.ru/ .
10. Интернет-сайт, посвященный описанию оборудования для диагностики поверхности.
[Электронный ресурс]: http://www.nanotech-instruments.com/.
11. Интеренет-сайт с базами данных по рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и ожеэлектронной спектроскопии. [Электронный ресурс]: http://www.lasurface.com/.
3
12. Справочные данные по химическим сдвигам некоторых элементов в различных степенях
окисления. [Электронный ресурс]: http://www.chemport.ru/data/.
13. Базы данных, обучающие материалы, перечень и описание методик, список журналов и
конференций, которые имеют отношение к изучению поверхности [Электронный ресурс]:
http://www.uksaf.org/home.
7.4. Электронные образовательные ресурсы
Не предусмотрено
4